形状解析装置及び形状解析プログラム

【課題】測定子に対して試料を相対的に自転させることにより測定子で試料の表面を走査する円柱形状測定装置が生成する表面の凹凸データを解析して、真円度等の試料の形状パラメータを算出する形状解析装置及び形状解析プログラムにおいて、作業者が、測定データから算出すべき形状パラメータを選択する際の作業性を向上する。
【解決手段】形状解析装置１は、形状パラメータの算出に使用する凹凸データをユーザに１つ以上選択させるデータ選択入力部１２と、データ選択入力部１２にて選択した凹凸データを測定した測定面の数と面方向情報に応じて、算出可能な形状パラメータのリスト１３を生成する形状パラメータリスト生成部１４と、形状パラメータリスト生成部１４により生成されたリスト１３の中から、算出すべき形状パラメータをユーザに選択させるパラメータ選択入力部１５と、を備える。

【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、測定子に対して試料を相対的に自転させることにより測定子で試料の表面を走査する円柱形状測定装置が生成する測定データを解析して、真円度等の試料の形状パラメータを算出する形状解析装置及び形状解析プログラムに関する。特にこのような形状解析装置や形状解析プログラムにおいて、作業者（ユーザ）に、測定により得られた測定データや、算出しようとする形状パラメータを選択するためのユーザインタフェースの改善に関する。
【背景技術】
【０００２】
円柱形状測定装置は、所定の軸を回転軸として測定子に対して試料を相対的に自転させ、このとき試料の表面の凹凸を測定子で走査することによって、試料の表面の凹凸を測定する。図１は、下記特許文献１に示される円柱形状測定装置の構成を示す図である。
円柱形状測定装置９０は、試料（被測定物）を回転させる為の回転テーブル９１と、試料の表面の凹凸を走査するための測定子９２と、を備えている。本構成例では、測定子９２は、試料の表面に触針９３を接触ながら測定子９２と試料表面とを相対移動させることによって試料表面の凹凸を走査する。このような触針を用いた測定子９２のほか、非接触センサで試料表面の凹凸を読み取る測定子も用いられることがある。
円柱形状測定装置９０は、試料に対して測定子９２をＺ方向に沿って、及びＸＹ平面内で直動させる（直線的に移動させる）カラム９４、上下台９５及びアーム９６を備えている。
【０００３】
図１に示す円柱形状測定装置９０の構成例では、回転テーブル９１によって試料が回転することによって、測定子９２に対して試料が相対的に自転する。この他にも測定子９２が試料の周りを回ることによって、測定子９２に対して相対的に試料が自転するタイプの円柱形状測定装置も使用されている。
また図１に示す円柱形状測定装置９０の構成例では、試料に対して測定子が移動することによって測定子と試料とが相対的に直動するが、このほかにも、試料を移動させることによって測定子と試料とが相対的に直動するように構成することも可能である。
【０００４】
円柱形状測定装置９０は、回転テーブル９１の上に載置した試料を自転させながら触針９３を試料に当てて測定を行う回転測定動作と、試料に対して測定子９２を１方向に直動させながら触針９３を試料に当てて測定を行う直動測定動作とを行うことができる。それぞれの測定動作の際に、試料の側面、並びに上面及び下面のいずれの凹凸を測定するかによって、円柱形状測定装置９０により測定される測定データは、以下の４種類に大別することができる。
【０００５】
図２の（Ａ）は、円柱形状測定装置９０により測定される第１の種類の測定データを説明する図であり、回転測定動作により得られる。
第１の種類の測定データは、触針９３を試料Ｗの外周面Ｓ１に接触させながら、軸ＡＲを回転軸として試料Ｗを自転させて外周面Ｓ１の凹凸を測定して得られるデータである。図示の試料Ｗのように中空形状の試料を測定する場合には、軸ＡＲを回転軸として試料Ｗを自転させて内周面Ｓ３上の凹凸を測定することができ、このように内周面Ｓ３を測定して得られるデータもこの種類に属する。
外周面Ｓ１を測定する場合には、走査線である円周Ｌ１に沿った試料Ｗの外周面Ｓ１の凹凸を示すデータが得られ、このデータは円周Ｌ１を外周とする断面Ｓ２の外周の凹凸を示す。
内周面Ｓ３を測定する場合には、走査線である円周Ｌ２に沿った試料Ｗの内周面Ｓ３の凹凸を示すデータが得られ、このデータは円周Ｌ３を内周とするドーナツ形の断面Ｓ４の内周の凹凸を示す。
【０００６】
図２の（Ｂ）は、円柱形状測定装置９０により測定される第２の種類の測定データを説明する図であり、回転測定動作により得られる。
第２の種類の測定データは、触針９３を試料Ｗの上面Ｓ５又は下面Ｓ６に接触させながら、軸ＡＲを回転軸として試料Ｗを自転させてこれらの面の凹凸を測定して得られるデータである。上面Ｓ５を測定して得られるデータは、円状の走査線Ｌ３に沿った上面Ｓ５の凹凸を示し、下面Ｓ６を測定して得られるデータは、円状の走査線Ｌ４に沿った下面Ｓ６の凹凸を示す。
【０００７】
図３の（Ａ）は、円柱形状測定装置９０により測定される第３の種類の測定データを説明する図であり、直動測定動作により得られる。
第３の種類の測定データは、触針９３を試料Ｗの外周面Ｓ１に接触させながら、測定子９２をＺ方向に直動させて外周面Ｓ１の凹凸を測定して得られるデータである。図示の試料Ｗのように中空形状の試料を測定する場合には、測定子９２をＺ方向に直動させて内周面Ｓ３上の凹凸を測定することができ、このように内周面Ｓ３を測定して得られるデータもこの種類に属する。外周面Ｓ１を測定して得られるデータは、直線状の走査線Ｌ５に沿った外周面Ｓ１の凹凸を示し、内周面Ｓ３を測定して得られるデータは、直線上の走査線Ｌ６に沿った内周面Ｓ３の凹凸を示す。
【０００８】
図３の（Ｂ）は、円柱形状測定装置９０により測定される第４の種類の測定データを説明する図であり、直動測定動作により得られる。
第４の種類の測定データは、触針９３を試料Ｗの上面Ｓ５又は下面Ｓ６に接触させながら測定子９２をＸＹ面内で直動させ、これらの面の凹凸を測定して得られるデータである。上面Ｓ５を測定して得られるデータは、直線状の走査線Ｌ７に沿った上面Ｓ５の凹凸を示し、下面Ｓ６を測定して得られるデータは、直線状の走査線Ｌ８に沿った下面Ｓ６の凹凸を示す。
