【課題】１つのＳＡＷデバイスによって、歪みと温度の両方を測定できるＳＡＷセンサを提供する。
【解決手段】ＳＡＷデバイス１を測定物２０の一面２０１上に配置し、ＳＡＷデバイス１の基板下面１０２のうち伝搬路１３の真下に位置する領域１０２ａを測定物２０に固定し、基板下面１０２のうち駆動電極１１および反射器１２の真下に位置する領域１０２ｂ、１０２ｃを測定物２０に固定しない構造とする。この構造では、測定物に歪みが生じると、基板上面の伝搬路１３のみに歪みが生じることとなり、反射器１２で反射した弾性表面波に位相変化が生じる。このときの位相変化は温度変化の影響をほとんど受けないので、この位相変化から測定物の歪みを測定できる。また、この構造では、ＳＡＷデバイス１の共振周波数は、温度変化によって変化し、測定物の歪みの影響を受けないので、共振周波数変化から温度を測定できる。 （もっと読む）

【課題】弾性表面波の伝播経路の特性に影響されない小型な変位センサを提供する。
【解決手段】圧電材料基板１０を挟んで、弾性表面波伝播面α，βを対向させ、弾性表面波の伝播方向の互いの距離が可変となるように圧電材料基板１０の表面に配置した２つの弾性表面波素子弾性表面波素子２０，３０のうち一方の弾性表面波素子２０の櫛歯電極２２にアンテナ４０を介して印加した高周波信号によって励起される弾性表面波が前記弾性表面波伝播面αから圧電材料基板１０を介して伝播することにより、他方の弾性表面波素子３０の櫛歯電極３２に、一方の弾性表面波素子２０の櫛歯電極２２に印加した高周波信号より遅れた高周波信号が得られ、アンテナ４２を介して出力される。変位計測装置１００では、この遅れ時間と圧電材料基板１０における弾性表面波の伝播速度を乗じて２つの弾性表面波素子２０，３０間の変位を算出する。 （もっと読む）

【課題】特別な構造のスタイラスのような接触物を用いなくても、分解能の高い位置の検出を行うことができ、基材の接触表面の傷等の損傷をも防ぐことができる位置検出装置を提供すること。
【解決手段】送信側素子部２１から弾性表面波を接触表面２６０に超音波として伝播させて受信側素子部２２により受信することで、接触表面に接触した接触物の接触表面における位置を検出する位置検出装置１０であって、接触表面を有する基材２０１と、基材２０１上にコーティングされた硬質膜２５０とを有する。 （もっと読む）