【課題】気体を注入して膨らませるボールの直径及び真球度を簡単に、かつ、正確に測定できるようにする。
【解決手段】気体を注入して膨らませるボールの直径及び真球度を測定するためのボール測定具１は、ボールの規定の直径と同じ直径の円周を半分にした半円弧状に形成され、ボールの外周面を接触させるボール接触部１０ａ，２０ａを有している。 （もっと読む）

【課題】 プロセスキット部品が定められた許容範囲を満たすかどうかを測定するための方法および装置を提供することである。
【解決手段】 プラズマ処理ツールのプラズマチャンバ内で使用されるプロセスキット部品が累積された過剰摩耗または堆積物を有するかどうか照合するための、継続か中止かを決定するゲージおよび方法を示す。ゲージは、プロセスキット部品形態のディメンションが定められた寸法許容範囲に違反するかどうか、プロセスキット部品が累積された過剰摩耗または堆積物を有することを示す違反をしているかどうかを照合するための部品を含む。 （もっと読む）