【課題】
これまで正反射性の円筒面の形状検査は円筒面を回転することで行っていたが、その方法は連続体の円筒面や、回転できない円筒面には適用できないという問題点があった。
【解決手段】
円弧状光源、集光レンズ、門型ミラーを備えた照明系と、門型ミラー、結像レンズ、２次元カメラを備えた検出系を設け、集光レンズ及び結像レンズの光軸と測定対象円筒面の中心軸が門型ミラーを介して同一となるよう門型ミラーを配置することを特徴とする光沢円筒面形状検査装置とした。 （もっと読む）

【課題】
多点で変位を同時に光学的に行おうとした場合、各種光学式変位計を多数用いる方法で多点の同時変位検出を行うことができるが、各センサはそれぞれ、レーザ等の光源、投射レンズ、受光レンズ、受光素子、処理回路、電源等を持ち、また、各センサの出力を受けるための多チャンネルＡＤ回路や出力を処理するコンピュータおよびソフトウエアが必要であり、センサの数が多くなるほど非常に高コストになっていた。
【解決手段】
一端に色収差をもつレンズを備えた光ファイバと、他端に、一本が光源につながり、もう一本が検出器につながる光ファイバを備えた光ファイバカプラとを備えた多数のプローブと、多数のプローブの光源側の光ファイバを並べ、白色光または複数波長光を投入する光源と、多数のプローブの検出器側の光ファイバを並べ、そこに対向配置したカラーカメラとを備える多点変位検出装置とした。 （もっと読む）

【課題】
フィルム上の突起、窪み、折れなどの平面異常による不良を高速に検査するにあたり、反射率や透過率から検査する方式の表面検査装置では平面異常だけを選択的に検出することは非常に困難であった。またレーザ光を使った凹凸測定による検出方法では検査範囲がレンズの大きさにより制限されていた。
【解決手段】
光源より出射された光を、前記平面に対してライン状に走査する光走査手段と、該走査光による該平面および平面異常部からの透過光または反射光を受光する拡散板と、拡散板に投影された光点を結像レンズを介して受光する反射光位置検知手段と、該検知手段からの検知信号により該平面異常部の角度を算出して平面異常の検査を行う角度検査測定部と、を有する光走査式平面検査装置とした。 （もっと読む）

【課題】スポット光を表面に照射し、その反射光をレンズによりＰＳＤ上に結像することにより表面の高さを三角測量法の原理で検知し、またスポット光を表面上で走査することにより表面の断面形状を測定する、小型軽量でありかつレンズ収差の影響を受けない高精度な光学式位置角度検出装置を提供する。
【解決手段】光源１より出射された光を対象表面上に集光（および走査）する投光手段と、走査光による表面からの反射光を結像する前側球面レンズ１６ａおよび後側球面レンズ１６ｂ、１６ｃと、反射光を２系統に分けるハーフミラー２１と、光軸距離が互いに異なる２個の光位置検知手段１８ａ、１８ｂと、該検知手段からの検知信号と各球面レンズ１６ａ、１６ｂ、１６ｃのレンズデータから光線追跡を逆に行うことより該表面上の反射点の位置と角度を算出して表面形状の測定を行う演算部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 透明フィルム上の突起、窪み、折れなどの平面異常による不良を高速に検査するにあたり、反射率や透過率から検査する方式の表面検査装置では平面異常だけを選択的に検出することは非常に困難であった。またレーザ光を使った凹凸測定による検出方法では表裏の反射光を分別できず正確な測定ができなかった。
【解決手段】光源より出射された光を、前記平面に対してライン状に走査する光走査手段と、該走査光による該平面および平面異常部からの透過光を受光する反射光位置検知手段と、該検知手段からの検知信号により該平面異常部の角度を算出して平面異常の検査を行う角度検査測定部と、を有する光走査式平面検査装置とした。 （もっと読む）

【課題】表面に凹凸をもつ物体上に光を走査し、反射光を受光して表面上の位置や高さ検査を行う場合、三角測量法では原理的に必ず光を斜めから投射しなければならず測定できないところが多い。また共焦点法で走査を行うものでは対象物または測定側の高さを変えてくりかえし測定するため時間がかかるという問題がある。分光情報を用いる例では多数のホトダイオードデータを読むのに時間がかかり光による高速走査に適さないという問題点があった。
【解決手段】複数の波長を含む点光源と、点光源からの光を走査する光走査機と、色収差を持つレンズと、対象物からの反射光を分けるビームスプリッタと、反射光を透過するピンホールまたはスリットまたは光ファイバと、ピンホールまたはスリットまたは光ファイバからの光を分光する分光器と分光された光の位置を検出するＰＳＤまたは位置検出型光電子増倍管とを具備するものとした。 （もっと読む）

【課題】 平面上の突起、窪み、折れなどの平面異常による外観不良を高速に検査するにあたり、反射率や透過率から検査する方式の表面検査装置では平面異常だけを選択的に検出することは非常に困難であった。またレーザ光を使った凹凸測定による検出方法では分解能が足りず外観不良を検査することは不可能であった。
【解決手段】光源より出射された光を、前記平面に対してライン状に走査する光走査手段と、該走査光による該平面および平面異常部からの反射光を受光する反射光位置検知手段と、該検知手段からの検知信号により該平面異常部の角度を算出して平面異常の検査を行う角度検査測定部と、を有する光走査式平面外観検査装置とした。また前記反射光位置検知手段は結像レンズによる結像位置から所定の距離だけ光軸方向に離れて設けることとした。 （もっと読む）

【課題】 結像レンズを大幅に小型化し、通常の小型ＰＳＤを用いた簡単な構成とすることによりコストを低減し、また測定光を再度走査ミラーに通すことにより面倒れなどの誤差をキャンセルできる高精度な測定系を実現し、さらに結像倍率を自由に変更できる柔軟性の高い基板検査装置を提供することを課題とする。
【解決手段】 平行光束を出射する光源１と、光束をわける第１のビームスプリッタ１２と、光束の角度を変える走査ミラー２と、走査光束を集光する走査レンズ３と、走査光束を二つにわける第２のビームスプリッタ１３と、わけた光束を折り返すミラー１５と、第１のビームスプリッタ１２でわけられた光束を集光する結像レンズ１７と、集光された光ビーム位置を検知するＰＳＤ１８とで構成されることとした。 （もっと読む）

【課題】義肢のソケットを製作するための石膏型の形状計測を行う石膏型形状計測装置においては従来石膏型の外部側面、内部側面は測定できたが内部底面が測定できなかったので内部底面をも測定できる形状測定器を提供することが課題であった。
【解決手段】 測定対象物に照射するための投光レーザ光と、測定対象物からの反射レーザ光を結像するための結像レンズと、結像レンズによる結像光を受光して結像位置に関する信号を出力する位置検出素子（ＰＳＤ）とを備えた測定ヘッドと、測定対象物を回転させるステージと、測定対象物もしくは測定ヘッドを前記ステージの回転軸方向へ移動させる移動ステージとを備えた、測定対象物の３次元形状を測定する形状計測器であって、測定ヘッド先端に投光レーザ光、反射レーザ光を反射する可動反射ミラーを設け、可動反射ミラーの回転により投光レーザ光、反射レーザ光の投光受光方向を可変する構造とした。 （もっと読む）