【０００９】
円柱形状測定装置により得られた測定データを解析することによって、測定データが採取された試料の形状について、様々な種類の形状パラメータを算出することができる。ここで形状パラメータには、例えば以下に示す、円柱形状の試料の断面の真円度や、振れ（面基準）がある。
【００１０】
図４は真円度の説明図である。真円度は、試料の断面の円周の形状（図示Ｌ３）を回転測定動作によって測定し、得られた円周形状が幾何学的に正しい円からどれだけ離れているか（ΔＲ）を算出することによって得られる。
図５は、振れ（面基準）の説明図である。回転測定動作によって測定した基準面ＳＲと同じ傾きを持ち、回転測定動作によって測定した円周ＣＲにより得られた基準面中心Ｃを通るデータム軸ＡＤを中心とする測定円ＣＭの変位の大きさを示す。
【００１１】
円柱形状測定装置により得られた測定データを分析して形状パラメータを計算するために形状解析プログラムを用いられている。図６は、従来行われている形状解析プログラムを用いた解析作業のフローチャートである。
ステップＳ１１では、形状解析プログラムは、そのプログラムに用意されている解散可能な形状パラメータのリストをコンピュータのディスプレイに表示して作業者に提示する。作業者は表示された形状パラメータのリストのうちから１つを選択して、以下のステップで計算を行う形状パラメータを決定する。
【００１２】
ステップＳ１２では、形状解析プログラムは、コンピュータに設けられた大容量の記憶装置（例えばハードディスクドライブ装置やＤＶＤ−ＲＡＭ装置など）の所定のフォルダに記憶された測定データを表示し、作業者は、これら測定データのうち形状パラメータの計算に使用するデータを選択する。
ステップＳ１３では、形状解析プログラムは、ステップＳ１２で選択された測定データを解析して、ステップＳ１１で選択した形状パラメータを計算する。
【００１３】
【特許文献１】特開平５−２３１８０６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
現在、円柱形状測定装置の測定データを解析する形状解析プログラムにより計算できる形状パラメータの種類は非常に多い。例えば、回転測定動作により得られた測定データから算出できる形状パラメータには、例えば「真円度」、「平面度」、「平面度（複）」、「平行度」、「同心度」、「同軸度」、「振れ」、「振れ（面基準）」、「振れ（軸方向）」、「径偏差」、「円筒度」、「直角度（軸基準）」及び「直角度（面基準）」などがあり、また直動測定動作により得られた測定データから算出できる形状パラメータには、例えば「Ｚ軸真直度」、「軸心真直度」、「直動円筒度」、「直動平行度」、「直動直角度」、「直動径偏差」及び「Ｒ軸真直度」などがある。
【００１５】
このため作業者は、コンピュータのディスプレイ上に表示された、非常に多くの種類の形状パラメータのうちから所望のものを選択する、という煩雑な作業を強いられる。また形状パラメータの名称には互いに似たような紛らわしいものがあるため、多数の形状パラメータのうちから選択しなければならない選択作業を、ますます煩雑なものとしていた。
【００１６】
このような問題点に鑑み、本発明は、測定子に対して試料を相対的に自転させることにより測定子で試料の表面を走査する円柱形状測定装置が生成する測定データを解析して、真円度等の試料の形状パラメータを算出する形状解析装置及び形状解析プログラムにおいて、作業者が、測定データから算出すべき形状パラメータを選択する際の作業性を向上することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
上記目的と達成するために、本発明では、円柱形状測定装置によって得られる試料表面の凹凸データのうち、試料の形状パラメータの算出に使用するものを作業者に先に選択させ、選択した凹凸データから計算できる形状パラメータのリストを生成して、計算すべき形状パラメータを作業者にこのリストから選ばせる。
上述のとおり、形状パラメータの種類は多岐に及ぶが、各形状パラメータを算出するには、それぞれ算出に使用する凹凸データを測定した面の数や方向が決まっている。したがって、形状パラメータの算出に使用する凹凸データを先に選択させて、選択した凹凸データから算出できる形状パラメータを決定して、これら決定した形状パラメータのうちから、算出すべきパラメータを作業者に選択させれば、作業者が形状パラメータを選択するときの選択枝を低減することができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明により、円柱形状測定装置が生成する測定データを解析して、真円度等の試料の形状パラメータを算出する形状解析装置及び形状解析プログラムにおいて、作業者が、測定データから算出すべき形状パラメータを選択する際の作業性が向上する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、添付する図面を参照して本発明の実施例を説明する。図７は、本発明の実施例による形状解析装置の全体構成図である。
形状解析装置１は、図１を示して説明した円柱形状測定装置から、この円柱形状測定装置が試料の表面の凹凸を測定子で走査することにより得た表面の凹凸データである測定データを入力し、この測定データを解析することにより試料の形状パラメータを算出する。図示するとおり、形状解析装置１は、円柱形状測定装置から入力した測定データ１１を記憶する記憶装置と、データ選択入力部１２と、形状パラメータリスト生成部１４と、パラメータ選択入力部１５と、形状パラメータリスト算出部１６とを備えている。
【００２０】
作業者は、記憶装置内に記憶された測定データ１１のうちから形状パラメータの算出に使用する測定データを選択する際に、データ選択入力部１２を用いてデータの選択と選択結果の入力を行う。
形状パラメータリスト生成部１４は、データ選択入力部１２によりデータの選択が行われると、形状解析装置１により算出可能な各形状パラメータについて、データ選択入力部１２により選択されたデータから算出可能か否かを判定し、その判定結果をパラメータ算出可否テーブル１３に記憶する。
【００２１】
