【課題】迅速に正確な露光動作を行う。
【解決手段】ワークに対して露光する際に光束を開閉するシャッター装置２６を、エアシリンダ３３でスライドされる一枚のスライド板３２で上記光束を開閉するスライドシャッター３０と、サーボモータ３７で回転される回転板３６で上記光束を開閉する回転シャッター３１とを、併設して構成している。そして、サーボモータ３７によって回転板３６を回転する回転シャッター３１側で露光時間を設定する一方、スライドシャッター３０側で露光のタイミングを設定するようにしている。こうして、迅速に正確な露光動作を行うことができる。さらに、回転板３６によって、フライアイレンズ２５を開放した側から閉鎖することができ、照射開始から照射終了までの間における露光面２９での積算光量を一定にできる。 （もっと読む）

【課題】有機性廃棄物を発酵分解処理する際に発生するガスを再利用すると共に、このガスの臭気を燃焼によって消臭する有機性廃棄物処理装置を提供する。
【解決手段】種火バーナーを併設した主バーナーからなる燃焼炉と、該燃焼炉に連設し外気を加熱する熱交換装置と、該加熱された外気を前記処理槽内に供給して循環させる循環機構と、前記発酵菌によって発酵分解処理される有機性廃棄物から発生するガスを含む空気を前記主バーナーに供給する燃焼用空気供給機構と、前記主バーナーの燃焼ガスを供給し前記処理槽を外装から加熱する加熱機構を備えた。 （もっと読む）

【課題】より高精度な部品の実装が実現できる部品実装装置を提供すること。
【解決手段】部品２を保持した部品実装ヘッド部８の部材２１に貫通孔２２を設けて部品２の上面に設けられた認識マークを部材２１の上面に出入する認識部９によって認識して部品２の保持姿勢情報と、実装部５での姿勢の修正に活用する構成とした。 （もっと読む）