【課題】基板等の板状部材に貼着された保護フィルムの端縁部を剥離させる際の衝撃を抑制し、基板の破損及び装置の故障を防止することができ、しかも、ロット毎の切り替えが容易なフィルム剥離装置の提供。
【解決手段】標準圧接ローラー１５及び傾斜圧接ローラー１６を支持させた一対の支持部材２０，２１を有するローラーユニット１７と、ローラーユニット１７を板状部材幅方向で移動させる幅方向移動手段とを備え、幅方向移動手段は、支持レール部材２７，２７に沿ってローラーユニット１７を任意の位置に移動させる動作ユニット２８と、動作ユニット２８を制御する制御ユニットとを備えた。 （もっと読む）

【課題】基板等の板状部材に貼着された保護フィルムの端縁部を剥離させる際に生じる微細な破片等を抑制し、基板等の板状部材の破損及び装置の故障を防止することができるフィルム剥離装置及びフィルム剥離方法の提供。
【解決手段】片面又は両面に保護フィルムＢが貼着された基板Ａの保護フィルムの端縁部を基板Ａより剥離させる端部剥離機構と、端部剥離機構の板状部材移送方向下流側に配置され、剥離された保護フィルム端縁部を切掛けとして保護フィルム全体を順次剥離させる本剥離機構とを備え、端部剥離機構は、保護フィルム端縁部の一部を基板Ａより浮き上がらせる部分剥離手段と、基板Ａの板状部材移送方向前縁部に吐出口を向けたノズル２５を有する気体噴射ユニット１７と、気体噴射ユニット１７を板状部材幅方向で移動させる気体噴射ユニット移動手段１８とを備えた。 （もっと読む）

【課題】薄い板状部材であっても板状部材を変形させずに、板状部材の片面又は両面に貼着された保護フィルムを好適に剥離させることができるフィルム剥離装置の提供。
【解決手段】本剥離機構４は、板状部材を移送する板状部材移送手段４０と、気体噴射ユニット４６を有する剥離手段４１と、保護フィルムＢを移送するフィルム除去手段４２，４３とを備え、板状部材移送手段４０により板状部材Ａを移送させつつ、剥離させた保護フィルムＢと板状部材Ａとの間に気体噴射ユニット４６より気体を噴射させることにより保護フィルムＢ全体を順次剥離させるようにし、剥離手段４１は、板状部材Ａの上面及び／又は下面側に気体噴射ユニット４６，７０を配置するとともに、板状部材Ａの気体噴射ユニット４６，７０とは反対面側に板状部材支持部４７，７１を備え、板状部材支持部４７，７１に反力をとって噴射された気体による圧力に対抗するようにした。 （もっと読む）