【課題】装置の高コスト化を抑えながら、被検面の形状を高精度に計測することができる技術を提供する。
【解決手段】被検物を保持する保持面を含む保持部と、被検面と被検面の形状を計測するための基準となる基準位置との間の距離を計測する距離計測部と、基準位置が被検面に沿うように距離計測部を駆動する駆動部と、駆動部によって駆動される距離計測部の基準位置を測定する位置測定部と、距離計測部によって計測された被検面と基準位置との間の距離と位置測定部によって測定された基準位置とに基づいて被検面の形状を算出する処理部と、を有し、位置測定部は、距離計測部に配置されて互いに異なる測定軸を有するレーザ干渉計と、レーザ干渉計のそれぞれからの光をそれぞれ反射する基準ミラーとを含み、レーザ干渉計の原点と基準ミラーとの間の距離を測定することで基準位置を測定し、基準ミラーの法線が保持面を含む面に交差するように配置される。 （もっと読む）

【課題】１回の走査で精度よく測定対象表面の３次元表面形状を算出することができる３次元表面形状算出装置を提供する。
【解決手段】３次元表面形状算出装置１は、センサ基台６と、先端に球形状を１方向に移動できる変位センサ２と、原点を定めた３次元空間で平面方程式算出点２２を囲む３点の接触点に変位センサ２を接触させてセンサ基台６を移動させる演算部８とを備え、演算部８は、センサ球２の移動距離である変位信号２００およびセンサ基台６の原点からの方向ならびに距離を用いて３点の球中心座標を求め、１点の球中心座標から他の２点の球中心座標へ向かう２つのベクトルの外積である法線ベクトルの単位ベクトルに球形状の半径を乗したベクトルを求め、このベクトルを球中心座標に加えて接触点の座標を求め、この接触点の座標が囲む平面方程式を算出する。 （もっと読む）

【課題】薄いガラスシートのような可撓性物体(１４０)に無重力下形状を推定するための方法及び装置(１００，２００)を提供する。
【解決手段】いくつかの実施形態において、ベッドオブネイル(ＢＯＮ)ゲージ(１００)を用いて推定無重力下形状が生成され、次いで第２のゲージ(２００)を用いてさらに高い空間分解能で形状が測定されて、ＢＯＮゲージのピン(１１０)の間の理論サグが第２のゲージで測定された形状から差し引かれる。別の実施形態において、物体(１４０)の両面で形状測定が実施され、推定無重力下形状の信頼度を評定するために用いられる。別の実施形態において、ベッドオブネイルゲージ(１００)はピン(１１０)の高さ調節に最小二乗法最小化手順を用いる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、工作機械上の被加工物を測定する方法及び装置を提供する。
【解決手段】工作機械において、プログラム（１２）は、被加工物Ｗの特徴を測定する走査プローブまたはアナログ・プローブＰからデータを受け取る。このデータは、走査移動中に、前提の機械位置データと組み合わされる。このことは、実際に測定された位置データを得るために、サーボ・フィードバック・ループ（２４）に割り込まなければならないことを防止する。前提の機械位置データは、走査移動を制御する部品プログラム（２０）から引き出される。また、いくつかの方法で前提の機械位置の値と実際の値との間の誤差を補償する。 （もっと読む）

【課題】測定子の位置を適切に制御することができ、測定子が非接触か否かを適切に判断することができる形状測定装置の提供。
【解決手段】三次元測定機１は、測定子を有するプローブ２１と、プローブ２１を移動させる移動機構２２と、ホストコンピュータ５とを備える。ホストコンピュータ５は、測定子の移動量を取得する移動量取得部５２と、測定子を非接触とした状態における基準位置からの測定子の移動量を偏差として取得する偏差取得部５４と、偏差取得部５４にて取得される偏差が第１の閾値より大きいか否かを判定する判定部５５と、判定部５５にて偏差が第１の閾値より大きいと判定されると、基準位置と、偏差とを合成した位置に基準位置を更新する更新部５６とを備える。 （もっと読む）

