【課題】多層構造において層間ギャップを含む層を評価するための装置を提供する。
【解決手段】軸を横切って略整列した複数の縁部を呈する多層構造において、層間ギャップを含む層を評価するための装置１０は、少なくとも１つのパラメータを検知するように構成された検知ユニット１２、検知ユニットと結合されて、検知ユニットを軸に略沿って移動させるように構成された位置決めユニット１４、ならびに位置決めユニット１４および検知ユニット１２の少なくとも１つと結合された制御ユニット１６を含む。制御ユニット１６は、検知ユニット１２に電気信号を供給する。制御ユニットは１６、検知ユニットが複数の縁部を過ぎて移動するとき、少なくとも１つのパラメータの変化を監視する。制御ユニット１６は、少なくとも１つのパラメータの変化を使用して評価を行う。 （もっと読む）

【課題】送信巻線に流れる送信信号の強度を大きくしつつミスアライメントの影響を受けにくくすることにより、誘導型変位検出装置の高精度化を図る。
【解決手段】誘導型変位検出装置はロータリ型であり、送信巻線１０５はステータに配置されている。送信巻線１０５は、端子Ｔ１からリング状に延びて送信折返し部２５に至るリング部２７及び送信折返し部２５からリング部２７と異なる半径でリング状に延びて端子Ｔ２に至るリング部２９を含む。送信巻線１０５は、上下方向に互いに間隔が設けられた上層導体１５と下層導体１７を備える。 （もっと読む）