【課題】窒素プラズマ合成法において、より大きな結晶粒度を有するIII族窒化物結晶、或いはバルク状のIII族窒化物結晶を生成できるIII族窒化物結晶の製造方法を提供する。
【解決手段】III族元素を含む融液７に対し窒素プラズマ及び水素プラズマを含む混合プラズマＰを接触させることによってIII族窒化物結晶を生成する。この方法により、より大きな結晶粒度のIII族窒化物結晶、或いは肉眼にて視認可能な程度にまで成長したバルク状III族窒化物結晶を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】
装置が簡便で操作が容易で、微小部品の形状を問わず操作が可能であり、微小部品に機械的な損傷を与えにくい微小部品の操作方法を提供することにある。
【解決手段】
キャピラリに液体を満たし、キャピラリの先端のキャピラリ穴から液体が漏れ脱さない表面張力と内圧とが均衡した状態で、キャピラリ穴を微小部品に接触させ、キャピラリを上昇させることにより液体の液架橋力により微小部品を持ち上げ、キャピラリを微小部品を載置したい設置面の位置の上方に移動し、位置でキャピラリを下降させ、微小部品が位置に着地した状態でキャピラリを横方向に移動させて液体を微小部品及び設置面に漏れ出させ、その後、キャピラリを上昇させ微小部品を位置に載置することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】非線形ばね特性をモデル化し、最適なパラメータを事前に把握することを可能とし、そのため簡単な調整作業によって高精度な位置制御を行うことが可能な位置制御装置を提供する。
【解決手段】転がりガイド５によってガイドされるステージ４の位置制御を行う位置制御装置である。ステージ４の速度に基づき転がりガイドの非線形ばね特性から求めた摩擦力によって、制御系におけるステージの推力を補正する。指令位置と実際位置との位置偏差に基づいてステージの位置制御を行うフィードバック制御系を有し、この制御系に転がりガイド５の摩擦力をフィードフォワードゲインとして組み込む。転がりガイド５の非線形ばね特性はブラシモデルを用いて構成する。 （もっと読む）