パラメータ選択入力部１５は、形状パラメータリスト生成部１４によって算出可能と判定された形状パラメータうちから、形状解析装置１に算出させる形状パラメータを作業者に選択させる。
形状パラメータリスト算出部１６は、データ選択入力部１２を用いて選択されたデータを解析して、選択パラメータ選択入力部１５を用いて選択された形状パラメータを算出する。
【００２２】
図７に示す各機能ブロックは、コンピュータと、このコンピュータ上で動作する本発明の実施例による形状解析プログラムによって実現される。図７に示す形状解析装置１を、コンピュータを用いて実現した場合のハードウェア構成を図８に示す。形状解析装置１は、形状解析プログラム２６を実行するＣＰＵ２１と、このＣＰＵ２１に接続されたメモリ２２、キーボード２３、マウス２４、ディスプレイ２５、及びハードディスクドライブ２７と、を備えている。
【００２３】
ハードディスクドライブ２７には、本発明の実施例による形状解析プログラム２６と、円柱形状測定装置から入力した測定データ１１と、パラメータ算出可否テーブル１３が記憶される。また形状解析装置１は、形状解析プログラム２６をコンピュータにインストールし、測定データ１１をコンピュータのハードディスクドライブ２７に入力するためのディスクドライブユニット２８を備えている。
【００２４】
図９の（Ａ）は、図２の（Ａ）及び（Ｂ）を参照して説明した回転測定動作の際に円柱形状測定装置が生成する第１及び第２の種類の測定データの構成例を示す図である。測定子９２に対して試料Ｗを相対的に自転させながら試料表面の凹凸を測定子９２で走査する回転測定動作の場合には、測定データは、各測定点における表面の凹凸を示す座標データｉ（ｉ＝１、２、…）と、それぞれの測定時刻における測定子９２に対する試料Ｗの自転角度の角度位置を示す回転角度情報ｉと、からなるデータ対の列になる。
【００２５】
図９の（Ａ）に示す測定データは、座標データｉ及び回転角度情報ｉの列からなるデータ本体部分に加えてヘッダ情報を含む。ヘッダ情報には、その測定データを測定したときの測定動作情報と、測定時に測定子９２により走査した面（図１に示す円柱形状測定装置の場合には触針９３を摺動させた面）の方向を示す面方向情報を含んでいる。
例えば、回転測定動作により得られた図９の（Ａ）に示す測定データの場合、ヘッダ情報の測定動作情報には、回転測定動作を示す情報「回転」が含まれる。
【００２６】
また面方向情報には、図２の（Ａ）に示す円周Ｌ１に沿って測定子９２による走査が行われた場合には「外周面」を示す情報が、円周Ｌ２に沿って測定子９２による走査が行われた場合には「内周面」を示す情報が含まれる。
さらに図２の（Ｂ）に示す円周Ｌ３に沿って測定子９２による走査が行われた場合には面方向情報には「上面」を示す情報が含まれ、円周Ｌ４に沿って測定子９２による走査が行われた場合には「下面」を示す情報が含まれる。
【００２７】
図９の（Ｂ）は、図３の（Ａ）及び（Ｂ）を参照して説明した直動測定動作の際に円柱形状測定装置が生成する第３及び第４の種類の測定データの構成例を示す図である。測定子９２に対して試料Ｗを自転させず、相対的に直動させながら試料表面の凹凸を測定子９２で走査する回転測定動作の場合には、測定データは、各測定点における表面の凹凸を示す座標データｉ（ｉ＝１、２、…）の列になる。
【００２８】
図９の（Ｂ）に示す測定データもヘッダ情報を含んでいる。図９の（Ａ）に示す測定データと同様にヘッダ情報には測定動作情報と面方向情報とを含んでおり、本例では例えば測定動作情報には、直動測定動作を示す「直動」が含まれる。
また面方向情報には、図３の（Ａ）に示す直線Ｌ５に沿って測定子９２による走査が行われた場合には「外周面」を示す情報が、直線Ｌ６に沿って測定子９２による走査が行われた場合には「内周面」を示す情報が含まれる。
さらに図２の（Ｂ）に示す直線Ｌ７に沿って測定子９２による走査が行われた場合には面方向情報には「上面」を示す情報が含まれ、直線Ｌ８に沿って測定子９２による走査が行われた場合には「下面」を示す情報が含まれる。
【００２９】
さらに図３の（Ａ）に示すように、直動測定動作の際には測定子９２に対して試料Ｗを自転させないので、回転テーブル９１は測定動作中に回転しない。図９の（Ｂ）のヘッダ情報は、直動測定動作における回転テーブル９１の角度位置情報を含む。後述するとおり、直動測定動作に関するいくつかの形状パラメータ、例えば後述する「軸心真直度」や「直動円筒度」などの算出にあたっては、試料Ｗの外周面Ｓ１又は内周面Ｓ３上の互いに対向する箇所をＺ方向に沿って走査して得た２つの測定データを用いる。
図９の（Ｂ）の角度位置情報は、試料Ｗの外周面Ｓ１又は内周面Ｓ３をＺ方向に走査したときの回転テーブル９１の角度位置情報を示すことによって、試料Ｗの外周面Ｓ１又は内周面Ｓ３をＺ方向に走査して得た測定データについて、データを測定した走査線を試料Ｗの自転軸から見たときの相対的な方位角を与える。この角度位置情報は、２つの測定データが試料Ｗの表面上の互いに対向する箇所で測定されたものか否かを判定する際に利用される。
【００３０】
図１０は、本発明の実施例による形状解析プログラム２６による形状パラメータの解析作業のフローチャートである。
ステップＳ２１では、作業者は、円柱形状測定装置から入力されハードディスクドライブ２７に保存された複数の測定データ１１のうちから、形状パラメータの算出に使用するものを１つ以上選択する。この様子を図１１及び図１２を参照して説明する。
図１１は、形状解析プログラム２６がディスプレイ２５に表示するメイン画面を示す図である。
【００３１】
メイン画面には、形状解析プログラム２６に行わせる動作を選択するツールバー３１が設けられており、図示するとおりツールバー３１は、ファイルの入出力動作やプログラムの終了指示などを行うための「ファイル」ボタン、回転測定動作による測定データを解析して形状パラメータを算出させる指示を行うための「回転系測定」ボタンと、直動測定動作による測定データを解析して形状パラメータを算出させる指示を行うための「直動系測定」ボタンとが設けられている。
【００３２】
マウス２４によって「ファイル」ボタンをクリックすることにより、図１２の（Ａ）に示すようなファイル操作用プルダウンメニュー３２が表示される。さらにマウス２４によってメニュー項目「開く」を選択することにより、図１２の（Ｂ）に示す入力ファイル指定画面３３がディスプレイ２５に表示される。
