【課題】 シリコン原料を直接球状シリコン単結晶にするとともに、その歩留りを大幅に向上させる。
【解決手段】 高純度粉末状シリコン22を、表面が微細な凹凸構造をし、多数の窪みを有する高純度セラミックス又は石英ガラス又は高純度多孔質セラミックス容器の前記窪み内に収容する。不活性ガス又は高純度不活性ガスにシランガス又はハロゲン化珪素ガスを添加した雰囲気下で前記窪み内の粉末状シリコン22を融解させて前記窪み内に溌液状シリコン23を生成し、その溌液状シリコン23を冷却して球状シリコン結晶を得る。 （もっと読む）

【課題】 フッ化カルシウム単結晶からなる紫外線光学素子のレーザー光耐性をその単結晶の純度を向上させること以外の方法で高める。
【解決手段】 フッ化カルシウム単結晶紫外線光学素子の素材２は、表面2aが（１００）面方位を持っている。この素材２を効率的に得るために、端面が（１００）面方位を有する種結晶を矢印方向に成長させることで端面が（１００）面方位を有するフッ化カルシウム単結晶インゴットを得る。次に、この単結晶インゴットを（１００）面方位に平行に切断して、（１００）面方位の紫外線光学素子の素材２を得る。このようにして得た表面が（１００）面方位を有する素材２を窓板に用いる場合は素材２の両面を平行に精密研磨を行い、レンズに用いる場合は素材２の片面又は両面が適度な曲率を持つように精密研磨を行う。 （もっと読む）

【課題】 半導体製造時のパターン露光に使用する光リソグラフィー装置（ステッパー）用のレンズ材料や、各種エキシマレーザー装置用窓材などに使用する真空紫外光透過材料を得るためのフッ化物単結晶の製造法を提供する。
【解決手段】 ルツボ内凝固によるフッ化物の単結晶製造において、ルツボ下部に製造目的とする単結晶の成長面形状と同一の形状を有する種結晶を設置し、結晶成長中において成長面形状を変化させることなく、かつ、種結晶の結晶面方位を継承させた単結晶を得る。さらに、ルツボの底面を除く内壁材質がフッ化物よりも熱伝導度が小さい耐熱性断熱材で、ルツボおよび耐熱性断熱材の材質がカーボンである。 （もっと読む）