【課題】本発明の目的は高精度な測定を行うことのできる測定装置を提供することにある。
【解決手段】測定時において、ワーク２０に対して位置及び姿勢が変化しないように保持された基準部材１２と、該ワーク２０表面を走査しながら、該ワーク２０表面の凹凸に応じて上下方向に変位するスタイラス１４と、該スタイラス１４の特定部位３６の変位を該基準部材１２との比較において測定する変位計１６と、該スタイラス１４を該ワーク２０表面に沿って走査させる走査手段１８と、を備え、該基準部材１２は該走査によっても該ワーク２０に対する位置及び姿勢が変化せず、該スタイラス１４の特定部位３６の上下方向への変位を該基準部材１２を基準にして測定し、該測定されたスタイラス１４の特定部位３６の変位に基づき該ワーク２０の微細な形状を把握することを特徴とする測定装置１０。 （もっと読む）

試験対象物の厚みを測定する為の方法および装置が提供されている。装置は、第１センサヘッド及び第２センサヘッドを持つ渦電流センサを含む。センサヘッドは、所定間隙を持つように位置決めされており、これは、この間隙を通る試験対象物の少なくとも一部による通路のためである。センサヘッドは、試験対象物が間隙内を移動されるとき、試験対象物で所定のサンプリング箇所で測定を行う。装置は、また、位置感知機構を含み、試験対象物上でサンプリングロケーションの位置を定める。装置は、また、渦電流センサと共に通信状態にあり、位置感知機構に対し通信状態にある評価回路を含み、サンプリング箇所で試験対象物の厚みを定める。
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