入力ファイル指定画面３３には、ハードディスクドライブ２７内の所定のフォルダ（ディレクトリ）内に記録されている測定データファイルのファイル名一覧３４が表示される。作業者は、ファイル名一覧３４内のファイル名をマウス２４で指定することにより、またはファイル名をキーボード２３で直接入力することによって、以降のステップで行う形状パラメータの算出に使用する測定データを１つ以上選択する。
【００３３】
図１０に戻りステップＳ２２では、形状解析プログラム２６は、ステップＳ２１で選択した１以上の測定データから計算できる形状パラメータのリストを作成する処理を行う。
形状パラメータのリストを作成する処理は、形状解析プログラム２６によって算出することが可能な各形状パラメータについて、ステップＳ２１で選択した測定データから算出できるか否かを判定し、その判定結果をパラメータ算出可否テーブル１３に記憶することによって行う。
図１３は、パラメータ算出可否テーブル１３のうち、回転測定動作による測定データから算出可能な形状パラメータに関する部分のみを示したパラメータ算出可否テーブル１３ａを示す図である。
【００３４】
本実施例による形状解析プログラム２６は、回転測定動作による測定データから算出可能な形状パラメータとして、「真円度」、「平面度」、「平面度（複）」、「平行度」、「同心度」、「同軸度」、「振れ」、「振れ（面基準）」、「振れ（軸方向）」、「径偏差」、「円筒度」、「直角度（軸基準）」及び「直角度（面基準）」を算出することができる。パラメータ算出可否テーブル１３ａは、これらの形状パラメータのそれぞれについて、ステップＳ２１で選択した測定データから算出できるか否かのフラグを記録するための計算可否フィールドを有する。
【００３５】
以下、上記に列挙した回転測定動作による測定データから算出可能な各形状パラメータの意義と、それぞれのパラメータを計算するために必要な測定面数と測定面の種類を説明する。
以下の説明において「測定面数」の語は、測定子９２による走査が１回行われて１つの測定データが得られた測定面の数を意味するものとして使用する。例えば、同一の面にて２回走査が行われ２つの測定データが採取された場合には測定面数は「２」となる。
ここで、図２の（Ａ）を参照して説明した試料Ｗの外周Ｌ１又は内周Ｌ２を測定した第１の種類の測定データについて測定面数をカウントする場合には、１つの外周Ｌ１を１回走査して得た１つの断面Ｓ２の外周の凹凸を測定した測定データの測定面数を「１」とし、または１つの内周Ｌ２を１回走査して得た断面Ｓ４の内周の凹凸を測定した測定データの測定面数を「１」とする。
【００３６】
形状パラメータ「真円度」の意義は図４を参照して説明したとおりである。真円度を算出するには、図２の（Ａ）に示す試料Ｗの外周Ｌ１又は内周Ｌ２を測定した、測定面数が１以上の第１の種類の測定データを必要とする。
【００３７】
図１４を参照して形状パラメータ「平面度」の意義を説明する。平面度は、平面Ｓ１又はＳ２上の凹凸を回転測定して得られた平面形状が、幾何学的に正しい平面からどれだけ離れているかの誤差の大きさを示す。したがって平面度の算出には、図２の（Ｂ）に示す試料Ｗの上面Ｓ５又は下面Ｓ６を測定した、測定面数が１以上の第２の種類の測定データを必要とする。
形状パラメータ「平面度（複）」は、平面の凹凸を２回以上回転測定し、全ての測定データの最大値と最小値の幅を平面度として示したものである。したがって平面度（複）の算出には、図２の（Ｂ）に示す試料Ｗの上面Ｓ５又は下面Ｓ６を測定した測定面数が２以上の第２の種類の測定データを必要とする。
【００３８】
図１５を参照して形状パラメータ「平行度」の意義を説明する。平行度は、２つ以上の平行な平面の凹凸を回転測定し、一方の面ＳＲをデータム面とし、他方の面ＳＭを測定面としたとき、データム面ＳＲに幾何学的に平行な平面体から測定面ＳＭがどれだけ離れているかの誤差の大きさを示す。したがって平行度の算出には、図２の（Ｂ）に示す試料Ｗの上面Ｓ５又は下面Ｓ６を測定した測定面数が２以上の第２の種類の測定データを必要とする。
【００３９】
図１６を参照して形状パラメータ「同心度」の意義を説明する。同心度は、同じ中心を持つ２つ以上の円周ＣＲ、ＣＭ１及びＣＭ２の凹凸を回転測定し、基準円ＣＲの中心を通り、ワークＷの回転中心に平行な軸をデータム軸ＡＤとしたときの、データム軸の軸心に対する各測定円ＣＭ１及びＣＭ２のそれぞれの中心位置Ｃ１及びＣ２の位置の狂いの大きさを示す。したがって同心度の算出には、図２の（Ａ）に示す試料Ｗの外周Ｌ１又は内周Ｌ２を測定した測定面数が２以上の第１の種類の測定データを必要とする。
【００４０】
図１７を参照して形状パラメータ「同軸度」の意義を説明する。同軸度は、同じ中心を持つ３つ以上の円周ＣＲ１、ＣＲ２及びＣＭの凹凸を回転測定し、基準円ＣＲ１及びＣＲ２の中心を通るデータム軸ＡＤからの、測定円ＣＭの軸心ＡＭの狂いの大きさを示す。したがって同軸度の算出には、図２の（Ａ）に示す試料Ｗの外周Ｌ１又は内周Ｌ２を測定した測定面数が３以上の第１の種類の測定データを必要とする。
【００４１】
図１８を参照して形状パラメータ「振れ」の意義を説明する。振れは、２つ以上の円周Ｃ１〜Ｃ４の凹凸を回転測定し、データム軸心に対する測定円Ｃ１〜Ｃ４の変位の大きさ、又はデータム軸を直線とする円筒面の変位の大きさを示す。したがって、振れの算出には、図２の（Ａ）に示す試料Ｗの外周Ｌ１又は内周Ｌ２を測定した測定面数が２以上の第１の種類の測定データを必要とする。
【００４２】
形状パラメータ「振れ（面基準）」の意義は図５を参照して説明したとおりである。振れ（面基準）の算出には、図２の（Ａ）に示す試料Ｗの外周Ｌ１又は内周Ｌ２を測定した測定面数が２以上の第１の種類の測定データと、図２の（Ｂ）に示す試料Ｗの上面Ｓ５又は下面Ｓ６を測定した測定面数が１以上の第２の種類の測定データを必要とする。
【００４３】
