【課題】液剤塗布ユニットに対して、液剤貯留圧送タンクによる液剤の供給時におけるタンク内の液剤残量検出を可能とする。
【解決手段】液剤貯留圧送タンク内の液剤を加圧する落し蓋に対し、上方に立てた液剤検出ロッドがあり、タンク上部のタンク蓋より上方に液剤検出ロッドを出し、液剤の減少量を目視やセンサーにより液剤残量検出を可能とした。 （もっと読む）

【課題】塗布ロボットを使った液剤塗布において、半導体や医療品に対応したクリーンな塗布を可能とする。
【解決手段】液剤塗布の装置カバー７の上部にＨＥＰＡフィルター６を設け、塗布ヘッド９の下方には、塗布部材（回路基板２）の上面を示すＡ−Ａのラインより下方にＸ−Ｙテーブル部２０の摺動部やＺ軸駆動部４２、Ｘ軸駆動部４３、Ｙ軸駆動部４４を配置し、ダウンフローエアの流れ４５は排気口１７を通過し排出される。 （もっと読む）

【課題】塗布ロボットを使った液剤塗布において、半導体や医療品、食品対応したクリーンな塗布を可能とする。
【解決手段】液剤塗布装置カバー上部のＨＥＰＡフィルターを設け、塗布ヘッドの下方には塗布部材を水平方向に位置決めるＸ−Ｙテーブル上に塗布部材を載置している。塗布時における塗布対応上下駆動部や、ＸＹテーブルユニットの摺動部や駆動部を塗布面より下方に構成した。 （もっと読む）

【課題】塗布ロボットを使った液剤塗布において、生産稼働率を上げるための搬送システムを提供する。
【解決手段】液剤塗布に関連する塗布関連ヘッド部７をＸ方向に搭載させ駆動するＸ駆動部９と、それに直交方向に移動させるＹ軸駆動部１１があり、Ｙ軸駆動部にはＸ軸駆動部１０を搭載させ位置決めを行う。Ｙ軸駆動部の下方には、Ｘ軸方向と平行に塗布部材１２を搬送する搬送レーン１，２があり、片方の搬送レーンで液剤塗布等を行っている間に、他の搬送レーンでは塗布部材を搬送位置決めさせておき、塗布関連ヘッド部は搬送レーン間を移動し塗布する。また塗布ロボット５は、定ピッチで柔軟な生産に対応できるように連結可能としている。 （もっと読む）

【課題】液剤塗布における各種の塗布条件や生産数量等に対して、より標準的にシステム化対応する。
【解決手段】基本的な塗布対応構成の塗布ロボット１において、塗布ヘッド９をＸ方向に駆動させるＸ軸駆動部７、塗布ヘッドを上下させるＺ軸駆動部１０、塗布部材５をＹ方向に位置決めするＹ軸駆動部８と、Ｙ軸部と一体駆動可能な様に組み付け、塗布部材を回転させるθ軸駆動部１１で構成し、塗布部材に対して上記塗布ロボットの各軸を選択して塗布を行う。また、各種の塗布に対しては、塗布ロボットを単体から定ピッチで連結可能な構成とすることによりシステム化対応まで可能となり、塗布部材に対し最適な塗布ができる。また塗布に関連する各種の機能ヘッドにおいても、取付互換性を持たせて選択搭載し、各種塗布部材に対して最適な構成で液剤塗布をする。 （もっと読む）