【課題】粉体を均質に混合して高品質の混合物を得ることができ、作業性の向上及び撹拌コストの低減をも実現し得る粉体撹拌装置を提供する。
【解決手段】公転用モータ３と、公転用モータ３の出力により粉体容器４を公転軸１１回りに公転させる公転機構１０と、自転用モータ５と、公転する粉体容器４を自転用モータ５の出力により自転軸１９回りに自転させる自転機構２０と、粉体容器４の自転軸１９の公転軸１１に対する傾きθの調整を行う角度調整機構３０を備えた。 （もっと読む）

【課題】シリコン等の基板上に回路等のパターンを生成する場合において、構成の簡略化及び処理コストの低減化を実現し、シリコン基板から剥離したフォトレジスト及び金属膜などの汚れがシリコン基板上に再付着するのを防止し得るウエット処理方法及びウエット処理装置を提供する。
【解決手段】シリコン基板Ｓからフォトレジスト及び金属膜を除去する不燃性液体Ｌを収容可能なスピンステージ２にシリコン基板Ｓをセットすると共に、スピンステージ２に不燃性液体Ｌを入れてシリコン基板Ｓを不燃性液体Ｌ中に没入させた後、ホーン型超音波発生器３の超音波ホーン３Ｃを不燃性液体Ｌ中においてシリコン基板Ｓの表面に適宜間隔をもって対峙させて、シリコン基板Ｓの表面に向けて超音波を照射するのに続いて、スピンステージ２をその中心回りに回転させて、シリコン基板Ｓから除去されたフォトレジスト及び金属膜を不燃性液体Ｌとともにスピンステージ２の外側に排出させる。 （もっと読む）