図１９を参照して形状パラメータ「振れ（軸方向）」の意義を説明する。振れ（軸方向）は、２つ以上の基準円ＣＲ１及びＣＲ２の中心から求めたデータム軸ＡＤに垂直な平面から、測定面ＳＭまでの距離の最大値と最小値の差を示す。したがって、振れ（軸方向）の算出には、図２の（Ａ）に示す試料Ｗの外周Ｌ１又は内周Ｌ２を測定した測定面数が２以上の第１の種類の測定データと、図２の（Ｂ）に示す試料Ｗの上面Ｓ５又は下面Ｓ６を測定した測定面数が１以上の第２の種類の測定データを必要とする。
【００４４】
図２０を参照して形状パラメータ「径偏差」の意義を説明する。径偏差は、同じ半径をもつ２つ以上の円周Ｃ１〜Ｃ３の凹凸を回転測定し、これらの円周Ｃ１〜Ｃ３の半径差の最も大きい値ΔＲを示す。したがって、径偏差の算出には、図２の（Ａ）に示す試料Ｗの外周Ｌ１又は内周Ｌ２を測定した測定面数が２以上の第１の種類の測定データを必要とする。
【００４５】
図２１を参照して形状パラメータ「円筒度」の意義を説明する。円筒度は、同一中心軸及び同一半径を持つ円周の凹凸を２つ以上測定し、幾何学的に正しい円筒からこれら測定円の狂いの大きさｅを示す。したがって、円筒度の算出には、図２の（Ａ）に示す試料Ｗの外周Ｌ１又は内周Ｌ２を測定した測定面数が２以上の第１の種類の測定データを必要とする。
【００４６】
次に形状パラメータ「直角度（軸基準）」の意義を説明する。説明には図１９を使用する。直角度（軸基準）は、２つ以上の基準円ＣＲ１及びＣＲ２の中心から求めたデータム軸ＡＤに垂直な２つの平面で、測定面ＳＭを挟んだときの２平面の間隔を示す。したがって、直角度（軸基準）の算出には、図２の（Ａ）に示す試料Ｗの外周Ｌ１又は内周Ｌ２を測定した測定面数が２以上の第１の種類の測定データと、図２の（Ｂ）に示す試料Ｗの上面Ｓ５又は下面Ｓ６を測定した測定面数が１以上の第２の種類の測定データを必要とする。
【００４７】
図２２を参照して形状パラメータ「直角度（面基準）」の意義を説明する。直角度（面基準）は、基準平面ＳＲの凹凸と、基準円ＣＲ及び測定円ＣＭの円周の凹凸を回転測定し、基準平面ＳＲに垂直かつ基準円ＣＲの中心Ｃ１を通る軸をデータム軸ＡＤとして、測定円ＣＭの中心位置Ｃ２とデータム軸ＡＤとの距離の最大値を示す。したがって、直角度（軸基準）の算出には、図２の（Ａ）に示す試料Ｗの外周Ｌ１又は内周Ｌ２を測定した測定面数が２以上の第１の種類の測定データと、図２の（Ｂ）に示す試料Ｗの上面Ｓ５又は下面Ｓ６を測定した測定面数が１以上の第２の種類の測定データを必要とする。
【００４８】
以上のとおり回転測定動作による測定データから算出可能な形状パラメータのそれぞれについて説明した、各形状パラメータを算出するのに必要な測定面数と測定面の種類に関する条件を図２３に示す。
図２３において、「○（１）」は、図１０に示すステップＳ２１で選択した測定データが図２の（Ａ）に示す試料Ｗの外周面Ｓ１又は内周面Ｓ３を測定子９２で走査して得られたデータである場合、すなわち図９の（Ａ）に示す測定データのヘッダ情報の面方向情報フィールドに「外周面」または「内周面」を示す情報が含まれている場合に、算出可能であることを示す。
「○（２）」は、ステップＳ２１で選択した測定データが図２の（Ｂ）に示す試料Ｗの上面Ｓ５又は下面Ｓ６を測定子９２で走査して得られたデータである場合、すなわち測定データの面方向情報フィールドに「上面」または「下面」を示す情報が含まれている場合に、算出可能であることを示す。
【００４９】
「○（３）」は、ステップＳ２１で選択した測定データのうち少なくとも２つの測定データの面方向情報フィールドに「外周面」または「内周面」が含まれており、かつ少なくとも１つの測定データの面方向情報フィールドに「上面」または「下面」を示す情報が含まれている場合に、算出可能であることを示す。
「○（４）」は、ステップＳ２１で選択した全て測定データの面方向情報フィールドに「外周面」が含まれているか、又はステップＳ２１で選択した全て測定データの面方向情報フィールドに「内周面」が含まれている場合に、算出可能であることを示す。
「×」は、算出不能であることを示す。
【００５０】
図２４は、パラメータ算出可否テーブル１３のうち、直動測定動作による測定データから算出可能な形状パラメータに関する部分のみを示したパラメータ算出可否テーブル１３ｂを示す図である。
本実施例による形状解析プログラム２６は、直動測定動作による測定データから算出可能な形状パラメータとして、「Ｚ軸真直度」、「軸心真直度」、「直動円筒度」、「直動平行度」、「直動直角度」、「直動径偏差」及び「Ｒ軸真直度」を算出することができる。パラメータ算出可否テーブル１３ｂは、これらの形状パラメータのそれぞれについて、ステップＳ２１で選択した測定データから算出できるか否かのフラグを記録するための計算可否フィールドを有する。
以下、上記に列挙した直動測定動作による測定データから算出可能な各形状パラメータの意義と、それぞれのパラメータを計算するために必要な測定面数と測定面の種類を説明する。
【００５１】
形状パラメータ「Ｚ軸真直度」は、図３の（Ａ）に示すように、測定子９２をＺ方向に直動させながら測定子９２で試料Ｗの外周面Ｓ１又は内周面Ｓ３を走査して得られた凹凸データが、幾何学的に正しい直線からどれだけ離れているかを示す。したがって、Ｚ軸真直度の算出には、図３の（Ａ）に示す試料Ｗの外周面Ｓ１又は内周面Ｓ３を測定した、測定面数が１以上の第３の種類の測定データを必要とする。
【００５２】
図２５を参照して形状パラメータ「軸心真直度」の意義を説明する。軸心真直度は、円筒状試料Ｗの表面の対向する箇所において、Ｚ方向に沿う走査線Ｌ１及びＬ２に沿って凹凸を測定したとき、これらの測定データ間の中心線の変位の幅を示す。したがって軸心真直度の算出には、図３の（Ａ）に示す試料Ｗの外周面Ｓ１又は内周面Ｓ３を測定した、測定面数が２の第３の種類の測定データを必要とし、なおこれらの測定データを測定した走査線Ｌ１及びＬ２が、円筒状試料Ｗの表面の対向する箇所にあることを要する。
【００５３】
２つの走査線Ｌ１及びＬ２が、円筒状試料Ｗの表面の対向する箇所にあるか否かは、図９の（Ｂ）に示す直動測定動作の際の測定データのヘッダ情報に含まれる、回転テーブル９１の角度位置情報により決定することができる。
