【課題】真空ポンプの運転に伴う真空装置の微振動の低減を図るのに好適な真空ポンプ防振構造を提供する。
【解決手段】メカニカルダンパＤを介して真空装置ＭのチャンバＣに接続される真空ポンプＰの防振構造において、メカニカルダンパＤは、大気と真空の境界を維持する筒状のベローズ２と、ベローズ２の両端に取り付けたフランジ部３Ａ、３Ｂと、その両端のフランジ部間に介在させた筒状の振動減衰部材４とを備え、一方のフランジ部３ＡがチャンバＣに接続し、他方のフランジ部３Ｂが真空ポンプＰの吸気口部ＰＳに接続されるものとする。そして、フランジ部３Ｂと振動減衰部材４との間には低摩擦部材５を介在させ、この低摩擦部材５を介してフランジ部３Ｂと振動減衰部材４とが振動のエネルギーによって相対的に真空ポンプ径方向にずれる自由度を備えるものとする。 （もっと読む）

【課題】真空ポンプの運転に伴う真空装置の微振動の低減を図るのに好適な真空ポンプ防振構造を提供する。
【解決手段】メカニカルダンパＤを介して真空装置ＭのチャンバＣに接続される真空ポンプＰの防振構造において、メカニカルダンパＤは、大気と真空の境界を維持する筒状のベローズ２と、ベローズ２の両端に取り付けたフランジ部３Ａ、３Ｂと、その両端のフランジ部間に介在させた筒状の振動減衰部材４とを備え、一方のフランジ部３ＡがチャンバＣに接続し、他方のフランジ部３Ｂが真空ポンプＰの吸気口部ＰＳに接続されるものとする。そして、フランジ部３Ａ、３Ｂと振動減衰部材４との間には凹凸部５−１、５−２を設け、この凹凸部を介してフランジ部３Ｂと振動減衰部材４とが当接する構造とする。 （もっと読む）

【課題】ベローズに伝わる振動を簡易かつ調整可能な構造で低減可能なポンプ装置を提供する。
【解決手段】防振ダンパ３５０は、振動を減衰するためのゴム部材３０６と、大気と真空の境界を維持するベローズ３０２から構成される。ベローズ３０２の溝３０２ａの一部には弾性材３２１ａ、３２１ｂが埋め込まれている。ゴム部材３０６はベローズ３０２の回りに巻かれた後、固定用バンド３２３で締結されており、ベローズ３０２とゴム部材３０６との間には隙間３２４が形成されている。ゴム部材３０６が存在することでターボ分子ポンプ本体１００が真空引きされたときであってもベローズ３０２が大きく収縮することはない。 （もっと読む）

【課題】メカニカルダンパでは免振できない微振動を低減するのに好適な真空ポンプの防振構造を提供する。
【解決手段】
メカニカルダンパＤを介して真空装置ＭのチャンバＣに接続される真空ポンプＰの防振構造において、真空ポンプＰに防音手段Ｓを設ける。この防音手段Ｓは、当該真空ポンプＳを覆い、真空ポンプＰから大気を介して真空装置Ｍ側へ伝搬する音波を遮断することによって、そのような音波による真空装置Ｍの微振動を低減させる。 （もっと読む）

【課題】冷凍能力の高い大型の冷凍機を用いることなく、クライオパネルの冷却時間の短縮、排気速度の向上を図るのに好適な小型のクライオパネル冷却構造を提供する。
【解決手段】真空チャンバー１内のクライオパネル２と真空チャンバー１外の冷凍機３とを熱伝導材４によって連結し、冷凍機３から熱伝導材４を介してクライオパネル２を冷却するクライオパネル冷却構造において、熱伝導材４については、アルミニュウム等のように体積当たりの熱容量が銅より小さい金属母材の内部にカーボンファイバ等のような繊維状の高熱伝導物質を埋め込んだ複合材を使用して作製されるものとする。 （もっと読む）

