【課題】 小型化及び製造コストの低減を図った上で高分解能で高精度な可動レンズの位置検出を行う。
【解決手段】 所定の方向へ動作され連続的に増加又は減少する信号を出力して光軸方向へ移動される可動レンズの絶対位置を検出する第１の検出センサーと、所定の方向へ動作され周期的かつ連続的に変化する信号を出力して前記可動レンズの相対位置を検出する第２の検出センサーとを設け、前記第１の検出センサーと前記第２の検出センサーを異なら動作速度で動作するようにした。
これにより、第２の検出センサーの着磁ピッチを大きくしたり、第１の検出センサーとしてリニアリティー誤差やヒステリシスの小さいものを用いる必要がなく、小型化及び製造コストの低減を図った上で高分解能で高精度な可動レンズの位置検出を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ステージを支持する基体２と、この基体２に設けられ前記ステージを微動可能に支持する支持部と、ステージを微動動作させる手段と、ステージの微動量を検出する変位センサ手段とを具備した微動ステージにおいて、変位センサ手段の分解能を向上させることを目的とする。
【解決手段】本発明は、ステージを支持する基体と、前記基体に設けられ、前記ステージを微動自在に支持する支持体と、前記ステージを微動作動させる微動駆動手段と、前記ステージの微動を検出する変位センサ手段を有する微動ステージ装置において、前記変位センサ手段は、前記ステージの微動量を検出するプローブ部と、前記プローブ部が検出した検出信号を処理するアンプ部と、前記プローブ部の検出信号を前記アンプ部に送信するケーブルを有し、微動ステージ装置の内部に、前記プローブ部、前記アンプ部、および前記ケーブルを内置したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡易な構造、かつ小型の回転角度検出装置を得ることを目的とする。
【解決手段】回転軸１４と一体に回転する第１の永久磁石５、及び第１の永久磁石５の回転角度を検出し、第１の永久磁石５の回転角度に応じた第１の検出信号を出力する第１のホール素子６ａ及び第２のホール素子６ｂを有する微小角度検出部３Ａと、回転軸１４の軸まわりの回転力を回転軸１４の軸方向の推力に変換する変換機構（９ａ，１０ａ，１１）、回転軸１４の軸方向の推力によって回転軸の軸まわりの回転に連動して回転軸１４の軸方向に移動するヨーク１０Ａ、及びヨーク１０Ａの回転軸１４の軸方向の移動量に応じた第２の検出信号を出力する第３のホール素子１３を有する多回転角度範囲検出部８Ａと、第１の検出信号と第２の検出信号とから回転軸１４の軸まわりの回転角度の絶対値を算出する演算処理部と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成にて全舵角範囲に亘る舵角を精度良く求めることができる舵角検出手段を備える電動パワーステアリング装置を提供する。
【解決手段】ステアリングホイールの操作に応じて操舵補助用のモータ５を駆動し、該モータ５が発生する回転力を舵取機構に加えて操舵を補助する電動パワーステアリング装置において、ステアリング軸３の回転に伴ってウォームホイール６２が１回転するときに、ウォームホイール６２の側面に形成された渦巻き状の溝６２ｄに係合している歯車７０が１歯分回転するように構成してある。この結果、歯車７０の歯数を適切に選定することにより全舵角範囲に対応するステアリング軸３の複数回転を歯車７０の１回転内の回転に変換することができ、この歯車７０の回転位置を検出することにより、簡素な構成にてステアリング軸３の回転角度を複数回転に亘って精度良く求めて全舵角範囲に亘る舵角を精度良く求めることができる。 （もっと読む）

【課題】ステアリング軸の回転角度の積算による舵角の検出を、絶対舵角が不明である場合においても遅滞なく行わせることができ、また操舵感を損なうことのない舵角検出装置を提供する。
【解決手段】ステアリング軸３に周設された大歯車63と、この大歯車63と噛合する位置と、この大歯車63との噛合を解除する位置との２位置の間にて移動可能な小歯車 62a,62bとを備え、通常の走行時には、小歯車 62a,62bを噛合解除位置に移動させ、ＭＲセンサ67により検出される大歯車63の回転角度を積算して舵角を算出し、停車時には、小歯車 62a,62bを噛合位置に移動させておき、走行開始時には、小歯車 62a,62bの回転位置の組み合わせの変化から絶対舵角の始点を定め、この始点から大歯車63の回転角度の積算を開始して舵角を算出する構成とする。 （もっと読む）

【課題】走査型トンネル顕微鏡などにおいて、高分解能電子放出分布の測定も可能な電子放出分布測定装置測定方法を実現する。
【解決手段】 探針６と、探針６を試料７に対して移動させるピエゾ素子と、試料７にバイアス電圧を印加するバイアス電圧印加回路と、探針６と試料７との間を流れるトンネル電流を電圧変換するプリアンプ１０と、プリアンプ１０の出力側に順次設けられたＳＴＭ制御回路３と、を備えており、プリアンプ１０とＳＴＭ制御回路３との間にサンプルホールド回路２２を設け、ＳＴＭ像を計測（作成）するとともに、電子放出分布像を計測（作成）する。 （もっと読む）