【課題】構造が簡単で保守性に優れた真空脱ガス炉用排ガス処理装置を提供する。
【手段】排ガス処理装置は、第１〜第３の前段側エゼクター３，４，５、第１コンデンサ６、後段側エゼクター７，８及び第２コンデンサ９を有している。第３前段側エゼクター５にはノズル１７，１８から霧化水を噴出できる。前段側エゼクター３，４，５がブースターとして機能している脱ガス工程ではノズル１７，１８は停止しており、ブースターとして機能していない脱炭工程ではノズル１７，１８で第３前段側エゼクター５に霧化水を噴出する。脱炭工程で第３前段側エゼクター５と第１コンデンサ６とをベンチュリスクラバーとして機能させることにより、粉塵を効率よく除去できる。その結果、エゼクター７，８や第２コンデンサ９の内面に粉塵が付着堆積することを防止できる。 （もっと読む）

【課題】真空脱ガス設備の真空槽の真空度を、簡単な構成により、ある一定の真空度に保つことができるようにすること。
【解決手段】真空脱ガス設備の真空槽２の真空排気を行うための真空排気ラインＬに複数の真空排気装置４〜９を備え、予め定めた真空度範囲毎に、使用する真空排気装置の組み合わせを設定して真空槽２の真空排気を行う真空排気システムにおいて、真空排気ラインに圧力調節弁１３を設けた。圧力調節弁１３の開度を調節することにより、使用している真空排気装置を間欠運転させることなく、真空槽２の真空度を制御し、真空槽２の真空度を予め定めた真空度設定値に保つことができる。 （もっと読む）