【課題】 低倍率視野内のワークを高倍率視野内へ自動搬送してワークの寸法を高い精度で測定することができる寸法測定装置を提供する。
【解決手段】 ＸＹ方向に移動可能な可動ステージ１２と、特徴量情報及び測定箇所情報を保持する測定設定データ記憶手段と、ワークＷを低倍率で撮影し、低倍率画像を生成する低倍率撮像手段と、特徴量情報に基づいて、低倍率画像におけるワークＷの位置及び姿勢を特定するワーク検出手段と、特定された位置及び姿勢に基づいて、ワークＷの測定対象箇所が高倍率視野内に収まるように、可動ステージ１２を制御するステージ制御手段と、高倍率視野内に移動した測定対象箇所を高倍率で撮影し、高倍率画像を生成する高倍率撮像手段と、測定箇所情報に基づいて、高倍率画像から測定対象箇所のエッジを抽出するエッジ抽出手段と、抽出されたエッジに基づいて、測定対象箇所の寸法値を求める寸法値算出手段により構成される。 （もっと読む）

【課題】 ワークの寸法を高い精度で測定することができるとともに、被写界深度を越える段差を有するワークであっても、測定対象とする箇所を容易に設定することができる寸法測定装置を提供する。
【解決手段】 可動ステージ１２上のワークＷを撮影する撮像手段と、可動ステージ１２のＺ方向の位置が異なる複数のワーク画像を深度合成し、深度合成画像を生成する深度合成手段と、マスターピースを撮影して得られる深度合成画像をマスター画像Ｍ１として画面表示するマスター画像表示手段と、マスター画像Ｍ１に対し測定対象箇所及び測定方法を指定し、測定箇所情報を生成する測定箇所情報生成手段と、測定箇所情報に基づいて、ワークＷを撮影して得られた深度合成画像から測定対象箇所のエッジを抽出するエッジ抽出手段と、抽出されたエッジに基づいて、測定対象箇所の寸法値を求める寸法値算出手段により構成される。 （もっと読む）

【課題】 複数のワークについて、輪郭の不一致度合いを容易に識別することができる画像測定装置を提供する。
【解決手段】 ワーク画像Ａ２からエッジを抽出するエッジ抽出手段と、ワーク画像Ａ２及び予め保持されたマスター画像Ａ１を比較する画像比較手段と、比較結果に基づいて、ワーク画像Ａ２のエッジ位置とこのエッジ位置に対応するマスター画像Ａ１上の位置との変位量を示す誤差を算出する誤差算出手段と、複数のワーク画像Ａ２について算出された誤差の統計情報をエッジ位置ごとに算出する統計情報算出手段と、統計情報を、その値に応じた表示態様でワーク画像Ａ２又はマスター画像Ａ１から抽出されたエッジ位置に沿って表示する統計情報表示手段により構成される。 （もっと読む）

【課題】より簡単に画像測定機の校正を行うことができるようにする。
【解決手段】標準尺５１は、被検物を撮像して得られた観察画像に基づいて被検物の部位間の距離を測定する画像測定機の校正に用いられる校正器である。標準尺５１には、原点からの長さを示す目盛１０１と、目盛１０１の真値を得るための器差が内包されているコード１０２が設けられている。画像測定機の校正時には、画像測定機によりコード１０２の読み込みとデコードがされ、これにより得られた器差から目盛１０１の真値が算出される。そして、画像測定機により各目盛１０１を対象とした距離測定がされ、その測定結果と、コード１０２から得られた真値とから、画像測定機の測定誤差が求められる。目盛１０１の真値を得るためのコード１０２を標準尺５１に設けることで、より簡単に校正を行うことができるようになる。本発明は、観察システムに適用することができる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、測定顕微鏡および測定顕微鏡の接眼レンズ部に関し、表示部材を回転することなくパターンの位置を変更することを目的とする。
【解決手段】 被検査物に対向して配置される対物レンズと、前記対物レンズで拡大された像を再拡大する接眼レンズと、前記対物レンズと前記接眼レンズとの間の光路における前記被検査物の中間像面に配置され電気信号に応じた色彩と形状のパターンを表示する表示部材と、前記表示部材に表示される前記パターンを変更表示する操作部と、を有していることを特徴とする。 （もっと読む）

本発明は、対象物（１１）を技術的機器、特に、観察、計測、または処理システム等に対して相対的に位置決めする位置決めシステム（１０）に関し、位置決めされる対象物を受けるオブジェクトキャリア装置（１３）、および上記オブジェクトキャリア装置を位置決めする位置決め装置（１２）、を含み、上記位置決め装置は、オブジェクトキャリア装置を駆動する駆動機構を有し、上記駆動機構は、オブジェクトキャリア装置の２軸方向の位置決めが可能になるように配置された２つのリニアモータ（２１，２２）を有し、上記位置決め装置は、計測機構（２３）を有し、上記駆動機構と計測機構とが、位置決め装置の参照基部（２６）とオブジェクトキャリア装置との間に介在するように配置されている。
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【課題】観察面の高さ（光軸方向位置）によらず高効率かつ略均一な照明領域を得ることができる照明光学装置を提供する。
【解決手段】照明光学装置１０は、光源１１と、正の屈折力を有する光学系１２と、屈折力を有しないアフォーカル光学系１３とを有している。光学系１２とアフォーカル光学系１３とは、合わさってコンデンサレンズ(１２,１３)として機能する。光源１１からの光束は、コンデンサレンズ(１２,１３)を介して、光照射面１０Ａに導かれる。コンデンサレンズ(１２,１３)は、光源１１と光照射面１０Ａとの間に配置され、かつ、光照射面１０Ａをテレセントリック照明するように配置されている。つまり、コンデンサレンズ(１２,１３)の前側焦点面に光源１１を配置し、後側焦点面を光照射面１０Ａとしている。アフォーカル光学系１３は、照明領域（光照射面１０Ａ）を光軸方向に調整する際の可動部（調整群）である。 （もっと読む）

【課題】 光軸方向に垂直な面内のみならず光軸方向にも略均一な照明領域を得る。
【解決手段】 光源１１側から照明領域１６に向かって順に、複数のレンズエレメント３Ｂからなるフライアイインテグレータ１３とコンデンサレンズ１５とを配置する。コンデンサレンズの射出端面５Ａから照明領域までの最小の距離Ｌ₀、該照明領域の光軸方向のストロークＳ、射出端面５Ａからフライアイインテグレータの入射端面３Ａに共役な面１７までの距離Ｌは、「Ｌ₀≦Ｌ≦Ｌ₀＋Ｓ」を満足する。距離Ｌ₀、ストロークＳ、距離Ｌ、照明光の開口数ＮＡ_C、照野φ₁、フライアイインテグレータの射出端面３Ｃに内接する円の直径φ₂から成る関数により、レンズエレメントの口径比Ｆ_#は、「Ｌ≧Ｌ₀＋Ｓ／２のとき」と「Ｌ＜Ｌ₀＋Ｓ／２のとき」にわけた各々の条件式を満足する。 （もっと読む）