【課題】検査用ステージの復路において検査しない時間を省略して検査の効率化を図り、短時間に多くの検査対象物を検査できるようにした外観検査装置を提供する。
【解決手段】プリント基板９を積層するスタッカ１０と、このスタッカ１０から一枚ずつプリント基板９を取り出すピックアップ機構２と、このピックアップ機構２によって吸着して取り出されたプリント基板９を載置する検査用ステージ４と、この検査用ステージ４に載置されたプリント基板９を検査する外観検査部７とを備えてなる外観検査装置１００において、検査用ステージ４０、４１を複数備え、これら複数の検査用ステージ４０、４１を上下方向にローテーションさせることによって順次外観検査部７にプリント基板９を通過させ、検査結果に応じて回収用スタッカ８３０に回収させるようにする。 （もっと読む）

【課題】あらかじめ露光時間を測定する必要がなく、しかも、精度よい検査を行うために最適な画素の情報を生成する。
【解決手段】プリント基板３に光を照射する照明装置１２と、プリント基板３からの画像を取り込むラインセンサ１３と、このラインセンサ１３で取り込まれた画像を記憶する記憶手段２４と、この記憶手段２４に記憶された画像と基準画像とを比較することによってプリント基板３の良否を判定する判定手段２６とを備えた外観検査装置１において、第一の露光時間露光することによって検査対象物の画像を取り込む第一の画像取得手段２０と、この第一の露光時間とは異なる第二の露光時間露光することによってプリント基板３の画像を取り込む第二の画像取得手段２１と、これら第一・第二の画像取得手段２０、２１によって取り込まれた画像から、一ラインにおける各画素の情報を生成する。 （もっと読む）

【課題】より簡単にプリント基板のスルーホールの内壁の画像を取得できるようにする。
【解決手段】スルーホール７０の内壁７１の画像を取得する画像取得装置１において、内壁７１に光を照射する照明装置２１と、スルーホール７０を囲むように内壁７１に対向する斜め上方位置に設けられるリング状の第一の反射体３と、当該第一の反射体３の中心位置に設けられ、第一の反射体３によって反射された光を撮像装置６側に向けて反射する円錐状の反射面４１を有する第二の反射体４とを設ける。この第一の反射体３は、反射角の異なる多段に構成されており、これに対応した位置に第二の反射体４を移動させて内壁７１の深さに応じた画像を取得する。 （もっと読む）

【課題】一方向のステージの移動中に複数種類による照明パターンでの画像を取得する場合、短時間で精度良い検査を行うことのできるような検査装置を提供する。
【解決手段】プリント基板８を移動させる移動機構７と、この移動機構７による一方向の連続した移動中に照射パターンＡと照明パターンＢとを微小時間で切り換えてプリント基板８に光を照射する照明制御手段９１と、この照明制御手段９１によって照射されたプリント基板８からの反射画像をラインセンサ６で受光する受光手段９２と、この受光手段９２によって受光された画像に基づいてプリント基板８の良否を判定する判定手段９４とを設ける。そして、この切り替えられた照明パターンによる画像をステージ７０の移動が完了するまでメモリ９０の同一領域に格納し、その後、照明パターン毎に画像を分解してそれぞれを判定処理する。 （もっと読む）

【課題】ピクセル単位の厳密な位置合わせを行う必要がなく、光学的なずれや機械的なずれが存在していた場合でも虚報を生じさせないようにする。
【解決手段】予め基準対象物１０のピクセル毎に、許容輝度幅と、そのピクセル位置を中心として検査対象物１１の対応するピクセルを探索する探索距離を記憶しておき、まず、基準対象物１０のピクセル位置に対応する検査対象物１１のピクセル位置を中心とする第一の探索距離内に第一の許容輝度幅内のピクセルが存在するか否かを判定する。今度は逆に、その検査対象物１１のピクセル位置に対応する基準対象物１０のピクセル位置を中心とする第二の探索距離内に、検査対象物１１の輝度に対する第二の許容輝度幅内のピクセルが存在するか否かを判定し、各探索距離内に許容輝度幅内のピクセルが存在している場合に、基準対象物１０の位置に対応するピクセルを良ピクセルとする。 （もっと読む）

【課題】吸引ポンプと吸着対象物の位置決めの順序に拘束されることなく、吸着対象物が存在している場合にのみ大きな吸引力で吸着対象物を吸引することのできる吸着機構を提供する。
【解決手段】吸着対象物３を吸引するための吸引口１１０と、吸着対象物３を吸引する吸引口１１０と、吸引ポンプ２から分岐した枝管２１が接続され、室内空間１５の気体を吸引する接続孔１２０とを備え、吸引口１１０に吸着対象物３が存在していない場合には、遮蔽部材１３で接続孔１２０を覆うことによって貫通孔１３４とガイド部材１１２との隙間の僅かな第一の流路４を用いて微少量の気体を吸い込み、吸引口１１０に吸着対象物３が存在している場合には、遮蔽部材１３を接続孔１２０から開放して、第一の流路４よりも最小流路幅の広い第二の流路５を用いて気体を吸い込む流路切替機構１ａを設ける。 （もっと読む）

【課題】一台のカメラ装置を用いながら、三次元形状をなす検査対象物の表面画像を正確に取得でき、精密な検査を行うことのできる検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】対向する側面２１と底面２０とからなる凹部２に光を照射する照射装置３０と、当該照射装置３０から照射された光のうち前記検査対象物の底面２０及び側面２１で反射された光を一台のカメラ装置３１で取得し、当該取得した画像に基づいて前記凹部２の各面の形成状態を検査する表面検査装置１において、側面２１からの反射光を反射させてカメラ装置３１に入射させるための第一の光路４０と、底面２０からの反射光をカメラ装置３１に入射させるための第二の光路４１の光路長をそれぞれ同一に設定する。 （もっと読む）