【課題】回転軸を用いた機上計測において、各種演算により算出された機上計測装置の取り付けられた回転軸の回転中心軸とプローブの先端との距離を基準球計測の結果を基に補正を行う機上計測装置のプローブ取り付け位置算出方法を提供する。
【解決手段】基準球を計測することにより、算出したプローブ取り付け位置（Ｘ₀，Ｚ₀）の精度を向上させる準備段階において、（Ｘ₀，Ｚ₀）のＸ，Ｚ値を各々―１ｎｍずつずらし、ずらした座標を基に基準球計測プログラムを作成して一定角θ₁，θ₂での座標を求め所定の条件内であるか否か判断し、条件を満たす場合には、（Ｘ₀，Ｚ₀）に総ずらし量を加えたものを真のプローブ取り付け位置とし、処理を終了し、条件を満たさない場合には、ずらす度に一定角θ₁，θ₂での座標から離れるか否か判断し、離れない場合には準備段階の最初へ移行し、離れる場合には異なる方向へずらす第２の準備段階へ移行する。 （もっと読む）

【課題】簡素な処理でプローブや移動機構と、被測定物とが衝突したか否かを迅速に判定することができる三次元測定機の提供。
【解決手段】三次元測定機１は、被測定物を測定するためのプローブ２１と、プローブ２１を移動させる移動機構２２と、モーションコントローラ３とを備える。モーションコントローラ３は、移動機構２２にてプローブ２１を移動させるための電流値を検出する電流値検出部３３と、プローブ２１にて被測定物を測定する測定モードと、被測定物を測定することなくプローブ２１を移動させる移動モードとを識別するモード識別部３４と、電流値検出部３３にて検出される電流値と、モード識別部３４による識別結果に応じて設定される閾値とに基づいて、移動機構２２にかかる負荷の状態を判定する負荷判定部３５とを備える。 （もっと読む）

可搬型の座標測定デバイスが、提供される。座標測定デバイスは、少なくとも１つのアームを含む。一端に磁気部材を含むブラケットが、アームに結合される。プローブが、アームの一端に回転可能なように結合され、プローブは、第１の側面に第１の鉄部材を含み、プローブは、第１の位置と第２の位置の間を動くことができ、鉄部材は、第２の位置にあるときに磁石に近接する。
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可搬型の関節アーム座標測定機が、基部と、反対側にある第１の端部および第２の端部を有する手動で位置付けることが可能な関節アーム部であって、複数の接続されたアームセグメントを含む、アーム部と、トランスデューサからの位置信号を受信する電子回路と、基部に結合された第１の傾斜計であって、基部の傾斜の角度に応じた第１の電気信号を生成するように構成された、第１の傾斜計と、第１の傾斜計の第１の読み取り値および第１の傾斜計の第２の読み取り値を記録するように構成された電気的システムであって、第１の読み取り値が、基部に加えられた第１の力および取り付け構造に加えられた第３の力のうちの少なくとも１つに応じたものであり、第２の読み取り値が、基部に加えられた第２の力および取り付け構造に加えられた第４の力のうちの少なくとも１つに応じたものである、電気的システムとを含む。
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可搬型の関節アーム座標測定機用取付けデバイスが、提供される。取付けデバイスは、開口が中を貫いている本体を含む。へりが、開口の片側に配置され、へりは、座標測定機の基部部分のフランジに係合するように大きさが決められる。開口の一部は、外部の取付け具に結合するように構成されたねじ山を含む。第１のアームが、本体に結合され、第１の位置と第２の位置の間を第１の方向に回転するように構成される。
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可搬型の関節アーム座標測定機の実装が、機能を実行する第１の要求を受信するステップを含む。可搬型のＡＡＣＭＭは、反対側にある第１の端部および第２の端部を有する手動で位置付けることが可能な関節アーム部であって、複数の接続されたアームセグメントを含み、各アームセグメントが位置信号を生成するための少なくとも１つの位置トランスデューサを含む、関節アーム部と、ＡＡＣＭＭの第１の端部に装着された測定デバイスと、トランスデューサからの位置信号を受信し、測定デバイスの位置に対応するデータを提供する電子回路とを含む。可搬型の関節アーム座標測定機の実装は、第１の要求が受信される送信元デバイスを特定するステップと、第１の要求に従って機能を実施するステップと、第１のポートおよび第２のポートのうちのどちらから第１の要求が受信されるかを特定することによって、送信先デバイスを第１の要求の送信元デバイスとして選択するステップと、機能を実施することにより得られた情報を送信先デバイスに送信するステップとをさらに含む。
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【課題】被測定物の重心位置を正確に把握することができる重心測定システムおよび重心測定方法を提供する。
【解決手段】被測定物を載置する載置台、プローブ１２およびこれらを三次元方向へ相対移動させる相対移動機構１３を有し、被測定物の形状を測定する三次元測定機１０と、載置台の重心位置を測定する重心測定装置２０と、三次元測定機の座標系と重心測定装置の座標系とを一致させるとともに、三次元測定機によって測定された被測定物の形状データに、重心測定装置で測定された重心位置を合成するデータ処理装置３０とを備える。 （もっと読む）

