【課題】コスト及び測定時間を抑えるとともに、非球面を含む様々な表面形状を効率良く測定することが可能な干渉計を提供する。
【解決手段】光源２、コリメートレンズ３、フォーカシングレンズ４、及び空間フィルタ５と、空間フィルタ５からの光束を平行光にする第１ビームエキスパンダーレンズ６及び第２ビームエキスパンダーレンズ８と、第２ビームエキスパンダーレンズ８から射出された平行光を収束させる収束レンズ９と、光束を分割し、参照レンズ１２と被検レンズ１３に導くとともに、参照レンズ１２と被検レンズ１３からの反射光を重ね合わせて射出する
ビームスプリッター１１と、ビームスプリッター１１から射出された光を受光するスクリーン１４と、スクリーン１４が受光した光をＣＣＤカメラ１８で撮像する撮像光学系１７と、ＣＣＤカメラ１８から得られた画像（干渉縞）を取り込み、表面形状を解析する形状解析部１９とを備える。 （もっと読む）

【課題】倍率変動に伴う収差変動が小さく、高い光学性能を有する撮影レンズ及びこの撮影レンズを備えた検査装置を提供する。
【解決手段】物体側より順に、正屈折力の第１レンズ群Ｇ１と、正屈折力の第２レンズ群Ｇ２とを有する撮影レンズにおいて、第１レンズ群は、正屈折力の第１ａレンズ群Ｇ１ａ、絞りＳＰ、正屈折力の第１ｂレンズ群を有し、第１ａレンズ群は、物体側に凸面を向けた正レンズＬ１、物体側に凸を向けた正レンズＬ２、像側に強い凹面を向けた負レンズＬ３を有し、第１ｂレンズ群は、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ４、正レンズＬ５を有する。第２レンズ群は、両凹レンズＬ６、像側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ７を有する。無限遠物から近距離に焦点合わせをする際に、第１レンズ群と第２レンズ群との間隔が増大するように、第１レンズ群及び第２レンズ群が異なる移動量で物体側に移動し、適切に設定された条件を満足する。 （もっと読む）

【課題】 可視領域において、像の中心から周辺までの諸収差が良好に補正され、像全域で均一で高い解像力を有する結像光学系を提供する。
【解決手段】 物体側から順に並んだ、正の屈折力を有する前群ＧＦと、開口絞りＳＰと、正の屈折力を有する後群ＧＲとを有する。前群ＧＦは、物体側より順に並んだ、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２とを有する。後群ＧＲは、物体側より順に並んだ、両凹レンズＬ３１と両凸レンズＬ３２との接合レンズからなる正又は負の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３と、負の屈折力を有する第４レンズ群Ｇ４と、正の屈折力を有する第５レンズ群Ｇ５とを有する。そして、上記構成の基、第３レンズ群Ｇ３のｅ線（波長546.07nm）における焦点距離をｆＧ３とし、結像光学系全系のｅ線における焦点距離をｆとしたとき、次式｜ｆＧ３／ｆ｜＞８．０の条件を満足する。 （もっと読む）

【課題】 構成レンズ枚数を抑えつつ、可視領域において、大きな画角に対して諸収差が良好に補正され、像の中心から周辺まで均一な解像力を有する結像光学系を提供する。
【解決手段】 物体側から順に並んだ、正の屈折力を有する前群ＧＦと、開口絞りＳＰと、正の屈折力を有する後群ＧＲとを有し、前群ＧＦは、物体側より順に並んだ、物体側に凸面を向けた負の屈折力を有する第１接合レンズＬ１と、正の屈折力を有するレンズＬ２と、像側に凹面を向けたメニスカス形状で負の屈折力を有する第２接合レンズＬ３とを有し、後群ＧＲは、物体側より順に並んだ、物体側に凹面を向けたメニスカス形状で負の屈折力を有する第３接合レンズＬ４と、正の屈折力を有するレンズＬ５と、像側に凸面を向けた負の屈折力を有する第４接合レンズＬ６とを有し、第１接合レンズＬ１のｅ線における焦点距離をｆＬ１とし、レンズ全系のｅ線における合成焦点距離をｆとしたとき、次式−２５．５＜ｆＬ１／ｆ＜−５．０の条件を満足する。 （もっと読む）

