【課題】簡単な蒸留操作で且つ低コストで、塩酸及びフッ酸を含む混酸廃液から塩酸系混酸とフッ酸系混酸をそれぞれ回収する方法を提供する。
【解決手段】この発明に係る塩酸−フッ酸系混酸廃液から塩酸とフッ酸をそれぞれ回収する方法は、塩酸及びフッ酸を含む混酸廃液を蒸留することによって、塩酸及びフッ酸を含む混酸液を留出させて第１留出液を得る第１蒸留工程と、前記第１留出液に硝酸リチウムを溶解せしめて蒸留を行うことによって、塩酸組成比の増大した混酸液を留出させて第２留出液を得る第２蒸留工程と、前記第２蒸留工程で得られた蒸留残液を蒸留することによって、フッ酸組成比の増大した混酸液を留出させて第３留出液を得る第３蒸留工程とを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡単な蒸留操作で且つ低コストで、塩酸及びフッ酸を含む混酸廃液から塩酸系混酸とフッ酸系混酸をそれぞれ回収する方法を提供する。
【解決手段】この発明に係る塩酸−フッ酸系混酸廃液から塩酸とフッ酸をそれぞれ回収する方法は、塩酸及びフッ酸を含む混酸廃液を蒸留することによって、塩酸及びフッ酸を含む混酸液を留出率２０〜８９質量％で留出させて第１留出液を得る第１蒸留工程と、前記第１留出液に硝酸リチウムを溶解せしめて蒸留を行うことによって、塩酸組成比の増大した混酸液を留出させて第２留出液を得る第２蒸留工程と、前記第１蒸留工程で得られた蒸留残液を蒸留することによって、フッ酸組成比の増大した混酸液を留出させて第３留出液を得る第３蒸留工程と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡単な蒸留操作で且つ低コストで、塩酸及びフッ酸を含む混酸廃液から塩酸濃度の増大した混酸を回収する方法を提供する。
【解決手段】塩酸及びフッ酸を含む混酸廃液に、硝酸金属塩及び塩化金属塩からなる群より選ばれる少なくとも１種の金属塩を溶解せしめて蒸留を行うことによって、塩酸濃度が増大した混酸液を留出させて回収する。 （もっと読む）

【課題】 塩酸を含むエッチング液の廃液から塩酸を回収する方法を提供する。
【解決手段】 本発明のエッチング廃液の処理方法は、塩酸を含むエッチング液によって被エッチング材をエッチング加工した後のエッチング廃液を蒸留する工程と、蒸留して得られた留出液を還元処理して塩酸を得る工程と、を有する。また、蒸留による残渣からインジウムなどの金属を回収することもできる。 （もっと読む）

【課題】液晶表示装置用ガラス基板の薄板化を目的とし、ガラス表面の傷などが小さくなり、ガラス表面の平坦性が向上するガラス基板のエッチング方法及びエッチング装置を提供する。
【解決手段】第１のガラス基板上に薄膜トランジスタ素子を形成し、第２のガラス基板上にカラーフィルタ素子を形成し、素子が形成された面を対向させて配置し、シール材を介して前記第１のガラス基板と前記第２のガラス基板とを貼り合わせ複数個の液晶表示パネルを有するガラス基板対１０とする。このガラス基板対１０を第１の液槽２１に入れ、研磨力の小さい化学研磨液Ａで第１研磨を行うことで、ガラス表面を平坦化し、次に、第２の液槽２３内の化学研磨液Ｂで所望の厚さまで薄板化する。 （もっと読む）

【課題】 大気プラズマ溶射法で、Ｙ_２Ｏ_３の溶射膜を備えたプラズマエロージョンに強いプラズマ処理容器内部材の製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明のプラズマ処理容器内部材の製造方法は、１組のアノード１１とカソード１２を有するプラズマ溶射装置を用いて従来と同じ方法で気孔率５％以上のＹ_２Ｏ_３の溶射膜２１を形成する。その後、この溶射膜２１の上に、気孔率が５％未満のＹ_２Ｏ_３の溶射膜２２を形成する。気孔率が５％未満の溶射膜の形成方法は、つぎの通りである。１組のアノードとカソード間で放電し、作動ガスを供給して発生するプラズマに、粒径が１０〜４５μｍのＹ_２Ｏ_３の粉末状素材を供給する。粒径を通常のプラズマ溶射の場合より小さくすることで、気孔率が５％未満のＹ_２Ｏ_３の溶射膜２２を形成することができる。 （もっと読む）