すなわち、走査線Ｌ１上で測定した測定データの角度位置情報フィールドには、走査線Ｌ１上を測定子９２で走査するために（すなわち図１に示す円柱形状測定装置の構成例では、触針９３を走査線Ｌ１上に位置付けるために）制御された回転テーブル９１の角度位置θ１が含まれ、走査線Ｌ２上で測定した測定データの角度位置情報フィールドには、走査線Ｌ２上を測定子９２で走査するために制御された回転テーブル９１の角度位置θ２が含まれる。したがって、それぞれの測定データに含まれる角度位置情報θ１及びθ２の間の相対角度を求めることによって、２つの走査線Ｌ１及びＬ２が対向する箇所にあるか否かを判定することができる。
【００５４】
例えば、２つの測定データの角度位置情報フィールドに記憶される角度位置がθ１及びθ２であるとすると、θ１’＝θ１＋９０°、θ２’＝θ２−９０°を計算する。そしてθ１’≧３６０°のとき、θ１’をθ１’＝θ１’−３６０°と補正し、θ１’＜３６０°のときθ１’をθ１’＝θ１’＋３６０°と補正する。
このとき、θ２＞θ１’かつθ２＜θ２’であれば２つの測定データを測定した箇所は対向していると判定する。
【００５５】
同じく図２５を参照して形状パラメータ「直動円筒度」の意義を説明する。直動円筒度は、円筒状試料Ｗの表面の対向する箇所において、Ｚ方向に沿う走査線Ｌ１及びＬ２に沿って凹凸を測定したとき、これらの測定データ間の中心軸の平均線に平行な直線で、２つの測定データが示す形状を挟んだときの径方向の最大変位量を示す。
したがって直動円筒度の測定には、図３の（Ａ）に示す円筒状試料Ｗの表面の外周面Ｓ１上又は内周面Ｓ３上の２箇所についての測定した測定データの対を最低１対必要とし、１対の測定データに含まれる２つの測定データを測定した箇所が、円筒状試料Ｗの表面の対向する箇所にあることを要する。２つの測定データを測定した箇所が円筒状試料Ｗの表面の対向する箇所にあるか否かは、軸心真直度の場合と同様に判定することができる。
【００５６】
形状パラメータ「直動平行度」の意義を説明する。直動平行度は、円筒状試料Ｗの表面をＺ方向に沿う走査線Ｌ１及びＬ２に沿って凹凸を測定したとき、一方の走査線Ｌ１を測定した面をデータム面とし、他方の走査線Ｌ２を測定した面を測定面として、２つの面の平行度を示す。
したがって直動平行度の算出には、図３の（Ａ）に示す試料Ｗの外周面Ｓ１又は内周面Ｓ３を測定した、測定面数が２の第３の種類の測定データを必要とする。
【００５７】
図２６を参照して形状パラメータ「直動直角度」の意義を説明する。直動直角度は、円筒状試料Ｗの表面の対向する箇所において、Ｚ方向に沿う走査線Ｌ１及びＬ２に沿って凹凸を測定したとき、基準平面ＳＲに直交する直線からこれらの測定データ間の中心軸の離れの幅を示す。
したがって直動直角度の算出には、図３の（Ａ）に示す試料Ｗの外周面Ｓ１又は内周面Ｓ３を測定した、測定面数が２の第３の種類の測定データを必要とし、なおこれらの測定データを測定した走査線Ｌ１及びＬ２が、円筒状試料Ｗの表面の対向する箇所にあることを要する。走査線Ｌ１及びＬ２が対向する箇所にあるか否かの判定は、軸心真直度の場合と同様に判定することができる。
【００５８】
直動径偏差は、試料Ｗの外周面Ｓ１の１箇所又は２箇所において、測定子９２をＺ方向に沿って走査したときの径方向の変位を示す。したがって直動径偏差の算出には、図３の（Ａ）に示す試料Ｗの外周面Ｓ１又は内周面Ｓ３を測定した、測定面数が１又は２の第３の種類の測定データを必要とする。
【００５９】
Ｒ軸真直度は、測定子９２を試料Ｗの径方向、すなわちＸＹ平面に平行に走査したときの凹凸データが、幾何学的に正しい直線からどれだけ離れているかを示す。したがって、Ｒ軸真直度の算出には、図３の（Ｂ）に示す試料Ｗの上面Ｓ５又は下面Ｓ６を測定した、測定面数が１以上の第４の種類の測定データを必要とする。
【００６０】
以上のとおり直動測定動作による測定データから算出可能な形状パラメータのそれぞれについて説明した、各形状パラメータを算出するのに必要な測定面数と測定面の種類に関する条件を図２７に示す。
図２７において、「○（１）」は、図１０に示すステップＳ２１で選択した測定データが図３の（Ａ）に示す試料Ｗの外周面Ｓ１又は内周面Ｓ３を測定子９２で走査して得られたデータである場合、すなわち図９の（Ｂ）に示す測定データのヘッダ情報の面方向情報フィールドに「外周面」または「内周面」を示す情報が含まれている場合に、算出可能であることを示す。
「○（２）」は、ステップＳ２１で選択した測定データが図３の（Ｂ）に示す試料Ｗの上面Ｓ５又は下面Ｓ６を測定子９２で走査して得られたデータである場合、すなわち測定データの面方向情報フィールドに「上面」または「下面」を示す情報が含まれている場合に、算出可能であることを示す。
【００６１】
「○（３）」は、ステップＳ２１で選択した２つの測定データの面方向情報フィールドに「外周面」または「内周面」を示す情報が含まれており、かつ、これらの測定データを測定した箇所が試料Ｗの表面の対向する箇所にある場合に、算出可能であることを示す。
「○（４）」は、ステップＳ２１で選択した測定データが、その面方向情報フィールドに「外周面」または「内周面」を示す情報が含まれており、かつ、試料Ｗの表面の互いに対向する２箇所について測定された１対の測定データの複数対からなる場合に、算出可能であることを示す。
「×」は、算出不能であることを示す。
【００６２】
ステップＳ２２において形状解析プログラム２６は、ステップＳ２１で選択した測定データの測定面数を判定する。
そして形状解析プログラム２６は、ヘッダ情報の測定動作情報フィールドを参照し、選択された測定データを測定したときの測定動作が、回転測定動作であるのか直動測定動作であるのかを判定する。
【００６３】
また形状解析プログラム２６は、ヘッダ情報の面方向情報フィールドを参照して、選択された測定データを測定した時に測定子９２により走査した面の方向を判定する。
さらに形状解析プログラム２６は、ステップＳ２１にて選択した測定データに、直動測定動作により試料の内外周をＺ方向に走査して測定した複数の測定データが含まれる場合には、これら選択された測定データに、試料Ｗの対向する箇所にて測定された２つの測定データからなる測定データの対が存在するかを判定する。
測定データの対をなす２つの測定データが対向条件を充足するか否か、すなわちこれら２つの測定データが試料Ｗの対向する箇所にて測定されたか否かの判定は、軸心直角度、直動円筒度及び直動直角度の算出可否の判定条件に関する上記の説明で述べたように、２つの測定データのヘッダ情報の角度位置情報フィールドにそれぞれ記憶された回転テーブル９１の回転位置間の相対角度に基づいて行う。
