【課題】静電アクチュエータの発生圧力を向上させるとともに、駆動の安定性および駆動耐久性の向上を図ることができる静電アクチュエータの絶縁構造を得る。
【解決手段】基板上に形成された個別電極５と、この個別電極５に所定のギャップを介して対向配置された振動板６と、前記個別電極５と前記振動板６との間に静電気力を発生させて該振動板６に変位を生じさせる駆動手段とを備えた静電アクチュエータにおいて、前記個別電極５および前記振動板６の対向面のそれぞれに絶縁膜７、８を設けるとともに、前記絶縁膜７、８の少なくとも一方を、酸化シリコンと、酸化シリコンよりも比誘電率が高い誘電材料とを積層した絶縁膜とし、これらの絶縁膜７、８の一方または両方の表面にセラミックス系硬質膜または炭素系硬質膜からなる表面保護膜９を設ける。 （もっと読む）

【課題】ヘッドチップと配線基板との位置決めが容易で位置精度が高いヘッドの提供。
【解決手段】圧電素子からなる駆動壁とチャネルとが交互に並設されると共に前面及び後面にそれぞれチャネルの出口と入口とが配置され、チャネルの内面に形成された駆動電極と電気的に接続する接続電極が後面に形成されてなるヘッドチップと、ヘッドチップの後面に接合され、接続電極と電気的に接続される配線電極が配列されてなる配線基板とを有するインクジェットヘッドにおいて、配線基板の接合面で配線電極が形成されていない領域と、ヘッドチップの後面で接続電極が形成されていない領域とのそれぞれに、駆動に寄与しない位置決め用のダミー電極が形成されており、配線基板のダミー電極とヘッドチップのダミー電極とが互いに嵌合しているインクジェットヘッド。 （もっと読む）

【課題】インク供給口を形成する工程を改善することによって、製品の生産性を向上させ、かつ、インク供給口を通したインクの供給を円滑にしたインクジェットプリントヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】前面にインクを加熱するためのヒーターが形成された基板を用意する段階と、基板の前面にインク流路を限定する流路形成層を形成する段階と、流路形成層上にノズルを持つノズル層を形成する段階と、流路形成層とノズル層の上部に第１保護層を覆う段階と、基板の背面に基板のエッチングのためのマスク物質を塗布する段階と、基板の側面を保護するための第２保護層を塗布する段階と、湿式エッチングで基板にインク供給口を形成する段階とを含む構成とし、ここで、マスク物質はタンタル、第２保護層はパリレンとすれば良い。 （もっと読む）

【課題】低電圧駆動が可能で大きな振動板戻り力を得ることが困難である。
【解決手段】振動板１１は、振動板１１の短辺方向でおいて、相対的に剛性が異なる少なくとも第１、第２、第３の領域１１Ａ、１１Ｂ、１１Ｃを有し、第１の領域１１Ａよりも第２の領域１１Ｂの剛性が低く、第１の領域１１Ａよりも第３の領域１１Ｃの剛性が高い関係にあり、第２の領域１１Ｂ、１１Ｂは振動板１１の短辺方向の固定端側（隔壁部９側）に設けられ、第３の領域１１Ｃは振動板１１の中央部側に設けられ、更に第３の領域１１Ｃの一部には相対的に剛性の低い低剛性領域１１Ｄが設けられている構成となる。 （もっと読む）

【課題】ヘッドユニットの基準位置に対するヘッドユニットの位置決めの位置誤差を抑制することで、ヘッドユニットにおける液滴吐出ヘッドの位置精度を高くすることができる位置決め方法、ヘッドユニット組立方法、ヘッドユニット組立装置、ヘッドユニット、及び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】液滴吐出ヘッドがユニットプレートに固定されて成るヘッドユニットの組立方法であって、基準点の規格位置を示す基準点マークと、液滴吐出ヘッドの規格位置を示すヘッド基準マークとの位置情報を取得する規格位置情報取得ステップと、基準点の位置を検出する基準点検出ステップＳ２１〜Ｓ２３と、位置情報における基準点マークの位置を、基準点の位置に合致させるようにシフトすると共に、位置情報におけるヘッド基準マークの位置を、基準点マークの位置のシフトと同様にシフトするステップＳ２６とを有する。 （もっと読む）

