一態様において、本発明は方法に特徴があり、その方法は、干渉分光法システムにおける干渉計を用いて、第１ビーム経路と第２ビーム経路との間の光路差に関係づけられる位相を含む出力ビームを生成することであって、第１ビームは第１の箇所における測定物体に接触し、第１ビームまたは第２ビームは第２の箇所における測定物体に接触し、第１の箇所および第２の箇所は異なる、出力ビームを生成すること、第１の箇所における測定物体の不完全性に起因し、かつ第２の箇所における測定物体の不完全性に起因するずれであって、第１ビーム経路または第２ビーム経路の公称ビーム経路からのずれによって生じる光路差への影響に対処する事前校正済み情報を提供すること、出力ビームから得られる情報および事前校正済み情報に基づいて、少なくとも１つの自由度について測定物体の位置を決定すること、を含む。
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【解決手段】 対象物のデジタル画像は、隠され、遮られ、又は視認できない対象物の部分の表示を含んでいる。画像は、歯群の多次元の視覚的表示である。歯群とその表面、輪郭及び形状の特性が判定及び／又は分析される。光は、歯群に向けて送られ、そこから反射される。反射光は基準光と組み合わせられ、歯肉下組織のような隠された領域を含む歯群の特性が判定される。 （もっと読む）

【課題】 照射角度を、照射されたパターン光の光量の情報から求める光学的形状測定方法において、光量のＳ／Ｎの劣化を防止して、形状測定精度が劣化するという問題を解消した光学的形状測定装置を提供すること。
【解決手段】 互いに重なりのない複数のスリット状の部分領域に分割された測定領域１５の各々を照明する照明手段４と、各測定領域毎の反射光を検知する検知手段１０と、この検知手段１０で検知した各反射光の光量１３から、前記照明手段４と検知手段１０の視差を利用して前記各測定領域１５−１〜１５−６の形状データを推定する形状推定手段１１と、推定された測定領域の形状データ１６における部分領域の曖昧さを除去して各部分領域の曖昧さのない形状データ１４を求める形状補正手段１２とからなる光学的形状測定装置。 （もっと読む）