【課題】本発明の目的の一つは、複数の部材が積層された支持部材において、フィルタと支持部材との接合強度を高め、簡便な構成で、液体中の混入物が吐出素子基板へ浸入することを抑制した液体吐出ヘッドを得ることである。
【解決手段】本発明は、液体を吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子と前記液体を吐出する吐出口と前記吐出口に連通する液体供給口とを備える吐出素子基板と、前記吐出口素子基板を支持し、前記液体供給口に前記液体を供給するための液体導入路を有する支持部材と、を備える液体吐出ヘッドであって、前記支持部材は、前記液体導入路の一部を構成する貫通穴を有する少なくとも１つの導入路用プレートと、前記液体を濾過するフィルタ部材を配置するための開口を有するフィルタ用プレートと、前記開口に配置された前記フィルタ部材と、からなる積層体が焼成されて形成されている液体吐出ヘッドである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、インクジェットヘッド及びその製造方法に関する。
【解決手段】本発明は、インクを保存するインクチャンバが形成されたシリコン材質の上部基板と、前記上部基板に接合され、前記インクチャンバと連結される連結通路及びレストリクタが加工されて形成された低温同時焼成セラミック材質の中間基板と、前記中間基板に接合され、前記連結通路と連結されるノズルが加工されて形成されたシリコン材質の下部基板と、を含むインクジェットヘッド及びその製造方法を提供する。本発明によると、陽極接合により、シリコン基板からなる基板とセラミック基板とを接合することによって基板間の接合を緻密で容易にし、製造歩留りが向上したインクジェットヘッド及びその製造方法を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】キャパシタ構造の劣化を防止することのできる液体噴射ヘッドおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明にかかる液体噴射ヘッド１０００は、基板１０と、基板に設けられた圧力発生室１６と、基板の上方に設けられた弾性板２０と、弾性板の上方に設けられたキャパシタ構造部６０であって、下部電極層３０と、圧電体層４０と、上部電極層５０とを有するキャパシタ構造部と、キャパシタ構造部の少なくとも側面に設けられた保護層６２と、キャパシタ構造部の上方に設けられた多孔質層８０と、多孔質層の上に設けられた封止層９０と、を含み、キャパシタ構造部と前記多孔質層との間に空洞部７２が形成されている。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、封止された空洞内に形成されることにより、劣化が抑制されたキャパシタ構造部を含む、液体噴射ヘッドおよびその製造方法を提供することにある。
【解決手段】基板１０と、基板１０に設けられた圧力発生室１６と、基板１０の上方に設けられた弾性板２０と、弾性板２０の上方に設けられたキャパシタ構造部６０であって、下部電極層３０と、圧電体層４０と、上部電極層５０とを有するキャパシタ構造部６０と、弾性板２０の上方に、キャパシタ構造部６０と接することなく設けられた多孔質層８０と、多孔質層８０の上に設けられた封止層９０と、を含み、キャパシタ構造部６０と多孔質層８０との間に空洞部７２が形成される、液体噴射ヘッド。 （もっと読む）