Fターム[2F067FF17]の内容
波動性又は粒子性放射線を用いた測長装置 (9,092) | 補正、補償、校正、調整 (161) | 調整 (32) | 感度 (1)
Fターム[2F067FF17]に分類される特許
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X線検査装置
【課題】 ワークを検査しながらのゼロ点補正を可能にし、温度ドリフト等による精度のばらつきを低減させることのできるX線検査装置を提供する。
【解決手段】 X線画像に基づいてワークの体積を測定するX線検査装置であって、その処理ユニット6が、各透過領域のX線画像濃度データから透過領域の等価厚画像の濃度データへの変換処理を施すデータ変換処理部62と、等価厚画像の濃度データに基づいて複数の透過領域におけるワークの体積を測定する体積測定部63と、X線透過量相当のデータを処理して、ワークにX線が照射されるときの背景の等価厚をゼロとするようX線画像濃度データをゼロ点補正するゼロ点補正部61とを含み、ゼロ点補正部61が、ワークの体積を測定する周期に応じてゼロ点補正を実行する。
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