【課題】 装置を大型化せず、コンテナ内部に効率よく確実にプラズマを発生させることができ、滅菌対象物を確実に滅菌することができるプラズマ発生装置を提供する。
【解決手段】 電磁波を放出する板状の放射板８を有する電磁波発生装置２と、前記放射板８が配設され、密閉空間を形成するチャンバ３と、当該チャンバ３に備わるガス導入口４と、前記チャンバ内に備わる載置台１０と、当該載置台１０に載置され、滅菌対象物１３を収容するための箱体状のコンテナ２０とを備え、当該コンテナ２０には通気口２３が備わり、前記電磁波により、前記ガス導入口４から前記通気口２３を介して前記コンテナ２０内に導入されたガスをプラズマ化して前記滅菌対象物１３を前記プラズマにより滅菌するプラズマ発生装置１であって、前記コンテナ２０は前記放射板８に密着し、少なくとも当該密着部分が樹脂製である。 （もっと読む）