【課題】作業時間の短縮が容易であり、かつ作業性に優れた品質評価方法および品質評価装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る品質評価方法は、鉄鋼材料からなる対象物１０に打撃を付与する打撃付与工程１００と、該打撃付与工程において打撃を付与した対象物が発する超音波を検出する打撃音検出工程２００と、該打撃音検出工程において検出した超音波の所定の周波数帯におけるピーク周波数に基づいて該対象物の焼入れ深さを算出する焼入れ深さ算出工程３１０と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】面外変位音源に対する主成分であるＡ_０モードのみを用いた音源位置標定方法を提供する。
【解決手段】面外変位音源によって板に生ずる板波のうちゼロ次反対称モード（Ａ_０モード）の群速度の周波数依存性を求め、該周波数成分の２点以上のセンサへの到達時間を求め、該群速度と該到達時間を用いる音源位置標定方法。また、この周波数成分の２点以上のセンサへの到達時間を、ゼロ次反対称モード（Ａ_０モード）の波形をウェーブレット変換することにより求める音源位置標定方法。 （もっと読む）

【課題】リソグラフィ投影装置で基板の高さを測定するために使うレベルセンサで、単段浸漬法リソグラフィ装置にも使え、プロセス依存性がなく、反応速度の速い、従来とは異なる種類のレベルセンサを提供すること。
【解決手段】このレベルセンサは、送信器１０および受信器１１を含み、この送信器は、基板Ｗと投影システムＰＳとの間に基板表面の所定の位置へ向けて圧力波１００を放出し、この圧力波の少なくとも一部を基板Ｗが反射するように構成してあり、受信器は、この反射波の少なくとも一部を受信するように構成してある。このレベルセンサは、この放出し且つ受信した圧力波に基づいて、基板Ｗの表面の高さを決めるように構成してある。このレベルセンサは、圧力波を使うので、浸漬法にも使え、迅速で、プロセス依存性が少ない。 （もっと読む）