【課題】回転ブレードと回転翼本体との結合状態が運転中の温度上昇で変化し、固有振動数が変化するのを防ぐ。
【解決手段】回転ブレード５ｂと回転翼本体５ａとのアリ溝型結合部２０に、アリ溝２０１のある回転翼本体５ａよりも線膨張係数が大きい間挿部材５ｄを介在させ、ポンプ運転中の温度上昇による熱膨張で結合部２０の結合力が低下するのを防止する。 （もっと読む）

【課題】磁気軸受、センサ、モータなどの接続配線の断線の発生を低減させること。
【解決手段】ラジアル磁気軸受部８の電磁石８ｂは、鉄心８１、巻線８２及びインシュレータ８３を備えている。鉄心８１は、中空円筒状であり、内周壁から突出した突起部を複数有している。インシュレータ８３は、絶縁部８３ａ、上スペーサ部８３ｂ、下スペーサ部８３ｃから構成されている。絶縁部８３ａは、巻線８２と鉄心８１を絶縁する。上スペーサ部８３ｂは鉄心８１の外縁部から上方向に形成され、下スペーサ部８３ｃは下方向に形成されている。インシュレータ８３のこれらの部位は、所定の型に熱硬化性エポキシ樹脂材を充填することによって一体形成されている。インシュレータ８３は、金属より剛性の低い樹脂等の絶縁材によって構成されているため、配線などが挟まれた場合における断線の発生率を低下させることができる。 （もっと読む）

【課題】パーティクルの逆流を防止する対策を容易に施すことができる真空ポンプを提供すること。
【解決手段】ケーシング２の吸気口５側の端部に複数の貫通細孔３０ａを有するハニカム構造体によって形成された逆流防止構造３０が配設されている。逆流防止構造３０は、固定部３１、逆流防止構造３０を固定する押さえ板３２、押さえ板３２をケーシング２へ固定するネジ３３によって固定されている。そのため、ターボ分子ポンプ１を分解することなく、容易に逆流防止構造３０を着脱することができる。吸気口５から取り込まれたパーティクルが、ターボ分子ポンプ１の内部で動翼列８に衝突した場合、逆流防止構造３０側へ跳ね返され、貫通細孔３０ａに侵入する。パーティクルは、貫通細孔３０ａの側壁への衝突を何度も繰り返すうちに自身の運動エネルギーが減衰させられるため、真空容器まで辿り着くことができなくなる。 （もっと読む）

【課題】ロータの回転周波数が、ＰＬＬ回路がロックできない低回転から高速に回転する定常回転に至るまで、該ロータの磁極の位置を検出してモータ巻線の電流を適正に制御できるブラシレスモータの制御回路などを提供すること。
【解決手段】磁極を備えたロータが回転することによって生じるモータ巻線の磁束の変化（磁束信号）から磁極の位置を検出し、これによって、ロータの回転に同期した同期信号（ＲＯＴ信号）を生成する。ＰＬＬ回路がロックできない低回転周波数でロータが回転しているときは、出力可能な駆動電圧ベクトルのうち所定の２つの駆動電圧ベクトルを用いてロータを駆動し、ＰＬＬ回路をロックできる回転周波数に達した場合は、出力可能な駆動電圧ベクトルを検出した磁極の位置に同期して順次出力してロータを駆動する。また、モータ巻線のインダクタンスによる電圧降下の位相と大きさが等しくなる２相間の電圧を用いて磁束信号を得る。 （もっと読む）

【課題】磁気軸受の姿勢の自由度を活用して、高次の振動モードを制振可能とし、真空機器である真空ポンプを、制振機器としても活用し、この真空ポンプを使用してなる装置の精度及び生産性に寄与した制振装置及び制振方法を提供する。
【解決手段】第１の振動センサ及び第２の振動センサで検出された振動信号を基に傾斜方向振動成分と並進方向振動成分とを分離し、傾斜方向振動成分を傾斜方向信号補償手段で信号補償された出力信号に対し加算して傾斜方向信号を生成し、並進方向振動成分を並進方向信号補償手段で信号補償された出力信号に対し加算して並進方向信号を生成し、並進方向信号及び傾斜方向信号を基に第１の位置センサに対応して配置された第１の径方向電磁石を駆動し、及び第２の位置センサに対応して配置された第２の径方向電磁石を駆動する。 （もっと読む）