【課題】印字ミスを防止することができるレーザマーカ装置を提供する．
【解決手段】ワーク８を載置するターンテーブル２０と、このターンテーブル２０上のワーク８の表面にレーザビームを照射して印字するレーザマーカ１とを備えたレーザマーカ装置１００において、印字をした後に、ワーク８の表面を撮像するＣＣＤカメラ６Ｂの出力に基づいてワーク８の表面に印字されているか否かをパソコン５０を使用して判定する。 （もっと読む）

【課題】テラヘルツ光の反射率を低減して透過率を増加させる光学部品を提供する。
【解決手段】テラヘルツ光用の光学部品において、光学部品を構成するシリコン基板５０の入射面に、同じ大きさと形とを有する複数の三角形が連続的に並ぶ縦断面形状を有する反射防止微細構造部５１を形成した。三角形の底辺の幅を約４５μｍ以下、その高さを約６０μｍ以上とした。 （もっと読む）

【課題】ワークの着脱を迅速に行うことができるワークホルダ及びレーザマーカ装置を提供する。
【解決手段】磁力によってワーク７をワークホルダ本体６に押し付けるワーク押え８を採用した。ワーク押え８はアウタ押え１３とインナ押え１２とを有する。インナ押え１２はアウタ押え１３とワーク７との間に配置される。 （もっと読む）

【課題】環境温度が変化しても高精度の測定を行うことができるテラヘルツ分光装置を提供する。
【解決手段】レーザ光源１からのパルス光Ｐ１をポンプ光Ｐ２とプローブ光Ｐ３とに分割するビームスプリッタ２と、パルス光Ｐ１の照射によってテラヘルツ波を発生するテラヘルツ光発生器３と、テラヘルツ波を検出するテラヘルツ光検出器９と、テラヘルツ光発生器３及びテラヘルツ光検出器９の少なくとも一方の近傍に設けられ、テラヘルツ波の利用効率を向上させるレンズ４，８とを備えているテラヘルツ分光装置において、周囲温度の変化によるシリコンレンズ４，８の屈折率の変化に応じてプローブ光Ｐ３の光路長を変える光路長補正部材１１をプローブ光Ｐ３の光路中に配置した。 （もっと読む）

【課題】 可視域の光に対して軸上色収差および倍率色収差が良好に補正され、且つ広い視野範囲において中心部から最周辺部まで所要の高解像力を確保することのできる結像光学系。
【解決手段】 第１面と第２面とを光学的に共役にする本発明の結像光学系は、第１面側から順に、第１面側に凹面を向けた負メニスカスレンズ（Ｌ１１）と、正レンズ（Ｌ１２）とを有する第１レンズ群（Ｇ１）と、正レンズ（Ｌ２１）と負レンズ（Ｌ２２）とからなる接合レンズ（Ｓ２１）を有する第２レンズ群（Ｇ２）と、開口絞り（ＳＰ）と、第１面側に凹面を向けた負メニスカスレンズ（Ｌ３１）と第２面側に凸面を向けた正メニスカスレンズ（Ｌ３２）とからなる負屈折力の接合レンズ（Ｓ３１）を有する第３レンズ群（Ｇ３）と、正屈折力の接合レンズ（Ｓ４１）を有する第４レンズ群（Ｇ４）とを備えている。 （もっと読む）

【課題】高い測定精度を得ることができる偏芯測定装置を提供する。
【解決手段】ベース２０に支柱を介して取り付けられたテーブル２２上に、被検レンズ１を保持するマウント部ｂを載置する。ベース２０にマウント部ｂを回転させる駆動部ｃを固定した。駆動部ｂとベース２０との間に防振ゴム１３を配置した。 （もっと読む）