【課題】 高真空状態下において、半導体基板等を複数の処理チャンバーにおいて効率よく搬送でき、プロセスチャンバーのフットプリントを大幅に縮小可能な基板搬送装置を提供する。
【解決手段】 真空環境２内に、回転駆動軸Ｒ₄回りに旋回可能な第１アーム１３０と、第１アーム１３０に対して所定角度で回動する第２アームと、第２アームの先端で基板を把持可能なツインハンドとが配置された基板搬送装置であって、第１アーム、第２アーム、及びツインハンドを駆動する複数の駆動モータ２１，２２，２３，２４の駆動力を同軸配置された複数の各回転駆動軸Ｒ₁，Ｒ₂，Ｒ₃，Ｒ₄にそれぞれ伝達する伝達ベルト４０，４１，４２，４３により、第１アーム１３０、第２アーム、及びツインハンドは、第１アーム１３０が旋回中心点として旋回し、第２アームとによるアーム伸縮により所定位置に移動し、ツインハンドがチャンバー間での基板の受け渡しを行うようにした。 （もっと読む）

【課題】半導体製造工程や液晶パネル製造工程における各装置間の基板の受け取り時に生じる位置ずれ等を容易に修正でき、かつ確実に保持できる基板保持装置を提供する。
【解決手段】 搬送アームの旋回動作により、旋回アームの先端のハンド・フォーク１１上に載置された基板Ｐを所定の受け渡し位置に搬送する基板搬送装置のハンド・フォーク１１に組み込まれるようにした基板保持装置であって、ハンド・フォーク１１に載置される基板Ｐの両縁端に、その縁端部がほぼ内接するように規制ローラ２０Ａ，２０Ｂ設けるとともに、規制ローラ２０Ａ、２０Ｂの近傍のハンド・フォーク１１上に、水平移動可能な樹脂製パッド３０が組み込まれた基板支持手段１０を設け、樹脂製パッド３０上に基板Ｐを載置保持させるようにした。 （もっと読む）

【課題】 基板の高速搬送時に確実に基板を保持するとともに、所定位置で容易に基板保持を解除可能なコンパクトな基板把持部を提供する。
【解決手段】 旋回アームの先端のチャック部材２２に保持された基板Ｗを所定の受け渡し位置に搬送する基板搬送装置において、チャック部材２２の一部に形成された開口１３を塞ぐように設けられた軸受フランジ１４に支持された揺動支軸１６と、その一部に基板Ｗが載置された際に、揺動支軸１６を支点軸として回動する押圧部材保持フレーム１７と、押圧部材保持フレーム１７の一部に、チャック部材２２の軸線と平行をなして支持されたスラスト軸受１８と、スラスト軸受１８内にピン本体が収容され、スラスト軸受１８の傾きに応じ、ピン本体が軸受軸線方向に沿ってスライドし、水平状態で載置された基板Ｗの縁辺を、圧縮バネ３０を介して先端部材１９で押圧する押圧ピン１２とを備えた。 （もっと読む）

【課題】 シングルアームの動作と連係して２本のチャックがそれぞれ独立して動作して基板等の搬送を行えるようにする。
【解決手段】 チャックに所定の直進動作を付与して基板を基板受け渡し位置まで搬送可能な基板搬送装置において、ベルト７によって回転駆動されるハンド駆動プレート１０と、ハンド駆動プレートの上下位置に配設されハンド駆動プレートの回転動作に追従して旋回可能であって先端にチャック２１Ａ，２２Ａが連結された第１リストブロック１３，第２リストブロック１５と、それぞれのリストブロックのアーム３に対する旋回方向を規制する第１ストッパピン３５，第２ストッパピン３６と、を有する。ハンド駆動プレートと第１リストブロック，第２リストブロックとは磁力結合されており、ハンド駆動プレートが旋回するとストッパピンで規制されない方向についてはリストブロックも磁力結合によってハンド駆動プレートと同時に旋回する。 （もっと読む）

【課題】 シリコンウェハー等の基板等に反りが生じている場合でも確実に基板搬送装置等の載置面に基板を保持できるようにする。
【解決手段】 基板Ｓのほぼ中央位置が載置される基板載置面に吸着孔を形成し、吸着孔を介して生じさせた吸引力により、基板Ｓを吸着ヘッド３に吸着保持するようにした基板保持装置において、吸着ヘッド３の直径よりわずかに小さい面積を有する吸気空間１０を、吸着ヘッド３の基板載置面下に形成する。吸気空間１０の平面の全面にわたり、吸着ヘッド３の基板載置面と吸気空間１０とを貫通する微細孔１２を、所定２mmの間隔以下で分布するように形成する。そして真空発生手段Ｐによって吸気空間１０、微細孔１２を介して生じた吸引力により、吸着ヘッド３の基板載置面上に載置された基板Ｓの反りを補正しつつ吸着保持するようにした。 （もっと読む）

