【課題】計測面の異常に起因するヘッド（例えばエンコーダ、Ｚセンサなど）の計測誤差、さらに動作異常の発生を効果的に抑制する。
【解決手段】露光装置の稼働中、エンコーダヘッド６４〜６８及びＺヘッド７４，７６を用いてウエハステージＷＳＴの位置を計測し、その結果に従ってウエハステージＷＳＴを駆動制御する。これと並行して、各ヘッドの計測ビームのスケール（３９Ｙ₁，３９Ｙ₂等）からの戻り光の強度を計測し、該強度の対応する基準強度からのずれを、スケール上の計測ビームの照射点の位置に対して収集する。そして、収集された計測ビームの強度データを用いてスケール上面の状態を診断する。 （もっと読む）

【課題】三次元形状の被検体に塵埃が付着しているか否かを簡便にかつ短時間で判断できる付着物検知装置を提供する。
【解決手段】レーザー光源１１と、レーザー光を被検体１の検査面に対して走査する走査手段１２と、被検体１の検査面を撮像する撮像手段１３と、撮像手段１３による撮像結果をデータ処理するデータ処理部１４と、を備える。データ処理部１４は、撮像手段１３から出力された撮像データに基いて明暗を区分けする二値化処理部１４Ａと、この二値化処理部１４Ａによる区分けを被検体１のイメージデータと共に表示する表示処理部１４Ｂと、を備える。 （もっと読む）

【課題】 積層した複数の透過面のそれぞれにおける異物または欠陥を検査する低コスト、省スペースの検査装置を提供する。
【解決手段】 積層された複数の透過部材を含む被検物における複数の透過面の異物または欠陥に関して検査するために、前記複数の透過面を撮像する撮像装置１１と、前記撮像装置にて撮像した画像を処理して前記異物または欠陥を検出する画像処理部１６とを設ける。前記撮像装置には、積極的に焦点位置を変化させる機構１４、１７か、または１つの光軸に対して複数焦点をもつ光学系をもたせる。前記画像処理部は積層した複数の透過面に付着した異物、大きさ、位置や付着した面を判別する機能を有する。それらの情報を表示する表示部１９および各情報から付着した異物を除去する異物除去装置を設ける。 （もっと読む）

【課題】パレットの平板の被検査部の外観態様によらず、その破損の有無を検知することができるようにする。
【解決手段】パレット検査装置２００は、検査対象であるパレット１０を支持するパレット支持部２２１，２２２と、パレット支持部２２１，２２２に支持されたパレット１０の平板１１の被検査部に対し、その幅方向両側の斜め方向から検査光を照射するように設けられた一対の光源２２８と、一対の光源２２８から検査光が照射された平板１１の被検査部の画像を取得する画像取得部２２９と、を備える。一対の光源２２８は、画像取得部２２９で外観態様が消去された平板１１の被検査部の画像が取得される検査光を出射するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】、オイルミストや塵などの付着から装置を保護して測定精度の劣化を防止し、加工機械のそばでも測定が行える計測装置を提供すること。
【解決手段】被検物Ｍの形状を測定する計測装置であって、前記被検物Ｍの形状情報を採取する検出手段（形状センサ２０、投影ユニット２１、撮像ユニット２２）と、前記計測部の周囲に気体流を形成する気体流形成手段（エアーポンプ３０、エアーホース３１、エアーダクト２１ｄ、２２ｃ）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】オイルミストや塵などの付着から位置較正部材を保護して測定精度を得ることができ、加工機械のそばでも測定が行える計測装置を提供すること。
【解決手段】被検物Ｍの形状を測定する計測装置であって、前記被検物の形状情報を採取する検出部（形状センサ２０）と、前記検出部の計測時における基準位置を示す位置較正部材（基準球３０）と、前記位置較正部材をその周囲の雰囲気から隔てるための保護手段（格納庫３１、エアーポンプ４０）とを備える。 （もっと読む）

【課題】 光学素子を取り外すことなく加工面の計測と加工が可能な加工装置および加工装置を用いた製造方法を提供する。
【解決手段】 ホルダー１２に光学素子２０を保持した状態で、部分修正用スモールツール１３による光学素子２０の加工が可能な加工装置１に、シャック−ハルトマンの原理による測定光学系２と照明光学系３を設けて、このホルダー１２に光学素子２０を保持した状態で加工と形状精度（波面収差）の測定を可能とする。 （もっと読む）

【課題】 高速走行する光ファイバなどの線状体の外観検出を誤動作なく高精度に行う。
【解決手段】 走行する光ファイバＦの外観を光学的に検出する検出器を収容した検出室１４の入口１６ａに隣接して光ファイバＦが挿通可能な空間部を有する前室１３を配置する。前室１３の長手方向の長さＬ（ｍ）を、光ファイバＦの線速Ｖ（ｍ／ｍｉｎ）との間で、Ｌ≧（３.０×１０^−５）Ｖの関係を満たす長さとする。検出室１４及び前室１３にクリーンエアーを供給して陽圧とする。 （もっと読む）