【課題】非接触で2点間の高さの差を測定可能な光干渉式測定装置を提供する。
【解決手段】照射光を発する光源114、照射光を第1参照光と第1検査光に分割する第1半透鏡41、第1参照光と第1測定点91に照射されて第1測定光路長を進んだ第1検査光とを干渉させ、第1干渉縞を形成させる第1光学素子31、照射光を第2参照光と第2検査光に分割する第2半透鏡42、第2参照光と第2測定点92に照射されて第2測定光路長を進んだ第2検査光とを干渉させ、第2干渉縞を形成させる第2光学素子32、第1干渉縞と第2干渉縞の合成干渉縞を検出する干渉縞検出素子153、合成干渉縞から、第1測定光路長と第2測定光路長との光路差に応じて変動する干渉縞成分を抽出する抽出モジュール310、及び干渉縞成分から、第1測定点91と第2測定点92の高さの差を算出する算出モジュール330を備える。 （もっと読む）

【課題】非線形誤差及び回折で誘発される誤差を最小化し、拡張性に優れた変位測定干渉計を提供する。
【解決手段】２波長レーザ源１０から出射されるレーザ光は４分の１波長板２０、アイソレータ３５を経て空間的に分離された基準ビームｆ₁、測定ビームｆ₂とされ、光ファイバを通して干渉計４５に導かれる。振幅分割無偏光界面が形成される第１、第２の入力長斜方形サブアセンブリ１９０、２００を介して基準ビームｆ₁、測定ビームｆ₂は偏光ビームスプリッタ内に導かれる。キューブコーナー１１０で再帰反射されて偏光ビームスプリッタに再入射した測定ビームｆ₂と基準ビームｆ₁とが再結合されて位相検出器１３０、１４０に導かれる。基準ビームｆ₁、測定ビームｆ₂は、干渉計４５内において同じ長さの経路を通るように構成されており、温度変化に伴う偏光ビームスプリッタの熱膨張の影響を等しく受けるので、その影響を相殺できる。 （もっと読む）

【課題】干渉計において、測定ビームと基準ビームとの間に生じるビームずれを最小化する。
【解決手段】面３９と、内部に配置された偏光ビームスプリッタ界面４０とを有する偏光ビームスプリッタサブアセンブリ（ＰＢＳ）３５の面３９上に複数の独立したλ／４板６５、７０が取り付けられる。これらのλ／４板６５、７０は、面３９に取り付けられる前に、それぞれの反射面に対する法線の方向が測定され、それらの角度のずれ（角度差）が所定の公差内となる組み合わせのものが選択されて干渉計アセンブリへ組み込まれる。λ／４板６５、７０の各反射面に対する法線がほぼ平行となっていることにより、λ／４板７０で反射される際に生じる偏角β１は、λ／４板６５で反射される際に生じるβ２によって相殺され、ＰＢＳ３５に入射するビームとＰＢＳ３５から出射するビームとは平行となり、干渉計の精度が高められる。 （もっと読む）