スケールバー加工品は、ベースと、構造部材と、構造部材に配置されて、中心を持つ球形物体を収容するように構成される少なくとも２つのネストと、それぞれが第１部位及び第２部位を含む少なくとも３つの取り付けアセンブリとを含むことができる。各取り付けアセンブリの第２部位は、ベースに連結される。各取り付けアセンブリの第１部位は、構造部材に連結される。各取り付けアセンブリの第１部位と第２部位は、互いに接している。各取り付けアセンブリは、回転中心を有する。３つの取り付けアセンブリの回転中心は、球形物体の中心と共通の平面を共有する。
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【課題】段差が形成されている被測定面の面形状を安定して高精度に測定し、測定時間を短縮すること。
【解決手段】ステップＳ１０１では、被測定面に対して第１プローブを走査させ、第１プローブの３次元位置データを含む測定データを取得する。ステップＳ１０２では、ステップＳ１０１で得られた測定データに基づき、被測定面の段差位置を示す段差位置データを演算により求める。ステップＳ１０３では、第１プローブよりも高分解能で測定可能な第２プローブの走査条件を、ステップＳ１０２で得られた段差位置データに基づき、被測定面の位置に対応して決定する。ステップＳ１０４では、被測定面に対して第２プローブをステップＳ１０３で決定した走査条件で走査させ、第２プローブの３次元位置データを含む測定データを取得する。ステップＳ１０５では、ステップＳ１０４で得られた測定データに基づき、被測定面の面形状を示す面形状データを演算により求める。 （もっと読む）

【課題】被測定物の三次元形状の測定精度をより一層向上させることができる三次元測定方法を提供する。
【解決手段】被測定物の表面に沿ってプローブを走査して、ＸＹ座標データを取得するとともに、光干渉計によりＸＹ座標データに対応するＡ相正弦波信号値とＢ相正弦波信号値とを取得し、それらの信号値の位相差と２乗和平方根とを算出し、位相差に基づいてＺ座標データを取得するとともに、２乗和平方根によりプローブのＺ軸方向に対する傾き角度を求め、当該傾き角度からプローブと被測定物との接点の位置ズレ量を算出し、ＸＹ座標データとＺ座標データと位置ズレ量とを合成して、Ｘ軸、Ｙ軸、及びＺ軸における各座標データを取得し、被測定物の三次元形状を測定する。 （もっと読む）

