【課題】センサの取り付け位置調整をすることなく良好な計測信号を得ることが容易に可能な物理量計測装置、及び該物理量計測装置を備えた磁気浮上装置、真空ポンプを提供する。
【解決手段】コイルのインダクタンス変化によって振幅変調された高周波電圧に基づいて物理量を計測するセンサにおいて、コイルに被変調高周波電圧の周波数特性又は高周波電圧の周波数の可変手段を設けることによって、コイル又はそのコアの取り付け位置調整を必要とせずにセンサ感度の調整を可能にする。また、差動手段を設け、計測信号と調整可能な基準値信号の差を出力することにより、消費電力を低減し低飽和増幅器の採用を可能にする。更に、上記の調整手段を磁気軸受若しくは真空ポンプの機構部に配置することによって、機構部とコントローラの互換性を向上する。 （もっと読む）

【課題】多量の水や水蒸気等が存在する苛酷な雰囲気下でも、長時間、安定的に鋳片表面温度を測定できる鋳片表面温度の測定装置および鋳片表面温度の測定方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る鋳片表面温度の測定装置は、鋳片１の表面に対してほぼ垂直に交流磁場を印加する励磁コイル２と、前記鋳片１の表面温度によって変化した磁力線を検出するために交流磁場を検出する検出コイル３と、前記検出コイルで交流磁場を検出することによって得られた誘導起電力と予め定めた対応関係データから前記鋳片１の表面温度を導出する表面温度導出手段とを具備し、前記検出コイル３は前記鋳片１の表面と前記励磁コイル２との間に配置されており、前記対応関係データは、予め定めたキュリー点をはさんだ温度区間の鋳片表面温度と誘導起電力との対応関係を表すデータであることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】温度感知用磁性体と検出コイルとのギャップが変動しても、ロータ温度を精度良く検出できる真空ポンプの提供。
【解決手段】磁性体１０２に関する検出信号を、切り欠き１０３に関する下側信号と磁性体１０４に関する上側信号との差信号により規格化補正し、その規格化補正信号（Ｓ−Ｌ）／（Ｈ−Ｌ）と閾値レベルとを比較することにより、ロータ温度が磁性体１０２のキュリー温度を超えたか否かを判断する。規格化補正信号を用いたことで、キュリー温度前後の信号変化をギャップ寸法に依らずほぼ同一とすることが可能となり、ギャップ変動の影響を受けることなく温度判定を正確に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】汚れ等に影響されずに、タイヤに生じた異常を直接検出し、これを運転者に知らせるためのタイヤの異常検出方法を提供する。
【解決手段】磁性体３を、タイヤの環状部分２に周方向に沿って所定のピッチで配設するとともに、環状部分と交差する環状磁路を形成する磁石１２を車体側に設け、タイヤの回転に伴い生起する環状磁路の磁束密度変化によって誘起される起電力を測定し、この測定波形から前記タイヤ環状部分の異常を検出する。 （もっと読む）