【課題】 大気プラズマ溶射法で、Ｙ_２Ｏ_３の溶射膜を備えたプラズマエロージョンに強いプラズマ処理容器内部材の製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明のプラズマ処理容器内部材の製造方法は、１組のアノード１１とカソード１２を有するプラズマ溶射装置を用いて従来と同じ方法で気孔率５％以上のＹ_２Ｏ_３の溶射膜２１を形成する。その後、この溶射膜２１の上に、気孔率が５％未満のＹ_２Ｏ_３の溶射膜２２を形成する。気孔率が５％未満の溶射膜の形成方法は、つぎの通りである。１組のアノードとカソード間で放電し、作動ガスを供給して発生するプラズマに、粒径が１０〜４５μｍのＹ_２Ｏ_３の粉末状素材を供給する。粒径を通常のプラズマ溶射の場合より小さくすることで、気孔率が５％未満のＹ_２Ｏ_３の溶射膜２２を形成することができる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、大気プラズマ溶射法で、気孔率が５％未満のＹ_２Ｏ_３の溶射膜を備えたプラズマ処理容器内部材と、その製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明のプラズマ処理容器内部材の製造方法は、複数組のアノード１０１とカソード１０２を溶射方向に延びる中心軸ａの周囲に配置し、各アノード１０１とカソード１０２間に発生するプラズマ流を収束器１１０で合流させて前記中心軸上の先端に開口する１のノズル１２０から大気中に放射するプラズマ溶射装置１００を用い、該プラズマ溶射装置１００の前記中心軸ａ上で粉末投入パイプ１１５からＹ_２Ｏ_３の粉末状素材を供給する。複数のアノードとカソードにより高温のプラズマを生成し、中心軸後方からＹ_２Ｏ_３の粉末状素材を供給するため、高温で低粘性の溶融粒子となり、基材の表面に気孔率５％未満の溶射皮膜を形成することができる。 （もっと読む）

【課題】ＬＣＤのガラス基板から、インジウムの濃度を上げて効果的に回収する方法を提供することを目的としている。
【解決手段】ＬＣＤを炉に入れ、可燃性物質が燃焼又は炭化する温度以上で、かつガラスの溶融温度未満で加熱する工程と、炉内の残存物からガラス基板を取り出し、取り出されたガラス基板にサンドブラスト処理を行いガラス基板の付着物を分離除去する工程と、を有し、前記サンドブラスト処理におけるサンドの噴射圧を０．１〜０．２ＭＰａとし、サンドブラストのエアー装置としてブロワーを使用し、サンドを繰り返し使用することによって、廃棄サンド内のインジウムの含有量を１％以上にした。 （もっと読む）

【課題】 フッ素樹脂コーティング層の厚さを厚くして、寿命を長くできるチャックプレートを提供する。
【解決手段】 チャックプレート１０の母材１１表面１１ａを、０．０５〜０．１５ＭＰａの圧力で、大風量のサンドブラスト加工により粗面にする。表面１１ａはステンレス鋼、チタン又はチタン合金製の母材１１の場合は、Ｒｍａｘ４０〜６０μｍの粗面にし、アルミニウム製の母材１１の場合は、Ｒｍａｘ７５〜９０μｍの粗面にする。その後、該表面に導電性物質を付加したフッ素樹脂をコーティングし、研磨後のコーティング層の厚さを５０〜１００μｍ、表面の平坦度を２０μｍ以下とした。Ｒｍａｘ４０〜６０μｍの粗面にすることで、フッ素樹脂層１２を厚くすることができ、寿命を長くすることができる。 （もっと読む）