【課題】 インク滴を吐出するノズルと、このノズルが連通する吐出室と、吐出室の壁面を形成する振動板と、この振動板に対向する電極とを備え、振動板を静電力で変形させてノズルからインク滴を吐出させる静電型インクジェットヘッドにおいて、振動板と電極基板とのギャップを高精度に維持して接合できる、低コストでインク滴吐出性能に優れた液叶出ヘッドの提供。
【解決手段】 振動板１０と電極基板３のギャップスペーサ部１３とをシリコンを含有した金属薄膜２０で接合した。 （もっと読む）

【課題】良好な電気接続が得られる接続端子を備えたインクジェットプリンタヘッドに好適な電気回路基板を提供する。
【解決手段】先ずチップ基板２１上に駆動回路２７、抵抗発熱部２８、共通電極２９、個別配線電極３１、接続端子３２等を形成し、続いてシール隔壁３３−１、インク加圧室３４を作る区画隔壁３３−２及び３３−３を形成し、同時に区画隔壁３３−２に連設してこれと同一材料で支持部材３５を形成する。更にインク供給溝３６とインク給送孔３７を形成する。この後これらの上にオリフィス板２２を積層し、接続端子３２に対応する位置にボンディング用孔２５をエッチングした後、右端部で隣接のチップ基板と切り離す。オリフィス板２２は支持部材３５に支持されるため垂れて接続端子３２に接触することがなく、熱伝導等でエッチングレートを低下させることがなく、エッチング残渣が発生せず、接続端子３２は良好な電気接続性を維持する。 （もっと読む）

【課題】 ワイヤボンディング不良の発生を防止することにより、製品の歩留まり及び信頼性を向上させたインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】 本発明に係るインクジェットヘッドは、駆動用基板１と、駆動用基板１上にポリイミド層２１を介して配置されたドライバーＩＣチップ１１と、このチップ１１と駆動用基板１との間に配置された圧電体膜６と、圧電体膜６にチップ１１からの電圧を印加するためのボンディングワイヤ１３と、駆動用基板１内に形成された圧力発生室１ｂであって、圧電体膜６によって加圧されるインクを入れる圧力発生室１ｂと、チップ１１の裏面と圧電体膜６との間にポリイミド層２１により設けられた空間１１ａであって、圧力発生室１ｂ内のインクを加圧する際に圧電体膜６の動きを阻害しないための空間１１ａと、を具備するものである。 （もっと読む）

【課題】 プラズマ重合（ＣＶＤ）によって撥インク被膜を形成して、長期に亘る安定した吐出を保証できるインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】 ■予め粗面化処理により表面粗さ（Ｒａ）０．０１〜０．１とされた表面に、フッ素含有化合物又はシラン化合物を原料としたプラズマ重合（ＣＶＤ）により膜厚０．５μｍ以下の撥インク膜が形成されたノズルプレートを有するインクジェットヘッド、■フッ素含有化合物又はシラン化合物を原料としてプラズマ重合（ＣＶＤ）により形成された皮膜上に、フッ素樹脂が塗布されて撥インク膜が形成されたノズルプレートを有するインクジェットヘッド。 （もっと読む）

【課題】 品質劣化を伴うことなく、高機能で微細寸法の圧電素子の櫛歯状駆動片を迅速かつ効率よく加工する。
【解決手段】 一対の圧電素子ブロック３２Ａ、３２Ｂの間にスペーサ５０を介在させる。圧電素子ブロック３２Ａ、３２Ｂの上部側は、スペーサ５０より上方に突出しており、この上部側からスリット６０Ａを形成することにより、多数の圧電駆動片４０Ａ、４０Ｂを等間隔で櫛歯状に形成する。スペーサ５０の上部は、圧電駆動片４０Ａ、４０Ｂの基端部を含む位置まで配置されている。このスペーサ５０の上部は圧電素子ブロック３２Ａ、３２Ｂに接着されない非接着領域であり、圧電駆動片４０Ａ、４０Ｂの基端部を補強して、スリット加工時の応力を緩和する。スペーサ５０の非接着領域により、圧電駆動片４０Ａ、４０Ｂの変形は拘束されず、高い応答性と十分な変位量を得ることができる。 （もっと読む）