【課題】機械的な強度が確保され、着弾特性や飛翔特性などの動作特性に優れたノズルプレート、ノズルプレートの製造方法、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】第１のシリコン層と、ガラス層と、前記ガラス層と接合された第２のシリコン層と、前記第１のシリコン層と前記第２のシリコン層との間に設けられた酸化シリコン層と、を備え、前記第１のシリコン層を貫通し液滴を吐出するノズル孔と、前記酸化シリコン層及び前記第２のシリコン層を貫通し前記ノズル孔に連通した流路と、前記ガラス層に形成され前記流路に連通した液室と、が形成されてなることを特徴とするノズルプレートが提供される。 （もっと読む）

【課題】ノズルプレート接合時のノズル目詰まりや位置ずれを確実に防止する。
【解決手段】ノズルが形成されるノズルプレート60と、前記ノズルプレート側に開口する流路が形成されるとともに前記流路内の液体に圧力変化を与える吐出手段が形成されるヘッド本体部114とを備えた液体吐出ヘッドの製造方法であって、前記ノズルプレート60及び前記ヘッド本体部114の少なくとも一方の接合面に光硬化性を有する接着剤を付与する工程と、前記接着剤の付与後、前記ノズル51が前記流路に連通するように位置合わせしながら前記ノズルプレート60を前記ヘッド本体部114に積層して加圧する工程と、前記積層加圧後、前記ノズルプレート60の吐出側から露光を行い、前記ノズル51の吐出側開口部から前記流路内部に入射した光により、前記流路内に存在する接着剤を硬化させる工程と、を含むことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法を提供することにより、前記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】 インク液滴の大きさ、吐出速度、吐出方向を光学的に測定する方法及び計測装置を提供する。
【解決手段】 インク液滴に平行光を当ててできる陰影を画像処理により識別し、インク液滴の形状、大きさを計測する。
また、一定時間だけインク液滴の吐出タイミングをずらすことで生じる陰影のずれ量を画像処理により求めて、インク液滴の飛翔速度と飛翔方向を定量化する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、液体吐出ヘッドに用いる保護層として、緻密で化学的および物理的に安定し、薄膜化してもインク等の液体に対して絶縁性および耐性があり、段差部のカバレッジ性に優れた、さらに好ましくはより薄い保護層を提供することにある。
【解決手段】液体吐出ヘッド基体に用いる保護層として、緻密で化学的および物理的に安定し、薄膜化しても液体に対して絶縁性および耐性があり、段差部のカバレッジ性に優れ、より薄化できる保護層を提供するため、本発明の液体吐出ヘッド基体は、基体と、基体に形成された発熱抵抗層と、液体の流路と、発熱抵抗層に積層され、その端部が発熱抵抗層上で段差部を形成する配線層と、発熱抵抗層と段差部を含む配線層とを覆い、発熱抵抗層と流路との間に配された保護層と、を有する液体吐出ヘッド基体において、保護層は、Ｃａｔ−ＣＶＤ法により形成されたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】リフィル性を向上させるとともに吐出効率を向上させ、高粘度液体の高周波吐出を可能とする。
【解決手段】液滴を吐出する複数のノズルと、前記複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室と、前記圧力室の前記ノズルが形成される側とは反対側に配置され、前記圧力室毎に設けられる供給路を介して前記複数の圧力室にそれぞれ連通し、前記複数の圧力室に供給するための液体が貯留される共通液室と、前記複数の圧力室と前記共通液室の間に配置され、前記圧力室毎に２つの独立駆動可能な圧電素子が設けられたアクチュエータ基板と、を備え、第１の圧電素子は前記圧力室内の液体に圧力変化を与えるとともに、第２の圧電素子は前記供給路の流路抵抗を変化させることを特徴とする液体吐出ヘッドを提供することにより、前記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】インクの吐出エネルギーを発生する発熱抵抗体の抵抗値を最適に設定して、高品位な画像を記録することができるインクジェット記録ヘッド、および、その製造方法を提供すること。
【解決手段】発熱抵抗層７０４によって、シート抵抗値が異なる発熱抵抗体を同一基板上に形成する。 （もっと読む）

【課題】液滴がスムーズに流れて液滴のよどみが生じることがなく、液滴の吐出性を向上させることができるノズル基板の製造方法等を提供する。
【解決手段】エッチング保護膜４２を形成する工程と、シリコン基材４１をドライエッチングして円筒孔部１１０を形成する工程と、孔部保護膜４２０を形成する工程と、樹脂９０を充填し所定部分残して除去する工程と、樹脂９０が除去された部分の孔部保護膜４２０ａを除去する工程と、樹脂９０を取り除き再充填する工程と、再充填された樹脂９００をアッシングしながらシリコン基材４１を孔部保護膜４２０が除去された深さまでドライエッチングし第２のノズル孔部１１ｂを形成する工程と、樹脂９００を除去する工程と、孔部保護膜４２０を除去して第１のノズル孔部１１ａとするとともにエッチング保護膜４２を除去する工程と、シリコン基材４１を薄板化する工程とを有するものである。 （もっと読む）

