【課題】温度慣らしに必要な設置場所をなくし、ＦＰＤ製造工場の省スペース化、設置費用の低減を行なえるシステムを提供する。
【解決手段】クリーンルーム２内に設置されフラットパネルディスプレイ製造装置３を内装するサーマルクリーンチャンバー１の、クリーンルーム２との間に設けたガラス基板４の出入口内に、ガラス基板４の搬送路５ａを挟んで、その上下に所定温度のエアをガラス基板４に向け噴出するノズル７を設け、該各ノズルは先端にガラス基板４の進行方向を向いた噴出口７ａとその逆方向を向いた噴出口７ｂとを設けた。 （もっと読む）

【課題】薬塵等除去装置の前処理フィルターに、スクリーンメッシュを用いると共にそれに付着した薬塵等を容易に払い落し回収することが出来る付着物除去部材を設けることによって、フィルターのメンテナンス作業を不要とする。
【解決手段】作業ブースと、該作業ブースから吸引した気体中の塵埃を除去し、該気体を清浄空気として作業ブースに吹き出す空気清浄化流路を有する塵埃除去装置において、空気清浄化流路の入口にスクリーンメッシュを配すると共に、該スクリーンメッシュ表面への付着物量を検知する付着物量検知部材、及び、付着物を取り除く付着物除去部材を設けている。 （もっと読む）

【課題】清浄作業空間への清浄空気を供給量を減少することなく、かつ清浄作業空間内における空気溜りの発生をなくし、作業者の呼気により開閉扉が曇る事態の発生を見ることのないクリーンベンチを得る。
【解決手段】ファン及びヘパフィルターを有する陽圧室に連なり、前面に開閉扉を有する清浄作業空間おいて、前記開閉扉は、清浄作業空間前面を垂直に上下するようガイドされ、かつ、上端が清浄作業空間内部側に倒れ込むよう軸支されたスイスルーシャッターを外枠体に設けた。また、清浄作業空間内部側に倒れ込んだスイスルーシャッターの頂部と当接するガイド板を有し、該ガイド板は、スイスルーシャッターの上昇時スイスルーシャッターを起立させるものであるとした。 （もっと読む）

【課題】クリーンベンチ外の作業者が清浄作業台上で作業を行うために、清浄作業台前のシャッターを上昇する際に、前記シャッターの収納のために広い範囲が取られるようなことがなく、狭小な場所にシャッターを収納することが出来、かつ、清浄作業空間で手作業をするために手先を看視する視線を妨げることもないシャッターを得る。
【解決手段】作業空間の前面に開口部を備え、作業空間外から作業空間内の作業を行うことを可能としたクリーンベンチに於いて、作業空間前面の開口部に、前記開口部両側に設けたガイド部材により上下可動に、開口部の高さよりも少ない高さを有する透明板を支持してなるシャッターを設け、透明板上端縁には、前記ガイド部材により上下動可動に案内されるシート体端部を固定し、前記シート体の他端は捲き取りドラムに巻き付け支持してなる。また、透明板の高さを開口部の高さの２分の１程度としている。 （もっと読む）

【課題】安全キャビネット内で動物を飼育し或いは病原性を有する微生物を取り扱った際に動物の排泄物或いは飛散した微生物を、キャビネット外に逸散させることなく安全に汚物等収集バッグ内に収集する。
【解決手段】清浄気流が流れる作業室の作業台に簀の子を上面に有する漏斗状汚物シューターを設け、汚物シューター下部の筒状ダクトよりなる汚物排出口の外周に、該排出口を囲って連続処理バッグ用筒状体を嵌合状態に保持し、同筒状体を前記汚物排出口端部外周に引き出し可能な接圧で弾性バンドにより圧接把持し作業室下部に垂下してなる。そして、作業室下部に垂下した連続処理バッグ用筒状体は幅方向に溶着することで汚物を密閉切断し汚物収容バッグとし作業室下部に設けた同バッグを受ける容器で受けられている。 （もっと読む）

