【課題】一つのワークに対する測定時間を短縮できるとともに、設置スペースと装置コストとを減らすことができる測定装置を提供する。
【解決手段】台座部２１、および台座部２１より突出しワークＷを所定の姿勢で支持するピン２１ｂ・２１ｂ・・・が形成される治具２０と、治具２０が載置され、ワークＷの重量を測定可能な一対の重量計１０・１０と、ピン２１ｂ・２１ｂ・・・でワークＷを支持したときに、小端孔Ｗ２１および大端孔Ｗ３１との間にクリアランスＣが形成されるとともに、治具２０に一体的に形成される測定ヘッド４０・４０を備え、クリアランスＣを測定することにより、小端孔Ｗ２１および大端孔Ｗ３１の内径を測定可能な一対の径測定機構３０・３０と、を具備し、ピン２１ｂ・２１ｂ・・・がワークＷを支持した後で、一対の重量計１０・１０による測定と、一対の径測定機構３０・３０による測定と、を同時に行う。 （もっと読む）

物体（１）のベース領域（５）からテーパ領域（１．１）の所定の直径（Ａ）を有する断面までの距離を測定するための方法であって、テーパ領域が仰角または俯角を形成するとともに円形断面形状を有する方法において、直径（Ａ）を有する測定体（３）がベース領域（５）上に配置される。この配置は、物体（１）の直径（Ａ）を有する断面領域と測定体（３）との間に隙間（６，Ｘ）の形態を成す距離が形成されるように行なわれる。隙間（６，Ｘ）を通じて流体媒質が押し進められ、流体媒質の圧力及び／又は流量が測定される。距離値は、測定された圧力及び／又は流量に基づいて評価ユニット（９）で決定される。
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【課題】 浮上用構造体またはこれを備えた可動体が案内支持体と接触しないように確実に制御することができ、可動体と案内支持体の間隔を高い精度で検知し、この間隔を確実に維持できるようにすること。
【解決手段】 浮上用パッド３を含むスライド部材と、浮上用パッド３へ気体を供給する気体供給手段（コンプレッサ１０５、第１の調圧弁１０４および第２の調圧弁１０２を含む）と、気体排出口６からの排気流量を測定する流量測定手段（体積流量計１０１、アンプ１０６、Ａ／Ｄ変換器１０７およびコンピュータ１０８を含む）と、この流量測定手段で測定した排気流量に基づいて気体噴出口６から後記する案内支持体への気体噴出量を制御できるように構成した制御手段（コンピュータ１０８およびＤ／Ａ変換器１０９を含む）とを備えてなるステージ装置１００とする。 （もっと読む）

【課題】ワークの複数の被検査孔部に対する内径同時検査を単一の測定ヘッドで同時実施できて能率向上を図る。
【解決手段】測定ヘッドＳには、複数の被検査孔部ｈ１〜ｈ９に対応してヘッド外周面に両端が開口するように、ヘッドＳを軸方向に間隔をおいて横切る複数の横通路ｙ１〜ｙ９と、それら横通路に内端が開口し且つ外端がヘッドＳの端面まで軸線方向に沿って直線状に延びる複数の縦通路ｔ１〜ｔ９とが形成され、複数の縦通路ｔ１〜ｔ９は、ヘッドＳの軸線と直交する投影面で見て、周方向に互いに間隔をおいて環状に配列され、複数の横通路ｙ１〜ｙ９は、前記投影面で見て、孔Ｗｈの中心と複数の縦通路ｔ１〜ｔ９とを各々結ぶ相異なる複数の直径線に沿って直線状に延び、更に測定ヘッドＳには、縦通路ｔ１〜ｔ９の外端部を外気から遮断して複数の気体導管Ｌ１〜Ｌ９に個別に連通させる圧縮気体導入手段ＳＡが設けられる。 （もっと読む）

【課題】 実測作業を簡略化することで、製造期間の短縮化を図るとともに、メンテナンス作業や取り付け作業を簡略化することができる位置確認装置を提供する。
【解決手段】 検出圧通路１３に設ける検出オリフィス１６と、この検出オリフィス前後の差圧を検出するとともに、この差圧に基づいて変化する出力値ΔＰを出力する差圧検出手段１７と、この差圧検出手段が出力する出力値ΔＰを基にして、テーブル１０と被検出体Ｗとの間の隙間量ｈを演算する演算処理部１８とを備え、この演算処理部は、隙間量０のとき差圧０となる０点を基点にした実測値に基づく実測値特性線に対して近似するとともに、上記０点以外の２点の実測値を特定することによって、実測値特性線に近似する近似特性線を得られる近似式を特定し、かつ、この近似式に基づいて上記差圧検出手段が出力する出力値ΔＰから隙間量ｈを特定する。 （もっと読む）