【課題】測定から解析を含めた一連の動作の自動化を可能とした輪郭形状測定機を提供する。
【解決手段】測定マクロの実行と解析マクロの実行の間に、過去の測定によって取得した形状データと、新しく測定した形状データとを比較してその偏差を算出し、解析マクロ実行時にこの偏差の修正を行うベストフィット処理をする手段を設け、新しく測定した形状データを解析する解析マクロの基準点を過去の測定に使用した基準点と一致させるようにした。 （もっと読む）

【課題】試料上で結露させた上で、露の形状及び分布を精度よく測定できるようにする。
【解決手段】測定装置１０は、試料台１６と、プローブ１８と、プローブ１８の先端部を振動させる励振部２０と、プローブ１８の先端部の振動に応じてプローブ１８の先端部と露又は試料Ｗとの接触又は近接を判定する判定部と、試料台１６に対するプローブ１８の相対的な位置を変えさせる変位機構２２と、試料台１６に対するプローブ１８の相対変位量を測定する相対変位量導出部と、試料表面を露点以下に冷却可能な冷却機構４８と、判定部による前記接触又は近接の有無及び相対変位量導出部によって導出された相対変位量に基づいて、冷却機構４８によって冷却された試料表面に発生した露の形状及び分布を測定する測定部と、が含まれている。 （もっと読む）

【課題】可動距離に応じて大型化することがなく、製造コストを低減させることができる変速機の提供。
【解決手段】変速機７は、３つのボールベアリング８１Ａ，８１Ｂ，８１Ｃと、入力軸７４と、出力用嵌合部材８３と、出力軸７２とを備える。各ボールベアリング８１Ａ，８１Ｂ，８１Ｃは、内輪と、外輪と、複数の転動体とを有している。入力軸７４は、内輪に挿入される挿入部を有し、ボールベアリング８１Ａの回転軸回りに回転することで内輪を回転させる。内輪が回転すると、各転動体は、内輪の回転に伴って転動する。出力用嵌合部材８３は、各転動体に嵌合される嵌合部８３１を備え、各転動体の転動に伴ってボールベアリング８１Ｃの回転軸回りに回転することで出力軸７２をボールベアリング８１Ｃの回転軸回りに回転させる。 （もっと読む）

【課題】１回のマスター較正でスケール内での絶対寸法測定が可能な３次元寸法・形状測定機能を備えた自動寸法測定装置を提供する。
【解決手段】フローティング機構１１が、案内テーブル７と、案内テーブル７上の案内レール１２に係合し、直動軸受からなる案内部２９を介して案内テーブル７に対してＸ軸方向に相対移動可能に配設されたフローティングテーブル３０を備えている。Ｘ軸検出ヘッド５はＸ軸の不動部位に固定され、Ｘ軸検出ヘッド５に対峙するＸ軸スケール１５がフローティングテーブル３０に配設されている。測定プローブ１３は、フローティングテーブル２９に配設され、コイルばねまたはエアシリンダからなる弾性支持部３１、３１によって挟持されているので、測定プローブ１３がワーク１６に接触した時に適度な測定荷重を付与した状態で計測することができ、高精度で安定した測定結果を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】製品の寸法や要求される精度が異なる合成樹脂製気泡シート製品の計測を簡易に行うことが可能な計測器を提供する。
【解決手段】少なくとも凹凸シート１０１と平坦シート１０２とが接合され、気体が密閉された多数の気泡部１０３が形成されている合成樹脂製気泡シート１００から構成された合成樹脂製気泡シート製品３０の寸法を計測するための計測器において、合成樹脂製気泡シート製品３０を計測する際に合成樹脂製気泡シート製品３０が設置される計測面を、計測面の板面と平行に所定の隙間が設けられた二重構造とする。計測面の隙間には、ゲージ部材２１、２２、２３が挿入可能となっており、ゲージ部材２１、２２、２３に、合成樹脂製気泡シート製品３０の計測対象部位の寸法に対応した計測用ライン１４、１５、１６を設ける。 （もっと読む）