【課題】 荷電粒子光学装置において試料キャリアの温度を決定する方法を提供する。
【解決手段】 本発明は、荷電粒子光学装置において試料キャリアの温度を決定する方法に関し、該方法は、荷電粒子のビームを用いた試料キャリアの観測を含み、その観測は、その試料キャリアの温度に関する情報を与える。本発明は、TEM、STEM、SEM又はFIBなどの荷電粒子光学装置が、試料キャリアの温度に関する変化を観測するために使用することができるという見識に基づく。その変化は、力学的変化（例えば、二次金属）、結晶学的変化（例えば、ぺロブスカイトの）、及び発光変化（強度又は減衰期間）であってよい。望ましい実施形態において、異なる熱膨張係数を持つ金属（208、210）を示す2つの二次金属（210a、210b）を示し、反対方向に湾曲する。その2つの二次金属間の距離は、温度計として使用され得る。 （もっと読む）

【課題】 高温域において、温度追従性の高い温度検出素子を実現する。
【解決手段】 シリンダ内のガスの測温領域に面して配置された薄板状に形成された受熱部材１１により、ガスの熱を受けるとともに、その熱の温度変化によって厚さ方向に変位を生じさせ、伝達部材１３により受熱部材１１の変位を変形発生部材１２のダイヤフラム１２ｃに伝達し、ダイヤフラム１２ｃの変形を歪検出素子１４により検出することができる。そして、歪検出素子１４により検出されたダイヤフラム１２ｃの変形により、ガスの温度変化を検出することができる。受熱部材１１は薄板状に形成されており、熱容量が小さいため、ガスの温度変化に追従した温度変化を示し、厚さ方向の変位が発生する。この変位に基づいて温度変化を検出するため、特に高温域において、温度追従性の高い温度検出素子１０を実現することができる。 （もっと読む）

バイオチップが、温度に基づき変形する微小機械アクチュエータ２０と、上記アクチュエータの変形に基づき信号を出力するよう構成される検出器３０とを有する一体型温度センサを持つ。アクチュエータは、エラストマーネットワークにおけるＬＣ物質から形成されることができる。検出器３０は、光学的、磁気的又は容量的とすることができる。そのアクチュエータは、層として構成されることができ、その変形は、その層の巻き上がりとすることができる。
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