【課題】簡便かつ安価の構造で、外乱振動の影響を軽減できる形状測定機および倣いプローブ装置を提供する。
【解決手段】プローブ１０は、相対移動機構のＺ軸スライダに保持されたケース体１１と、このケース体の内部に往復移動可能に設けられたプローブ本体１２と、このプローブ本体の先端に設けられた力センサ２０と、プローブ本体を往復移動させる駆動アクチュエータ１４とを含む。ケース体とプローブ本体との間にはプローブ本体の往復移動方向へ振動可能な振動素子１７が設けられている。力センサからの力検出信号を基にプローブ本体に伝わる外乱振動を相殺する振動を振動素子１７から発生させる相殺振動発生手段５０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】高速かつ高精度に倣い測定できる表面形状測定装置を提供する。
【解決手段】倣いベクトル指令部２２０から発せられた倣いベクトル指令に基づいて駆動機構の動作状態を推定して推定動作状態量を算出する動作推定部３００と、動作推定部３００にて算出された推定動作状態量に応じて駆動センサの検出値を補正演算する補正演算部４００と、を備える。
動作推定部３００は、倣いベクトル指令が発せられてから倣いプローブの移動位置に反映されるまでの信号伝達特性であるノミナルモデルが設定されたノミナルモデル設定部３１１を有し、補正演算部４００は駆動中の駆動機構が変形することによって生じる測定誤差を補正する補正量を推定動作状態量に基づいて算出する補正量算出部４２０と、駆動センサおよび検出センサによる検出値と補正量算出部４２０にて算出された補正量とを合成して測定データとする測定データ合成部４３０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】音叉型の水晶振動子を備えた触覚センサを用い、水晶振動子が紙表面に接触する前後のインピーダンス差△Ｒから、紙の表面粗さを評価する評価方法および評価装置を提供する。
【解決手段】紙の表面粗さを測定するために、紙の支持テーブルと窓付きセットシートを用いて、紙の露出部を小さく制限する。支持テーブル５と窓付きセットシート６はネオプレンゴム製振動ダンピング材であり、窓付きセットシート６には小さい窓（穴）があり、そこに露出する紙４の中心部分に触覚センサ１を一定荷重下で接触させる。紙４の上を窓付きセットシート６で覆うことで、紙面方向への伝播によるエネルギー損失が小さく制御されるので、触覚センサ１のインピーダンス差△Ｒは、紙の表面粗さのみに依存する値となり、△Ｒから紙の表面粗さの評価ができる。 （もっと読む）

工作機械のような座標位置決め機械上の物体の寸法を測定するプローブは、ワークピース接触用針２０を有する。これは、針がワークピースに接触すると、出力を提供する歪ゲージ３４を含むセンサー機構３０を介して吊り下げられている。プロセッサー１６は、歪ゲージの出力を処理し、トリガー信号を発生させる。プロセッサーは、３次元Ｘ、Ｙ、Ｚでのワークピースへの接近の全ての可能性のある方向において等しい感度を保証するアルゴリズムまたは計算式あるいはルックアップテーブルにしたがってそのように行う。
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