【課題】Ｘ線管への印加電圧を高速で昇降でき、出力が変動するＸ線を高い周波数で連続的に発生することができるＸ線検査装置用のＸ線発生装置を提供する。
【解決手段】陰極１２から熱電子を発生し印加電圧で加速して陽極１４に衝突させＸ線を発生するＸ線管１０と、印加電圧を一定周期の正弦波状に変動させて発生する変動電圧発生装置２０とを備える。変動電圧発生装置２０は、印加電圧の直流成分を発生させる直流高電圧回路２２と、印加電圧の交流成分を発生させる交流高電圧回路２４とを有する。直流高電圧回路２２の−端子２３ａはＸ線管の陰極に接続され、直流高電圧回路の＋端子２３ｂは管電流検出抵抗２２ｅを介して接地される。また、交流高電圧回路２４は、１対の出力端子２５ａ，２５ｂを有し、その一方２５ａはＸ線管の陽極に接続され、他方２５ｂは接地されている。 （もっと読む）