【課題】シャワー装置内において被服等に付着した塵埃や有害物質を除去する際に清浄空気シャワーと水シャワーとを同時に使用することにより塵埃除去効果を高める。
【解決手段】水噴出口と清浄空気噴出口との両噴出口を併設するノズルを複数基、シャワー室内に向けて水及び清浄空気を噴出するよう設けている。また、シャワー室の壁面及び又は扉面に対し付着する水滴を飛散させるための、清浄空気噴出用エアノズルをシャワー室の壁面及び又は天井面に設けている。そして、清浄噴出口が、摺動自在にその向きを変更可能に支持された球状体ダクトに設けられ、水噴出口は前記清浄空気噴出口内に清浄空気噴出口と中心線を一致させて設けられている。 （もっと読む）

【課題】板状の被搬送物を浮上搬送し所定位置に停止させる場合、特に被搬送物に対しその表裏面に制動手段が接することなく、従って、表裏面に損傷等の発生を見ることなく、かつ、被搬送物と制動手段との接触面積を少なくして制止することが出来る制動装置を得る。
【解決手段】半導体ウエハー或いは液晶ガラス等の板状体よりなる被搬送物を浮上搬送する装置であって、被搬送物下位の搬送路に被搬送物支持手段として、前記搬送路に清浄空気を吹き出すファンフィルターユニットを設け、かつ、搬送路の両側縁それぞれに制動ローラを被搬送物側端縁と対向するよう直立して設け、対向する搬送路側縁の制動ローラ同志をその対向間隔を変更し得るよう、ローラ支持体に支持した （もっと読む）

【課題】搬送対象物を浮上させる流体膜を吹き上げる多孔質体を用いることなく、流体膜の目詰まり等による搬送物浮上高の変動が生ずることをなくし、所定の浮上高を保つことが出来るようにする。被搬送物の周囲をクリーンな環境に保つことを課題の一つとして、被搬送物を浮上させるための流体をヘパフィルターを介して吹出させることにより、被搬送物の浮上と同時に被搬送物周囲へのクリーンエアの供給を可能としている。被搬送物端面への気流の吹き付けにより、被搬送物の所定方向へのガイドを可能とする。
【解決手段】半導体ウエハー及び液晶ガラス等の板状体よりなる被搬送物を浮上搬送する装置で、その搬送路下部に搬送路に向け被搬送物押出方向噴気流を噴出する噴気噴出手段を有するファンフィルターユニットを配し、前記被搬送物を浮上搬送すると共に、被搬送物周囲を清浄噴気流で囲うことによって、清浄空気の流れの雰囲気中で所定高さの浮上搬送を行う。 （もっと読む）

【課題】安全キャビネット内で使用しても、ガスバーナーを使用したときのごとき滅菌時に上昇気流が生じず作業室内の気流ハランスを乱すことのない滅菌器を得る。また、熱殺菌のためのループに電圧を負荷している時間を少なくすることによって消費電力を少なくする。
【解決手段】揺動自在に支持されたブロック体の一端に可動電極支持体を介して可動電極を設けると共に、ブロック体の他端にクランプを設け、かつ、前記ブロック体の揺動時におけるクランプの揺動軌跡内に固定電極を設けてなり、可動電極とクランプとの間に金属製のループを差し渡しブロック体を揺動することによりクランプと固定電極とにより金属製ループをニップし、両電極間に通電し金属製ループを発熱させる。また、ブロック体に設けた可動電極支持体は、該支持体が支持する可動電極とブロック体に設けたクランプとの間隔を調節可能とした。 （もっと読む）

【課題】アスベスト等汚染物質処理の現場において、着用する防護服において、防護服着用時に服内において陽圧を保つための清浄空気導入手段が作業者の作業中の負担にならないようにすると共に、清浄空気の供給のための供給ホースとヘルメットの接続手段を簡素化する。
【解決手段】プレフィルター，ヘパフィルターを有する清浄空気送出し装置、前記清浄空気送り出し装置からの清浄空気を給送する複数の導管、前記導管先端部を、取付取外し可能に接続するコネクタを有するヘルメット、前面に顔面透明窓部を有し、顔面，頭部及び少なくとも上半身をカバーし、前記コネクタの挿通孔を具備する防護服とよりなるものとした。 （もっと読む）