【課題】プラズマ電位が低く，より安定した高密度のプラズマを容易に形成し，プラズマ処理の均一性をより簡単かつ的確に制御する。
【解決手段】処理室１０２内でウエハを載置する載置台１１０と，載置台に対向するように板状誘電体１０４を介して配設された内側アンテナ素子１４２Ａと外側アンテナ素子１４２Ｂとからなる平面状の高周波アンテナ１４０と，高周波アンテナを覆うように設けられたシールド部材１６０とを備え，各アンテナ素子はそれぞれ両端を開放するとともに中点又はその近傍を接地し，それぞれ別々の高周波電源からの高周波の１／２波長で共振するように構成した。 （もっと読む）

【課題】プラズマ電位が低く，より安定した高密度のプラズマを容易に形成する。
【解決手段】処理室１０２内に設けられ，ウエハを載置する載置台１１０と，処理室内に処理ガスを導入するガス供給部１２０と，処理室内を排気して減圧する排気部１３０と，載置台に対向するように板状誘電体１０４を介して配設された平面状の高周波アンテナ１４０と，高周波アンテナを覆うように設けられたシールド部材１６０と，載置台と板状誘電体との間に誘導結合プラズマを生成するための高周波を高周波アンテナに印加する高周波電源１５０とを備え，高周波アンテナは両端を開放するとともに中点又はその近傍を接地し，前記高周波電源からの高周波の１／２波長で共振するように構成したアンテナ素子１４２からなる。 （もっと読む）

【課題】 素子部分に損傷を与えず、ウェハのベベルの汚れを効果的に除去し得るウェハ処理装置を提供する。
【解決手段】 チャンバ１と、チャンバ１の内部に配設されて処理対象であるウェハ７が載置されるステージ６と、チャンバ１の内部にプラズマ９を形成するプラズマ発生手段と、プラズマ９とウェハ７とを隔離するようチャンバ１の内部に配設された隔離部材１０と、プラズマ９によって生成されるラジカル９Ａをウェハ７の外周部に選択的に回り込ませるよう隔離部材１０の外周部に形成した貫通孔１１とを有する。 （もっと読む）

【課題】
２次元或いは３次元図形のデータを統一的に記録するデータ構造で、データ量が少なく処理効率の優れたデータ構造とこれを読み書きするプログラムを提供する。
【解決手段】
本発明によるデータ構造は、図形を表現する幾何学形状の線の端点として当該図形を構成する各点に図形を表現するために必要な情報を保持させた点データのみの集合体で図形データを構成して当該図形の表現を可能とし、前記図形を構成する各点の点データは、そのデータ領域に一定の規則に従って順番に記録される当該点と線で結ばれている複数の隣接点の点データ領域のアドレスと、当該点のアドレスが一定の規則で隣接点の各点データ領域に記録された順番が何番目であるかを示す数値とから構成され、当該点データは様々な属性、履歴情報を持つことが出来る。
またこれを実現するプログラムは、本発明の特有の規則に従って前記各点データの入出力を行うプログラム（関数）で構成される。 （もっと読む）