【課題】
従来この種の装置としては不動部として気中に張力をかけた基準線を懸架することで構成しているが、基準線は自重による弛みと風圧による揺動の他、温度変化による伸縮変化が起こり本来不動点であるべき基準線の位置変化が発生して計測精度が著しく低下するという問題がある。
【解決手段】
変位計測部位を中間に位置する不動点間に設置された液路と、この液路内に貯留された液体と、この液体に浸かって且つ前期液路に沿って非接触収納され両端部をそれぞれ前記不動点に支持された浮梁構造体と、前記変位計測部位に設けられ前記浮梁構造体の中間部に対応位置し前記変位計測部位と浮梁構造体との間の変位を計測する非接触変位センサとから構成する。 （もっと読む）