【００６４】
そして、形状解析プログラム２６は、これらの測定面数、測定動作の種類、面の方向及び対向条件の判定結果に応じて、それぞれの形状パラメータについて算出可否を判定する上記の判定基準にしたがって、各パラメータの算出可否を判定し、その判定結果をパラメータ算出可否テーブル１３に記憶する。
【００６５】
図２８の（Ａ）は、測定面数が２の測定データをステップＳ２１で選択した場合の、回転測定動作に関する形状パラメータに関するパラメータ算出可否テーブル１３ａの内容を示す図である。ここで、ステップＳ２１で選択した測定データの両方の測定動作情報フィールドには「回転」が含まれ、面方向情報フィールドには「外周面」が含まれていた場合の判定結果を示している。
【００６６】
図２９の（Ａ）は、測定面数が２の測定データをステップＳ２１で選択した場合の、直動測定動作に関する形状パラメータに関するパラメータ算出可否テーブル１３ｂの内容を示す図である。ここで、ステップＳ２１で選択した測定データの測定動作情報フィールドには「直動」が含まれ、両方の測定データの面方向情報フィールドには「外周面」が含まれ、かつこれらの測定データを測定した箇所が対向しない場合の判定結果を示している。
【００６７】
図１０に戻り、ステップＳ２３において形状解析プログラム２６は、パラメータ算出可否テーブル１３において、算出可能であると記憶された形状パラメータのみをディスプレイ２５に表示する。
作業者は表示された形状パラメータのみから、算出する形状パラメータを選択することができる。
このとき、例えば図２８の（Ｂ）及び図２９の（Ｂ）に示すように、作業者が、マウス２４を操作してツールバー３１の「回転系測定」ボタン又は「直動系測定」ボタンを押下し、算出する形状パラメータを選択するプルダウンメニューを表示するとき、それぞれのプルダウンメニュー３５及び３６に、パラメータ算出可否テーブル１３において、算出可能であると記憶された形状パラメータのみを表示することとしてよい。
図２８の（Ｂ）及び図２９の（Ｂ）に示されるプルダウンメニュー３５及び３６は、それぞれ図２８の（Ａ）及び図２９の（Ａ）に示したパラメータ算出可否テーブル１３ａ及び１３ｂに記憶された判定結果を反映したものである。
作業者は、プルダウンメニュー３５及び３６に表示された項目のみから、算出する形状パラメータを選択することができる。
【００６８】
図１０に戻り、ステップＳ２４において形状解析プログラム２６は、ステップＳ２１にて選択した測定データを解析して、ステップＳ２３にて選択した形状パラメータを計算する。
【産業上の利用可能性】
【００６９】
本発明は、測定子に対して試料を相対的に自転させることにより測定子で試料の表面を走査する円柱形状測定装置が生成する測定データを解析して、真円度等の試料の形状パラメータを算出する形状解析装置及び形状解析プログラムに関する。
【図面の簡単な説明】
【００７０】
【図１】円柱形状測定装置の構成図である。
【図２】（Ａ）及び（Ｂ）は、それぞれ円柱形状測定装置により測定される第１及び第２の種類の測定データの説明図である。
【図３】（Ａ）及び（Ｂ）は、それぞれ円柱形状測定装置により測定される第３及び第４の種類の測定データの説明図である。
【図４】真円度の説明図である。
【図５】振れ（面基準）の説明図である。
【図６】従来の形状解析プログラムによる解析作業のフローチャートである。
【図７】本発明の実施例による形状解析装置の全体構成図である。
【図８】コンピュータを用いて図７に示す形状解析装置を実現した場合のハードウェア構成図である。
【図９】（Ａ）は回転測定動作の際に円柱形状測定装置が生成する測定データの構成例を示す図であり、（Ｂ）は直動測定動作の際に円柱形状測定装置が生成する測定データの構成例を示す図である。
【図１０】本発明の実施例による形状解析プログラムによる形状パラメータの解析作業のフローチャートである。
【図１１】形状解析プログラムがディスプレイに表示するメイン画面を示す図である。
【図１２】（Ａ）はファイル操作用プルダウンメニューを示す図であり、（Ｂ）は入力ファイル指定画面を示す図である。
【図１３】回転測定動作による測定データから算出可能な形状パラメータに関する部分のみを示したパラメータ算出可否テーブルを示す図である。
【図１４】平面度の説明図である。
【図１５】平行度の説明図である。
【図１６】同心度の説明図である。
【図１７】同軸度の説明図である。
【図１８】振れの説明図である。
【図１９】振れ（軸方向）の説明図である。
【図２０】径偏差の説明図である。
【図２１】円筒度の説明図である。
【図２２】直角度（面基準）の説明図である。
【図２３】回転測定動作による各形状パラメータを算出するのに必要な測定面数と測定面の種類に関する条件表を示す図である。
【図２４】直動測定動作による測定データから算出可能な形状パラメータに関する部分のみを示したパラメータ算出可否テーブルを示す図である。
【図２５】軸心真直度の説明図である。
【図２６】直動直角度の説明図である。
【図２７】直動測定動作による各形状パラメータを算出するのに必要な測定面数と測定面の種類に関する条件表を示す図である。
【図２８】（Ａ）は測定面数が２の測定データを選択した場合におけるパラメータ算出可否テーブル１３ａの内容を示す図であり、（Ｂ）は（Ａ）に示すテーブルの内容に応じて表示されるプルダウンメニューを示す図である。
【図２９】（Ａ）は測定面数が２の測定データを選択した場合におけるパラメータ算出可否テーブル１３ｂの内容を示す図であり、（Ｂ）は（Ａ）に示すテーブルの内容に応じて表示されるプルダウンメニューを示す図である。
【符号の説明】
【００７１】
１形状解析装置
１１測定データ
１２データ選択入力部
１３パラメータ算出可否テーブル
１４形状パラメータリスト生成部
１５パラメータ選択入力部
１６形状パラメータリスト算出部
２６形状解析プログラム

