【課題】 基板用カセットへの基板の搬入・搬出時に、中段にへの基板搬入、中段からの基板搬出を可能とする基板搬送装置を提供することにある。
【解決手段】 基板用カセット１００の側方には、基板用カセット１００の内部に挿入・挿出可能に設けられるとともに、ガラス基板１を下方面側から受けて、ガラス基板１をスライド可能に支持しながら、ガラス基板１の搬入・搬出を行なう基板搬入搬出装置３００が設けられている。 （もっと読む）

【課題】回路形成や熱処理によるカール、ねじれ、反り等の発生を抑制でき、しかも、耐熱性、難燃性、寸法安定性、電気的特性等に優れた基板を提供する。
【解決手段】ポリイミド樹脂からなるフィルムの両面にフッ素樹脂からなるフィルムがそれぞれ積層された絶縁層の外表面の少なくとも一面に導体層が設けられており、絶縁層の全体の厚みは２５〜５００μｍであるとともにポリイミド樹脂からなるフィルムの厚さがフッ素樹脂からなるフィルム厚み合計の０．０５〜１．０倍であって、絶縁層同士の接着強度は、５．０Ｎ／ｃｍ以上であることを特徴とする基板。 （もっと読む）

【課題】 ガラス基板搬送用ボックスの転倒時においても、収容されるガラス基板への衝撃を低減させ、また、複数個のガラス基板搬送用ボックスを搬送用の箱に収容する場合に、隣り合うボックスの間に均一に空間を設け、搬送作業の効率を向上させることが可能な構造を有するガラス基板搬送用ボックスを提供する。
【解決手段】 本体容器側リブ１１５および蓋部材側リブ１２５が、ガラス基板１０１の平面が対向する側壁１１２，１１４の外壁面において、外方に向かって突出し、底側から開口領域側にかけて線状に延びるように設けられている。 （もっと読む）

【目的】 ガラス基板などの板体をホルダーに収容した状態で純水などにより洗浄したのち洗浄槽から引き上げたときに、板体にしみや汚染を生じないように円滑に水切れするように工夫した支承部材を提供すること、およびその支承部材を用いたホルダーを提供することを目的とする。
【構成】 金属棒(1) がインサートとして内包されかつその金属棒(1) を軸芯としてその周りに樹脂成形体(2) が射出成形により一体に形成された複合構造の棒状の支承部材(3) である。また、この支承部材(3) の複数本をフレーム(4) に懸架して箱型または箱枠に形成したホルダーである。上記の樹脂成形体(2) は、正面視で手前側に突き出た突出部(a) と奥側に引っ込んだ溝部(b) とが交互にそろばん珠状に連設した形状の本体部(21)の軸方向下部に、下方にいくほど薄くなりかつ片端側または両端側にいくほど広巾となるスカート部(22)を設けた形状に形成されている。 （もっと読む）