【課題】
接着剤や溶着剤を用いることなく基板に配線を固定し、低反り測定用基板を作製する。
【解決手段】
測定用基板及び温度測定用基板は、基板に拡散防止層と第１の密着層と配線と第２の密着層と保護層とが積層されてなる。基板は半導体ウェーハと同じ材料で製造される。拡散防止層は配線の成分が基板内に拡散することを防止する機能を有する。第１の密着層は拡散防止層を介して基板に配線を密着させる機能を有する。配線は導電性を有する線材や箔材からなる。第２の密着層は配線と保護層とを密着させる機能を有する。保護層は配線を覆うことによって配線の酸化防止効果、外部との絶縁効果、傷防止効果を有する。 （もっと読む）

【課題】白金抵抗線の酸化・還元の定量的な抵抗値変化のメカニズムを解明し、使用温度領域において抵抗値変化の少ない安定した白金抵抗温度計を得るための製造方法を提供せんとする。
【解決手段】白金抵抗線よりなる感温部を設けた保護管内に、不活性ガスと酸素とを含むパージガスを封入する工程Ｓ１と、白金の酸化物生成自由エネルギーから求められるパージガス中の酸素の分圧における白金の還元状態の温度領域まで、保護管の内部温度を上げる工程Ｓ２と、前記パージガスを、酸素が１ｋＰａ以下の不活性ガスに置換する工程Ｓ３と、この置換した状態で保護管を封止する工程Ｓ４とを備えた。 （もっと読む）

【課題】 応答性に優れ高精度で温度測定できる白金抵抗素子が剥き出しの極細型の白金測温抵抗体及びその製造方法の実現を目的とする。
【解決手段】セラミック体に白金線の入った白金抵抗素子をその素子の外径とほぼ同じ内径を有する極細のステンレス保護管の内部に挿入し、リード線のある側のステンレス保護管内に、真空引きをしながら樹脂を注入し、その樹脂を硬化した後、ステンレス保護管を溶媒に浸し、ステンレスを溶解除去する。そうすることによって、白金抵抗素子の外径と同径の外径を有する円柱状に樹脂でリード線がモールドされ、リード線部が白金抵抗素子本体と一体化された素子同径型の白金測温抵抗体が得られる。 （もっと読む）

【課題】 金属抵抗体の抵抗値の変動を抑制すると共に、感温素子の破損を抑制できる温度センサを提供する。
【解決手段】 第２温度センサ１０１は、感温素子２が金属チューブ１１４の内部に備えられることから、感温素子２が被測定物（排気ガス）に直接接することが無く、被測定物の影響による金属抵抗体４１５の劣化を抑制できる。また、感温素子２のセラミックス基体４１４、セラミックス被覆層４１７および接合層４１６がアルミナ純度９９．９％以上で構成されており、耐マイグレーション性に優れる。さらに、第２温度センサ１０１は、感温素子２が金属チューブ１１４の内部に備えられることから、感温素子２に水滴などが直接付着することがないため、水滴の付着による温度分布の偏りに起因する感温素子２でのクラック発生などの破損を抑制できる。 （もっと読む）

【課題】 炉内の温度制御性能の精度を向上させ、加熱される対象物の品質向上、また品質安定に寄与することができるようにする。
【解決手段】 この発明の加熱炉１は、炉内温度と目標温度との差が所定温度以上の場合、熱電対温度計２５で検出した炉内温度に基づいて温度制御を行い、炉内温度と目標温度との差が所定温度以内の場合、白金シース型抵抗温度計２４で検出した炉内温度に基づいて温度制御を行うようにした。 （もっと読む）