【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の軸を回転軸として測定子に対して試料を相対的に自転させることにより前記測定子で前記試料の表面を走査する測定動作によって走査線上における前記表面の凹凸データを生成する円柱形状測定装置によって得られた凹凸データを解析して、前記試料の形状パラメータを算出する形状解析装置であって、
前記円柱形状測定装置が生成する前記凹凸データには、少なくとも第１及び第２の種類があり、
前記第１の種類の凹凸データは、測定面としての前記試料の任意の断面についてこの断面の外周の凹凸を示すデータであって、前記測定動作により前記試料の側面を前記測定子で走査することにより測定され、
前記第２の種類の凹凸データは、測定面としての前記試料の上面についてこの上面の凹凸を示すデータであって、前記測定動作により前記試料の上面を前記測定子で走査することによって測定され、
前記凹凸データは、そのデータを生成したときに前記測定子により走査された前記試料の表面の向きを示す面方向情報を含み、
前記形状解析装置は、
アクセス可能な前記凹凸データから、前記形状パラメータの算出に使用するデータをユーザに１つ以上選択させるデータ選択入力部と、
前記データ選択入力部にて選択した前記凹凸データを測定した前記測定面の数と前記凹凸データが各々含む面方向情報に応じて、予め定められた選択基準に従って、複数の種類の形状パラメータの中から算出すべき形状パラメータを選択して、形状パラメータのリストを生成する形状パラメータリスト生成部と、
前記形状パラメータリスト生成部により生成された前記リストの中から、算出すべき形状パラメータをユーザに選択させるパラメータ選択入力部と、
を備えることを特徴とする形状解析装置。
【請求項２】
前記測定動作を第１の種類の測定動作として、
前記円柱形状測定装置は、さらに、前記測定子と前記試料とを直線的に相対移動させることにより前記測定子で前記試料の表面を走査する第２の種類の測定動作によって走査線上における前記表面の凹凸データを生成し、
前記凹凸データには、さらに第３及び第４の種類があり、
前記第３の種類の凹凸データは、測定面としての前記試料の側面についてこの側面の凹凸を示すデータであって、前記第２の種類の測定動作により前記試料の側面を前記所定の回転軸に沿って前記測定子で走査することにより測定され、
前記第４の種類の凹凸データは、測定面としての前記試料の上面についてこの上面の凹凸を示すデータであって、前記第２の種類の測定動作により前記試料の上面を前記測定子で走査することにより測定され、
前記凹凸データは、そのデータを生成したときの測定動作が前記第１及び第２の種類の測定動作のいずれかであるかを示す測定動作情報をさらに含み、
前記形状パラメータリスト生成部は、前記データ選択入力部にて選択した前記凹凸データを測定した前記測定面の数と前記凹凸データが各々含む面方向情報及び測定動作情報に応じて、予め定められた選択基準に従って、複数の種類の形状パラメータの中から算出すべき形状パラメータを選択して、形状パラメータのリストを生成する、
ことを特徴とする請求項１に記載の形状解析装置。
【請求項３】
所定の軸を回転軸として測定子に対して試料を相対的に自転させることにより前記測定子で前記試料の表面を走査する測定動作によって走査線上における前記表面の凹凸データを生成する円柱形状測定装置によって得られた凹凸データにアクセス可能なコンピュータに、該凹凸データを解析して前記試料の形状パラメータを算出する処理を行わせる形状解析プログラムであって、
前記円柱形状測定装置が生成する前記凹凸データには、少なくとも第１及び第２の種類があり、
前記第１の種類の凹凸データは、測定面としての前記試料の任意の断面についてこの断面の外周の凹凸を示すデータであって、前記測定動作により前記試料の側面を前記測定子で走査することにより測定され、
前記第２の種類の凹凸データは、測定面としての前記試料の上面についてこの上面の凹凸を示すデータであって、前記測定動作により前記試料の上面を前記測定子で走査することによって測定され、
前記凹凸データは、そのデータを生成したときに前記測定子により走査された前記試料の表面の向きを示す面方向情報を含み、
前記形状解析プログラムは、
アクセス可能な前記凹凸データから、前記形状パラメータの算出に使用する１つ以上のデータに関してユーザが行った選択を受け付けるデータ選択処理と、
前記データ選択処理にて選択された前記凹凸データを測定した前記測定面の数と前記凹凸データが各々含む面方向情報に応じて、予め定められた選択基準に従って、複数の種類の形状パラメータの中から算出すべき形状パラメータを選択して、形状パラメータのリストを生成する形状パラメータリスト生成処理と、
前記形状パラメータリスト生成処理により生成された前記リストの中から、算出すべき形状パラメータに関してユーザが行った選択を受け付けるパラメータ選択処理と、
を前記コンピュータに行わせることを特徴とする形状解析プログラム。
【請求項４】
前記測定動作を第１の種類の測定動作として、
前記円柱形状測定装置は、さらに、前記測定子と前記試料とを直線的に相対移動させることにより前記測定子で前記試料の表面を走査する第２の種類の測定動作によって走査線上における前記表面の凹凸データを生成し、
前記凹凸データには、さらに第３及び第４の種類があり、
前記第３の種類の凹凸データは、測定面としての前記試料の側面についてこの側面の凹凸を示すデータであって、前記第２の種類の測定動作により前記試料の側面を前記所定の回転軸に沿って前記測定子で走査することにより測定され、
前記第４の種類の凹凸データは、測定面としての前記試料の上面についてこの上面の凹凸を示すデータであって、前記第２の種類の測定動作により前記試料の上面を前記測定子で走査することにより測定され、
前記凹凸データは、そのデータを生成したときの測定動作が前記第１及び第２の種類の測定動作のいずれかであるかを示す測定動作情報をさらに含み、
前記形状パラメータリスト生成処理において、前記データ選択処理にて選択された前記凹凸データを測定した前記測定面の数と前記凹凸データが各々含む面方向情報及び測定動作情報に応じて、予め定められた選択基準に従って、複数の種類の形状パラメータの中から算出すべき形状パラメータを選択して、形状パラメータのリストを生成する処理を、
コンピュータに行わせることを特徴とする請求項３に記載の形状解析プログラム。

【図１】