【課題】 低濃度の対象化合物を高精度に測定することができる濃度測定装置を提供する。
【解決手段】 試料溶液を定量する試料計量槽５と、発色剤溶液を定量する発色剤計量槽６と、希釈水を計量する希釈水計量槽７と、計量された溶液を混合する混合槽２０と、前記混合液の可視光の吸光度を測定する吸光度ユニット２６，２７，２８とを備え、正逆両方向に流体を搬送でき、試料計量槽５へ試料溶液を送る第１給送部２１、発色剤計量槽６発色剤溶液を送る第２給送部２２、希釈水計量槽７へ希釈水を送る第３給送部２３と、前記第１給送部から第３給送部を正転させてそれぞれ溶液を槽５，６，７内へ供給した後、逆転させてそれぞれ試料溶液及び発色剤溶液及び希釈水を排出するように前記第１第３給送部２１，２２，２３を動作制御する制御演算部７０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】プリント配線板のエッチングにおいて、ファインピッチのエッチングでも細かい制御ができ、高精度のエッチングが可能なエッチング方法を提供する。
【解決手段】プリント配線板のエッチングにおいて飽和直前の濃度に維持された塩化銅エッチング液を用いるので、時間をかけたエッチングが可能であり、より薄く精密なプリント配線板のエッチングでも細かい制御ができる。また、エッチング液に塩素ガスを補給して再生するので、再生時に水成分が追加されず比重を維持しやすく、比重調整水を加えることで容易に塩化第二銅エッチング液の濃度を飽和直前の濃度に保つことができる。 （もっと読む）

【課題】パターンレジストされたプリント配線基板等をエッチングするエッチング装置を制御するエッチング制御装置において、エッチング液の組成のリアルタイム自動制御を可能にしたエッチング制御装置を提供する。
【解決手段】エッチング装置に硫酸と過酸化水素水とを混合した反応速度の遅いエッチング液を用いており、ファインピッチのプリント配線基板等を時間をかけてエッチングする。また、硫酸および過酸化水素水の濃度を検出するのに赤外線方式の一つのセンサを用いて、設備にかかるコストを抑え、より正確な濃度を検出する。これにより、より薄く精密なプリント配線基板等のエッチングでもリアルタイムでエッチング液の組成を制御できる。 （もっと読む）

【課題】 銅エッチング液の低コスト性を満足させながら、優れたエッチング速度を付加し、塩化水素による臭気環境を改善することのできる、銅エッチング液が提供されていない。
【解決手段】 エッチング装置５において、濃度が約２ｍｏｌ／Ｌである塩化第二銅を主成分とし、１．５ｍｏｌ／Ｌ以下の濃度となるように塩化第二鉄を添加したことを特徴とするエッチング液によりエッチングを行い、エッチング装置５の使用済みエッチング液に含有される、塩化第二銅と塩化第二鉄との濃度をサンプリング装置３において計測し、塩化第二銅の濃度と塩化第二鉄の濃度とを、薬剤補充量調整装置４において調整してエッチング前の濃度になるように濃度制御を行う。 （もっと読む）