【課題】 作業者の熟練度によらずに手早く、安定かつ確実に貼付作業を行うことができる粘着テープの貼付治具を提供すること。
【解決手段】 治具本体と、複数個の、互いに関連付けて前記治具本体に取り付けられた粘着テープ巻込み部材の列とからなり、それぞれの粘着テープ巻込み部材が、前記被着体上をその被着体の少なくとも一部を間に挟んで滑動可能な一対のガイドローラからなり、前記一対のガイドローラは、互いに独立しておりかつ、それぞれ、異なる形状及び機能を有していて、前記粘着テープが前記被着体のテープ被着面に順次巻込まれ、圧着して貼付される位置で、前記治具本体に取り付けられているように構成する。 （もっと読む）

【課題】 摩擦特性が良く耐久性に優れ、半導体ウェハの被削面に欠陥やスクラッチが生じない低コストのＣＭＰ用研磨パッドを提供すること。
【解決手段】 基材と基材上に設けられた研磨層とを有し、上記研磨層が、規則的に複数配置された所定形状の立体要素で構成された立体構造を有し、上記研磨層が、構成成分としてＣＶＤ法により製造されたアドバンストアルミナ砥粒と結合剤とを含む研磨コンポジットで成る、ＣＭＰ用研磨パッド。 （もっと読む）