【課題】断熱材の解体を必要とせず高温のままで簡便に断熱材被覆高温壁の肉厚を測定することができる測定方法及び装置を提供する。
【解決手段】棒状の遅延材の一端に超音波探触子を固着し他端側を挿入端とした音響センサを測定用に用い、高温壁Ｐ外周の断熱材Ｗに測定孔Ｂを該断熱材に設け、挿入端の前方に接触媒質４を位置させた状態で音響センサ１の遅延材２を測定孔Ｂに挿入し、接触媒質４の介在下に挿入端が高温壁表面に到達した直後に、遅延材を経て帰ってくる多重エコーを超音波探触子３を通じて検知すると共に、検知後ただちに挿入端を高温壁表面から離脱させ、検知した多重エコーの時間間隔から壁部肉厚を検知することを特徴とする断熱材被覆高温壁の肉厚測定方法、及びその方法を実施する装置。 （もっと読む）

【課題】近位端で試験対象物に結合される細長い超音波伝達材料のストリップを備える、超音波非破壊検査のための装置及び方法を提供する。
【解決手段】細長いストリップは、幅及び厚さが１対１よりも大きなアスペクト比をもつ縦断面を有し、超音波トランスデューサに整合し、励起により、細長いストリップに沿って近位端に進行して試験対象物に進入する、実質的に非分散性の超音波信号を誘導する。この非分散性パルスは、飛行時間測定、厚さ測定、クラック測定等に特に好適である。細長いストリップにより、トランスデューサは試験対象物に伴う潜在的に不適切な環境から分離される。細長いストリップは、試験対象物との大きな接触面積も有し、試験対象物への効率的な照射が可能になる。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で小型であり、可搬性に優れ、短時間で正確な表面粗さの測定が可能な超音波表面粗さ測定方法と装置を提供する。
【解決手段】固体部材１２の表面に接触され超音波を送信する送信機１４と、固体部材１２の表面を伝播した超音波を受信する受信機１６と、送信機１４と受信機１６とを一定間隔離して一体的に保持した本体部２０とを備える。超音波が固体部材１２の表面を伝播する伝播時間を測定し、既知の表面粗さと伝搬時間との関係から、伝搬時間を基に固体部材１２の表面粗さを算出する。 （もっと読む）

【課題】ウエーハに傷を付けることなく研削中のウエーハの厚みを計測可能な研削装置を提供する。
【解決手段】ウエーハ１１を保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持されたウエーハ１１を研削する研削ホイールを有する研削手段とを備えた研削装置であって、ウエーハ１１の実厚を計測する実厚計測手段と、ウエーハ１１の一方の面に向けて超音波を放出し、一方の面で反射した超音波とウエーハ１１を透過し他方の面で反射した超音波との時間差によってウエーハ１１の厚みを非接触で計測する非接触厚み計測手段５７とを具備し、実厚計測手段によって研削前のウエーハ１１の厚さを計測して初期厚さを得、初期厚さに基づいて非接触厚み計測手段５７の演算部で用いる計測基準値を設定する。 （もっと読む）