【課題】基板搬送時のアーム動作において、簡単な把持構造により、旋回時及び伸縮時における基板の把持を確実に行うとともに、処理時における基板の解除を容易に行えるようにする。
【解決手段】先端に基板Ｗを把持する把持爪２７が形成され、把持爪２７の押圧動作により、基板Ｗを把持する基板把持部が設けられた先端アーム２０と、先端アーム２０を移動可能な旋回アーム１０とからなる。基板把持部は、先端アーム２０の後端２３ａに永久磁石２９が固着され、スライドガイド２５を介して直動動作が案内されるスライダ２３を有する。旋回アーム１０は、その一部に強磁性体３２が設けられ、旋回アーム１０の旋回位置に応じて強磁性体３２が、永久磁石２９，３１の磁場内の対向位置に移動し、スライダ２を、基板Ｗに向けて前進、あるいは後退させて、先端アーム２０先端の把持爪２７で基板Ｗを把持し、あるいはその把持を解除することができるようにした。 （もっと読む）

【課題】 ２組の平行リンクを連結してなる搬送アームの先端に設けられた基板搬送台を安定した状態で高精度に搬送できるコンパクトなアーム構造を実現する。
【解決手段】２組の平行リンクを連結してなる第１と第２搬送アーム１００と２００とを有し、第１と第２の搬送アーム１００と２００の直線移動と他方の退避動作とを同期をとって行う際、旋回動作が付与される第１搬送アーム１００のアーム１１１と、第２搬送アーム２００のアーム２１１とを所定屈曲角度をなし一体形成した旋回アーム１０とする。旋回アーム１０に同軸駆動源の一方の駆動源から所定の旋回動作を付与するとともに、第１と第２の搬送アーム１００、２００のいずれかに、他方の駆動源から同期した同方向への旋回動作を付与する。第１あるいは第２搬送アームのうち、旋回動作が付与された搬送アームの搬送台を退避させるとともに、他の搬送アームの搬送台を直線移動させるようにした。 （もっと読む）

【課題】 搬送アームの先端に設けられ、簡単な機構により旋回時及び伸縮時に確実に基板を保持するとともに、所定位置で容易に基板保持を解除できるようなコンパクトな把持構造を実現する。
【解決手段】 基板Ｗを保持させた状態で直進運動可能な搬送アームを、旋回軸回りに旋回して基板Ｗを搬送可能な基板搬送装置の把持機構１０において、旋回軸と一体的に回転して搬送アームの先端に取り付けられた搬送ベースプレート８の直進運動方向と一致する磁性体からなる規制プレート３５を設ける。搬送アームの縮退に伴って搬送ベースプレート８が規制プレート３５に近接した際に、搬送ベースプレート８上のクランク３０の一部に取着された永久磁石３２が規制プレート３５に磁力吸引され、クランク３０が支点回りの回動し、スライド部１３が直進運動方向に変換され永久磁石３２の磁力吸引力が及ぶ規制プレート３５の範囲において、スライド部１３先端の基板把持アーム１２の先端で基板Ｗを把持する。 （もっと読む）

【課題】 ２組の平行リンクを連結してなる搬送アームの先端に設けられた基板搬送台を安定した状態で高精度に搬送できるコンパクトなアーム構造を実現する。
【解決手段】 第１平行リンク１０と第２平行リンク２０とが共有短節２６によって連結され、第１平行リンク１０のアーム端の回転軸に付与された旋回動作により、第２平行リンク２０の自由端側に設けられた搬送台５０を直線移動させる搬送アーム１において、共有短節２６を構成する各関節から、第１平行リンク１０の各アーム１１，１２を所定量延長した端部支点間を連結する下面連結プレート１６と、第２平行リンク２０の各アーム２１，２２上の所定量内側の中間支点２３，２４間を連結した上面連結プレートとを、連結プレート１６，１７間の直線移動方向への横ズレを規制し、連結プレート１６，１７が平行状態を保持して相対変位を許容するように平行保持を図る板バネ１８を連結した。 （もっと読む）