【課題】測定子に対して試料を相対的に自転させることにより測定子で試料の表面を走査する円柱形状測定装置が生成する表面の凹凸データを解析して、真円度等の試料の形状パラメータを算出する形状解析装置及び形状解析プログラムにおいて、作業者が、測定データから算出すべき形状パラメータを選択する際の作業性を向上する。
【解決手段】形状解析装置１は、形状パラメータの算出に使用する凹凸データをユーザに１つ以上選択させるデータ選択入力部１２と、データ選択入力部１２にて選択した凹凸データを測定した測定面の数と面方向情報に応じて、算出可能な形状パラメータのリスト１３を生成する形状パラメータリスト生成部１４と、形状パラメータリスト生成部１４により生成されたリスト１３の中から、算出すべき形状パラメータをユーザに選択させるパラメータ選択入力部１５と、を備える。 （もっと読む）