【課題】圧縮空気の消費量を最小限に抑えつつ、好適なＥ／Ｆを得ることが可能なエッチング方法の提供。
【解決手段】エッチング液を１流体ノズル２０から噴射してエッチング対象物１のエッチング対象面に吹き付けることによって、エッチング対象面をエッチングする第１のエッチング工程と、エッチング液と気体とを混合して２流体ノズル３０から噴射し、第１のエッチング工程でエッチングされたエッチング対象面にエッチング液を吹き付けることによって、エッチング対象面をさらにエッチングする第２のエッチング工程と、を備える。第２のエッチング工程では、第１のエッチング工程よりも微小液滴のエッチング液を、第１のエッチング工程よりも強い打力でエッチング対象面に吹き付ける。 （もっと読む）

【課題】本発明は、研磨用固液回収分離装置に関し、切り屑の含有率を下げるために分散液を廃棄していたために当該分散液の回収率が低下してコストが嵩んでいること、また、一次分離及び二次分離の負荷低減によってコストダウンを図ることが課題であって、それを解決することである。
【解決手段】ウエハ切断に使用される研磨用固液回収分離装置であって、ワイヤソー１のワイヤに吹き付けられたスラリーを集めてリサイクル装置に移送させる途中に、切り屑の混入が少ないスラリー２と切り屑の混入が多いスラリー３とに分けるスラリー分別装置１４が設けられ、前記スラリー分別装置１４で分けられた切り屑の混入が少ないスラリー２はタンクに戻され繰り替えし使用され、前記スラリー分別装置で分けられた切り屑の混入が多いスラリー３は分離装置に送られ固形物と液体成分とに分けてからリサイクル装置に移送される研磨用固液回収分離装置とするものである。 （もっと読む）

【課題】 公知技術に係る封孔処理剤（腐食抑制剤）において、より高い耐食性を維持しつつ、はんだリフローなどによる熱負荷後の接触抵抗をより安定させると共に、溶媒に揮発性の高い有機溶剤を使用しないことによって、環境汚染の面及び作業環境の防災面での安全性を高めること。
【解決手段】 本発明に係る腐食抑制処理剤は、油に関しては熱負荷、温度衝撃に対して安定なものを選び、腐食抑制剤はそれらの油に容易に溶解するものを選択したのである。具体的には、ポリエーテル系合成油とポリオキシエチレンひまし油エーテルを油として選び、オキサゾール系化合物を腐食抑制剤として、各々を水または水系溶媒に溶解して水溶性の腐食抑制処理剤を調合したものであり、抵触圧力デバイス、及びプリント基板の回路部のめっき接点部の処理に適用することにより、高い耐食性と安定した接触信頼性を確保しつつ、環境汚染や作業環境の防災面においても大幅な改善に寄与することができる。 （もっと読む）