【課題】 ＣＲヘッドのノズル剥がれ防止。
【解決手段】 インク供給口の寸法を切断前の寸法に矯正してからチッププレートにマウント固定する。矯正方法：吐出口を形成する樹脂を加湿膨潤する。 （もっと読む）

【課題】ノズルプレートの端面が連通孔プレートやザグリプレートの端面よりはみ出さないようにすることで、ワイピング時や記録媒体のジャムによるザグリプレートの剥離を防止することを課題とする。
【解決手段】ノズルプレート１８に積層するザグリプレート１６及びプールプレート２０の外形よりも、ノズルプレート１８の外形を小さくする。このように、打ち抜き加工で、ノズルプレート１８をザグリプレート１６及びプールプレート２０の外形よりも小さくカットすることで、ノズルプレート１８にザグリプレート１６が成形されるプレート６４とプールプレート２０が成形されるプレート６６を積層して、エッチングによってザグリプレート１６及びプールプレート２０を成形すれば、プールプレート２０及びザグリプレート１６の端面からノズルプレート１８の端面がはみ出ることがない。 （もっと読む）

【課題】圧電特性を向上すると共に耐久性の低下を防止したアクチュエータ装置及びその製造方法並びに液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】基板１０上に設けられた下電極６０と、該下電極６０上に形成されたチタン酸ジルコン酸鉛からなり、且つ菱面体晶系の結晶構造を有する圧電体層７０と、該圧電体層７０上に設けられた上電極８０からなる圧電素子３００を具備し、前記圧電体層７０が、厚さ方向で結晶が分断された段構造となっており、且つ前記圧電体層７０の結晶が分断された前記下電極６０側の第１圧電体層７１のジルコニウムに対するチタンの割合を、前記圧電体層７０の結晶が分断された前記上電極８０側の第２圧電体層７０のジルコニウムに対するチタンの割合に対して高くする。 （もっと読む）

【課題】 Si基板上のSi酸化膜とSiとの接合においては、SiとSi酸化膜との熱膨張係数の差による応力が発生する。
【解決手段】 薄膜ＰＪヘッドの振動板を直接接合を用いて転写する際、メンブレン上の振動板のクラック、破壊を防止するため応力調整層を設ける。 （もっと読む）

【課題】流路形成部材に体積変化が生じても、吐出口や流路に変形が生ずることの少ない液体吐出ヘッドを実現する。
【解決手段】液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子１が複数設けられた基板２上に、液体が吐出される複数の吐出口５ａと、液体が供給される液体供給口６ａとが設けられている。また、前記液体供給口６ａと前記吐出口５ａとを連通させる流路７が設けられている。そして、前記流路７を形成する流路形成部材は、樹脂によって形成され、一つの前記吐出口５ａに連通する前記流路７を形成している前記流路形成部材は、他の前記吐出口５ａに連通する前記流路７を形成している前記流路形成部材から独立している。 （もっと読む）

【課題】抵抗が比較的小さく、信頼性が高い金属配線を形成する。
【解決手段】第１の表面１０ａから反対側の第２の表面１０ｂに貫通する貫通穴１３と、第１の表面１０ａ上に形成されたアルミ電極１１と、第２の表面１０ｂと貫通穴１３の内周面とに跨って形成されアルミ電極１１に電気的に接続された金属配線１７とを有する。そして、金属配線１７は、貫通穴１３の内周面に形成された一部が、第２の表面１０ｂ側に形成された部分よりも厚くされている。 （もっと読む）

【課題】圧電体の変位量のばらつきを抑制することができる液滴吐出ヘッド、画像形成装置及び液滴吐出ヘッドの製造方法を得る。
【解決手段】圧電体４６を圧力室５０の周壁（シリコン基板７２）より内側に設けると共に、下部電極５２を各圧電体４６毎に個別化して設け、下部電極５２の長手方向の一端部が圧力室５０の周壁に掛かる大きさとなるようにしている。 （もっと読む）

【課題】 エネルギー変換効率向上のため流路内に発熱体を流路の内壁面より浮かせた状態で位置した液体吐出ヘッドにおいて、発熱体の耐久性を向上させた液体吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】 少なくとも２つの面に気泡を発生させる発熱体を流路の内壁面より浮かせた状態で支持し、前記少なくとも２つの面におけるイナータンスのうちの最大値を最小値の１．５倍以内とする。 （もっと読む）