【課題】 付着した水分がとれやすくしかも表面処理が施しやすいガスケットフィルタを提供する。
【解決手段】 ガスケットフィルタは、円環状のガスケット本体62と、これに一体的に設けられたフィルタ63とを備えており、フィルタ63が、金属製円板状体64に多数の孔45があけられることにより形成されている。フィルター43の孔45がエッチングにより形成されている。フィルタ63が、円板部64と、これの周縁から径方向に突出した少なくとも１つの突出部65とを有しており、ガスケット本体62に、フィルタ63の円板部64を納める凹所66と、凹所66周縁部に沿って設けられた環状突起67と、環状突起67に設けられてフィルタ63の突出部65を納める切欠き部68とが形成されている。 （もっと読む）

【解決手段】 本発明は、成膜、エッチング、あるいは、表面変質等のプラズマを用いたプロセスの際、Ｘｅを含むガスを用いて行うことを特徴とする。
【課題】 本発明は、基板、あるいは、新たに基板上に堆積・形成する膜および基板の中に、イオン照射に起因して導入される欠陥を劇的に減少させるプラズマプロセス方法を提供することを目的とする。 （もっと読む）