【課題】 検出器を回転させて測定を行う場合でも、検出器の回転角度位置に応じた最適な補正が行える表面性状測定機およびその真直度補正方法を提供する。
【解決手段】 粗さ検出器が異なる回転角度位置に設定された各回転角度位置に対応して、Ｘ軸駆動装置の各移動位置での検出器補正データを補正データ記憶部に記憶する補正データ記憶工程と、測定時に、検出器回転ユニットによって粗さ検出器が被測定物の測定面に対応する回転角度位置に設定され、かつ、触針が被測定物の測定面に接触された状態において、Ｘ軸駆動装置を駆動させながらＸ軸駆動装置の各移動位置および粗さ検出器の変位量を測定データとして取り込む測定データ取得工程と、測定時における粗さ検出器の回転角度位置と一致または最も近い回転角度位置に対応する検出器補正データを補正データ記憶部から読み出し、測定データを補正する補正演算工程とを備える。
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【課題】被測定物の測定面と測定機の測定方向との平行出しを、効率よく行うことのできる平行出し装置、および、平行出し方法を提供すること。
【解決手段】被測定物に並列した移動案内体と、移動案内体に沿って移動するスライダとを備える。スライダの移動位置におけるスライダ移動位置、および、測定物の測定面位置を、スライダに備えられた光電式リニアスケール５、および、センサ６によって検出し、これらを基に、ＣＰＵ７１は、スライダの移動方向を基準とする測定面の傾き直線を演算し、傾き直線から揺動支点の調整基準値を設定し、調整基準値をメモリ７２に記憶させ、記憶させた調整基準値、および、センサ６によって検出される測定面位置の差を調整量として算出する。調整量はモニタ８に表示され、作業者は、表示された調整量に従って移動案内体の姿勢を調整する。 （もっと読む）

【課題】 計測装置自体が走行する時に生じる蛇行、うねりがあっても、それを補正して板状製品の反りやうねり及びねじれを安価に精度良く計測できることを目的とする。
【解決手段】 静止した鋼板１の上方に位置し、鋼板の長さ方向に移動する計測台車７と、計測台車の移動量を計測するＰＬＧ９と、計測台車に設置され、静止した鋼板表面までの距離を計測する３つの平面部距離計１０ｃ、１０ｄと、計測台車の側方位置にそれぞれ設けられたピアノ線２１ｂと、計測台車に設置され、ピアノ線に対して垂直方向の変動量を検出する垂直位置検出器１１ｃ、１１ｄと、ＰＬＧと平面部距離計と垂直位置検出器との計測値に基づき、鋼板の長さ方向における各位置の鋼板表面までの距離を、計測台車が走行するときに生じる蛇行やうねりの影響を除去するように補正演算するデータ解析演算処理装置３２とを備えて構成されている。 （もっと読む）