【課題】 様々な表面形状に対して比較的に容易に適用可能な特徴形状抽出演算方法及び表面形状補正演算方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 この方法は、表面形状測定装置によって測定された被測定物の表面形状を表わす表面形状測定データ点群から、該被測定物の表面形状の所要の特徴形状を表わす特徴形状データ点群を抽出する特徴形状抽出演算方法であって、前記表面形状測定データ点群によって構成される仮想表面に接触可能な二次元もしくは三次元の形状を有する仮想接触子を想定し、前記仮想表面における複数の異なる位置において該仮想接触子を該仮想表面に接触させたことを仮想したときに、各位置において該仮想接触子が接触する前記仮想表面上の１以上の接触点における前記表面形状測定データ点群の中のデータ点を抽出して前記特徴形状データ点群とする特徴形状抽出演算方法である。 （もっと読む）

【課題】触針が測定点の直上に位置している状態において測定対象物の表面の測定点を実質的に真上から検知することを可能とする観察手段を備えた触針式測定装置を提供する。
【解決手段】触針式測定装置１００において、長手軸線方向に延在する細長い触針１１０であって、測定対象物１０の表面１２の所定の測定点１４に運ばれて同測定点１４に接触するようにされる尖端部１１２を有する触針１１０と、該触針１１０の周囲の少なくとも一部に配置され、表面１２の測定点１４及び該測定点１４の周囲からの光を受光する受光部１３０と、を備え、受光部１３０で受光した光に基づき、測定点１４に対する尖端部１１２の位置決めを行う。 （もっと読む）

【課題】細管などの狭い部分の奥深くにまでスタイラスを挿入することができるように小型化することが可能な測定部を備えた表面粗さ測定装置を提供する。
【解決手段】表面粗さ測定装置１０は、材料表面９０に接触する触針１２８を有するスタイラス１２０と、スタイラス１２０を材料表面９０に並行に対して走査するキャリッジ１１０と、スタイラス１２０に設けられ、触針１２８の上下動に応じて上下動する光反射部材１３０であって、該上下動の方向に湾曲した反射面を有する光反射部材１３０と、第１端面１４２が光反射部材１３０の反射面に面するように第１端部１４２がキャリッジ１１０に固定された細長い導光部材１４０であって、第２端面１４４から入射された光を第１端面１４２まで導き該第１端面１４２から出射して反射面に照射し、反射面で反射して第１端面１４２に入射する反射光を第２端面１４４まで導く導光部材１４０と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】１００μｍ以下の薄いガラス基板を、複雑な制御の必要なしに、所要のパターンにスクライブすることができるガラススクライブ方法及びガラススクライブ装置を提供する。
【解決手段】厚さ１００μｍ以下のガラス基板４０を所要の形状にスクライブするガラススクライブ方法であって、円錐形の尖端を有するガラススクライバ３０を、支持部２０に取り付けるステップと、ガラス基板４０をテーブル面２４に載置するステップと、ガラススクライバ３０を、テーブル面２４に載置された前ガラス基板４０に当接させて、該ガラス基板４０に対して所定の荷重を負荷するステップと、ガラス基板４０の表面上に所要の形状をスクライブするように、ガラススクライバ３０の尖端をガラス基板４０の表面に当接させながらテーブル面２４と支持部２０とを相対移動させるステップと、を含む方法によりガラス基板４０をスクライブする。 （もっと読む）

【課題】多関節型測定アームに測定誤差要因となるストレスがかからない測定姿勢を維持させる。
【解決手段】測定アームの各関節の角度に基づき、１）測定アームの第１リンクと第２リンクがなす角度が所定値を超えて１８０°に近づいた、２）手首関節からアーム支点への距離が所定値を超えて遠くなった、３）バランサーにより発生される力に基づいて定められる所定範囲を超えて第２リンクが曲げられた、のいずれかの条件が成立した場合、ユーザへの警告を行ない、専用プロセッサからの空間座標値の出力を中止する。 （もっと読む）

【課題】平面視で直線的な測定経路内に障害部分のある被測定物でも、障害部分に妨げられることなく測定を行えるようにする。
【解決手段】被測定物（Ｂ）の表面（Ｈ）に接触されるスタイラス（３０、３２）を有するスタイラスアーム（２２）を備え、該スタイラスアームを平面視で１つの軸線に沿って駆動することにより、スタイラスが被測定物の表面の凹凸に従って上下動することに基づいて当該被測定物の表面の粗さや形状を測定する輪郭形状測定装置に用いられるスタイラスアーム。このスタイラスアームは、細長いアーム部（１９）と、該アーム部の長さ方向で間隔をあけて設けられ、それぞれ、被測定物の表面に接触可能とされた接触端を有する第１及び第２のスタイラス（３０、３２）とを有する。 （もっと読む）

【課題】複数の測定面領域が互いにオーバーラップ領域を持たない場合などでも、複数の面測定データの相対位置関係を高精度に合わせることができる表面形状測定装置及び表面形状測定方法を提供する。
【解決手段】表面形状測定装置１０は、光学的表面形状測定機１１と触針式検出器２２などの高さ測定機を備え、光学式表面形状測定機１１で測定した複数箇所の測定面領域の各面測定データにおける高さ測定点の各測定値の相対的位置関係を、高さ測定機２２で測定した前記高さ測定点の各測定値の相対的位置関係に合わせるように前記各面測定データを移動補正する。 （もっと読む）

【課題】２つのピンを作動させるようにして、１つのピンの動作を遅くすることができるようにしたペースト塗布装置の提供。
【解決手段】この装置は、フレームと、第１乃至第４リンク２０、２２、２４、２６を有する四節平行リンク機構と、第３リンクに固定された第１アーム４０と、第４リンクに固定された第２アーム４２と、第３リンクに取りつけられた第１ピン１６と、第４リンクに取りつけられた第２ピン１８とを有する。第１ピン１６は、第１リンク２０が、第１の方向への所定角度の枢動により、第１及び第２枢軸線Ｘ１、Ｘ２を結ぶ線上にある第１位置Ａ１となり、反対の第２方向に同じ角度だけの枢動により、同線上にある第２位置Ａ２となるようにされ、第２ピン１８は第１方向の枢動で第２位置Ａ２、第２方向の枢動で第１位置Ａ１となるようにされている。 （もっと読む）

【課題】表面形状測定機の測定視野以上の測定領域の測定をするに際して、複数の測定結果の繋ぎ合せを簡易に行うことを可能とし、オーバーラップ領域を低減して全体の測定時間を削減し、さらに一定の累積誤差の発生を低減することが可能な表面形状測定方法を提供すること。
【解決手段】面測定データの繋ぎ合せ時に回転方向の補正を行わず、面測定データの平行移動のみを行い面測定データを合成して合成面測定データを取得するようにする。 （もっと読む）

【課題】駆動軸２２により回転駆動されるポンプ本体の荷役能力を低下させずに、オイルモータ１の表面温度を低く抑えられる構造を実現する。
【解決手段】入口ポート２４及び出口ポート３１を設けた端板３５のうちで、この出口ポート３１の周縁部と流出側油圧パイプ１７の上流側端面との間にオリフィス３７を設ける。このオリフィス３７よりも上流側部分で前記端板３５の内部に、一端を前記出口ポート３１の内周面に、他端をモータケース２７内の室２８に、それぞれ開口させた通孔３６を設ける。この通孔３６を通じてこの室２８内に低温の作動油を送り込んで、温度上昇したドレン油の温度を低下させる。 （もっと読む）