【課題】 実測作業を簡略化することで、製造期間の短縮化を図るとともに、メンテナンス作業や取り付け作業を簡略化することができる位置確認装置を提供する。
【解決手段】 検出圧通路１３に設ける検出オリフィス１６と、この検出オリフィス前後の差圧を検出するとともに、この差圧に基づいて変化する出力値ΔＰを出力する差圧検出手段１７と、この差圧検出手段が出力する出力値ΔＰを基にして、テーブル１０と被検出体Ｗとの間の隙間量ｈを演算する演算処理部１８とを備え、この演算処理部は、隙間量０のとき差圧０となる０点を基点にした実測値に基づく実測値特性線に対して近似するとともに、上記０点以外の２点の実測値を特定することによって、実測値特性線に近似する近似特性線を得られる近似式を特定し、かつ、この近似式に基づいて上記差圧検出手段が出力する出力値ΔＰから隙間量ｈを特定する。 （もっと読む）

【課題】 組み付け性や増設時の作業性がよく、しかもメンテナンス性に優れた状態確認装置を提供する。
【解決手段】 一対の連通ポート８，９と、これら一対の連通ポート８，９を接続する接続通路１０と、接続通路１０にオリフィス１３を介して連通する検出通路１２と、上記オリフィス１３前後の圧力差を検出する差圧検出手段Ｓとを備えた圧力検出ブロックＡを複数設けるとともに、上記連通ポート８，９を接続してこれら複数の圧力検出ブロックＡを連結し、各圧力検出ブロックＡの接続通路１０が連通して供給通路を構成する。 （もっと読む）

【課題】 検出圧やブロー用エアを停止した際に、ノズル詰まりや錆が発生することがなく、また、耐圧性が高く、さらにはサイクルタイムの短い位置確認装置を提供する。
【解決手段】 圧力源２５に接続する上流ポート２４およびテーブル２０に設けた検出孔２１に接続する下流ポート２２を連通する検出圧通路２３と、この検出圧通路２３に設ける検出オリフィス２６と、この検出オリフィス２６の前後の差圧を検出する差圧検出手段２７とを備え、この差圧検出手段２７は、上記テーブル２０に設けた検出孔２１とそのテーブル２０に載せた被検出体Ｗとの隙間に応じて変化する検出オリフィス２６前後の差圧を検出する。 （もっと読む）

【課題】 圧力検出器２に、例えば腐食性の排気ガスが侵入しないようにする。
【解決手段】 一対の検出ポート３，４間の圧力を検出する圧力検出器２を備えた差圧検出装置において、圧縮空気を供給する圧力源８に対して一対の検出ポート３，４をパラレルに接続するとともに、各検出ポート３，４と圧力源８との間に第１，２オリフィス１４，１５を設け、圧力検出器２は第１，２オリフィス１４，１５の下流側の圧力を検出する構成にしている。このように構成することによって、排気ダクト５あるいは処理室６内の排気ガスが、逆流しない。このように排気ガスが、逆流しないようにしたので、圧力検出器２が、例えば腐食性の排気ガスによって損傷したりしなくなる。 （もっと読む）

【課題】 耐化学物質性、耐水性を有するとともに、激しい温度変化や振動を生じる環境下でも、高い精度を維持することができ、しかも製造コストが安価なエジェクタを提供する。
【解決手段】 複数のノズル６〜９を間隔を設けて直列に組み込んだボディＢと、このボディＢを塞ぐためのカバーＣとによって本体を構成し、この本体には、圧縮空気を供給する供給通路１３と、供給された空気を排気する排気通路１４と、真空にすべき室あるいはワークを吸着する吸着手段を接続する吸引通路１５とを開口してなるエジェクタにおいて、上記ボディＢは樹脂製からなるとともに、このボディＢの膨張及び収縮を抑える膨張抑止部材２１，２２を、上記ノズル６〜９の長手方向に沿って設けたエジェクタ。 （もっと読む）

【課題】 多段エジェクタに用いるチェックバルブであって、長時間の使用に耐える高耐久性を有するチェックバルブを提供することである。
【解決手段】 多段エジェクタの吸引ポートと減圧室との間の隔壁を構成するとともに吸引ポートと減圧室とを連通させる連通孔１７ａを設けた金属製の基板１７と、中央部に設けた厚肉部２１ａとその両側の薄肉部２１ｃとを有するゴム製の弁部材２１と、この弁部材の厚肉部と基板とを重ねて貫通し、一方の端部に抜け止め用の大径２２ｂを備えたピン部材２２と、ピン部材の他方の端部に取り付けるリング部材２３とからなり、弁部材２１を、基板１７に対して減圧室側で、かつ、上記薄肉部２１ｃが基板の連通孔１７ａを覆う位置に設けるとともに、上記ピン部材２２の大径部２２ｂと上記リング部材２３とによって上記基板１７および弁部材２１の厚肉部２１ａとを挟んで構成する。 （もっと読む）

【課題】 真空圧を正確に計測できるようにする。
【解決手段】 基体２１に流体を噴出する噴出ノズル２３を設け、この噴出ノズル２３から噴出された流体を、コアンダ効果を利用して基体あるいは被吸着物体に沿ってガイドする一方、この流体の流れによって、ベルヌーイの定理による真空層を生じさせる吸着装置を前提にする。そして、流体の流出経路から外れた箇所に、真空圧検出ポート２９を設けるとともに、この真空圧検出ポート２９に真空圧計測器３０を接続している。 （もっと読む）