説明

株式会社豊島製作所により出願された特許

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【課題】高い反射率を保持しながら耐熱性に優れた薄膜を形成できる薄膜形成用材料。
【解決手段】0.01〜35at%(原子%)のCを含有するAgを基とした組成で構成されている薄膜形成用材料であり、更に、Ti,V,Cr,Mn,Fe,Co,Ni,Cu,Zn,Zr,Nb,Mo,Hf,Ta,W,Reの群、Ru,Rh,Pd,Ir,Pt,Auの群、並びにB,N,Al,Si,P,Ga,Ge,In,Sn,Sb,Mg,Te,Biの群から選ばれた少なくとも一種を0.01〜10at%を含有してもよい薄膜形成用材料。 (もっと読む)


【課題】 ギヤ部材の製造の際に、焼入れなどの熱処理をすることなくギヤ部材の硬度を上げることができるギヤ部材の製造方法を得る。
【解決手段】 両端開口の円筒部2の一端部にフランジ部3を有し、フランジ部3には凹凸形状4を有し、外周部にはギヤ部5を有し、円筒部2には他端側から中間部にかけてスプライン部8を有する金属製のギヤ部材1の製造方法において、フランジ部3及びスプライン部8の成形に関わる加工に冷間鍛造による圧縮加工を用い(図3(c),(d))、ギヤ部5の成形には、冷間打抜き加工を用いる(図3(e),(f))ようにした。 (もっと読む)


【課題】 一端側に開口した穴と他端側に設けられたフランジとを有する棒状部材の製造の際に、焼入れをしなくても棒状部材の硬度を均一に近づけることができるようにする。
【解決手段】 一端側に開口した穴2と他端側に設けられたフランジ3とを有する棒状部材1(図2(d))の製造方法において、棒状部材1の軸部1aの径よりも大径であってフランジ3を1回の冷間鍛造加工で成形可能な径を有する素材11(図2(a))に焼鈍処理を施した後、この素材1に冷間鍛造加工を施して素材11の径と略同径の大径部12と軸部1aの径と略同径の小径部13とを形成して、中間材15(図2(b))を得て、中間材15の大径部12側にフランジ3を冷間鍛造加工によって成形し(図2(c))、小径部13側に第1の穴2を冷間鍛造によって成形するようにした(図2(d))。 (もっと読む)


【課題】 所望の組成を有する多成分系のランタニド系複合酸化物薄膜を安定して得る。
【解決手段】 ランタニド系金属及び他の金属を含む薄膜製造用CVD原料であり、Ln(β−dik)3・L・・・(I)で示される化合物(但し、Lnはランタニド系金属原子、β−dikはジピバロイルメタン(DPM)、ジイソブチリルメタン、イソブチリルピバロイルメタン、2,2,6,6−テトラメチル−3,5−オクタンジオン(TMOD)、アセチルアセトン、6−エチル−2,2−ジメチル−3,5−オクタンジオン、5−メチル−2,4−ヘキサンジオン及び5,5−ジメチル−2,4−ヘキサンジオン等のβ−ジケトン類、Lは1,10−フェナントロリン、2,2'−ビピリジル及びそれらの誘導体等の中性配位子。)並びに他の金属を含む有機金属化合物を溶媒に溶解して得られ、式(I)の化合物を熱重量天秤分析(TG)にかけて得られるΔTGグラフは1つの気化点ピークのみを有するCVD原料及びこれを用いた薄膜の製造方法。 (もっと読む)


【課題】 長時間連続運転しても安定で良好な気化特性を示し、均一組成を再現性良く製造できるCVD原料。
【解決手段】 有機金属化合物を1,2−エポキシシクロヘキサンを含む溶媒に溶解して得られる薄膜用CVD原料であり、好ましくは有機金属化合物が金属のジピバロイルメタナト、ペンタフルオロプロパノイルピバロイルメタナト、ジイソブチリルメタナト、イソブチリルピバロイルメタナト、アセチルアセトナト、ヘキサフルオロアセチルアセトナト、2,2,6,6−テトラメチル−3,5−オクタンジオナト、ジオラート、ジアルキルアミド錯体、アルコキシド、シクロペンタジエニル又はそれらの誘導体の少なくとも1種であり、金属がBi、Sr、Ba、Ti、La、Nb、Pb、Ni、Ta、Nd及びZrの群から選ばれた少なくとも一種である薄膜用CVD原料、ならびにそれを用いて溶液CVD法により成膜された薄膜。 (もっと読む)


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